Mass Flow Controllers (MFC) ផ្តល់នូវការវាស់វែង និងការត្រួតពិនិត្យយ៉ាងច្បាស់លាស់នៃលំហូរឧស្ម័ន។
I. តើអ្វីជាភាពខុសគ្នារវាង MFC និង MFM?
Mass flow meter (MFM) គឺជាប្រភេទឧបករណ៍ដែលវាស់ស្ទង់លំហូរឧស្ម័នបានយ៉ាងត្រឹមត្រូវ ហើយតម្លៃរង្វាស់របស់វាមិនមានភាពសុក្រឹតដោយសារការប្រែប្រួលនៃសីតុណ្ហភាព ឬសម្ពាធ និងមិនទាមទារសំណងសីតុណ្ហភាព និងសម្ពាធ។ ឧបករណ៍បញ្ជាលំហូរដ៏ធំ (MFC) មិនត្រឹមតែប៉ុណ្ណោះ មានមុខងារនៃម៉ែត្រលំហូរម៉ាស់ ប៉ុន្តែសំខាន់ជាងនេះទៅទៀត វាអាចគ្រប់គ្រងលំហូរឧស្ម័នដោយស្វ័យប្រវត្តិ ពោលគឺអ្នកប្រើប្រាស់អាចកំណត់លំហូរតាមតម្រូវការរបស់ពួកគេ ហើយ MFC រក្សាលំហូរដោយស្វ័យប្រវត្តិនៅតម្លៃកំណត់ ទោះបីជា សម្ពាធប្រព័ន្ធ ភាពប្រែប្រួល ឬការផ្លាស់ប្តូរសីតុណ្ហភាពព័ទ្ធជុំវិញនឹងមិនបណ្តាលឱ្យវាខុសពីតម្លៃដែលបានកំណត់នោះទេ។ឧបករណ៍គ្រប់គ្រងលំហូរដ៏ធំគឺជាឧបករណ៍លំហូរស្ថិរភាព ដែលជាឧបករណ៍លំហូរស្ថិរភាពឧស្ម័នដែលអាចកំណត់ដោយដៃ ឬគ្រប់គ្រងដោយស្វ័យប្រវត្តិដោយការភ្ជាប់ជាមួយកុំព្យូទ័រ។ម៉ែត្រលំហូរម៉ាស់គ្រាន់តែវាស់ប៉ុន្តែមិនគ្រប់គ្រង។ឧបករណ៍បញ្ជាលំហូរឧស្ម័នមានសន្ទះត្រួតពិនិត្យ ដែលអាចវាស់ និងគ្រប់គ្រងលំហូរឧស្ម័ន។
II.តើអ្វីជារចនាសម្ព័ន្ធនិងគោលការណ៍ប្រតិបត្តិការ?
1. រចនាសម្ព័ន្ធ
2. គោលការណ៍នៃប្រតិបត្តិការ
នៅពេលដែលលំហូរចូលទៅក្នុងបំពង់ស្រូបយក ភាគច្រើននៃលំហូរឆ្លងកាត់តាមបណ្តាញ diverter ដែលជាផ្នែកតូចមួយដែលចូលទៅក្នុងបំពង់ capillary នៅខាងក្នុងឧបករណ៏។ដោយសារតែរចនាសម្ព័ន្ធពិសេស
ឆានែលបង្វែរ, ផ្នែកទាំងពីរនៃលំហូរឧស្ម័នអាចសមាមាត្រដោយផ្ទាល់។ឧបករណ៏នេះត្រូវបានកំដៅមុន និងកំដៅ ហើយសីតុណ្ហភាពនៅខាងក្នុងគឺខ្ពស់ជាងសីតុណ្ហភាពនៃខ្យល់ចូល។នៅពេលនេះលំហូរដ៏ធំនៃផ្នែកតូចមួយនៃឧស្ម័នត្រូវបានវាស់ដោយគោលការណ៍នៃការផ្ទេរកំដៅដោយបំពង់ capillary និងគោលការណ៍នៃភាពខុសគ្នានៃសីតុណ្ហភាព calorimetry ។លំហូរឧស្ម័នដែលបានវាស់វែងតាមរបៀបនេះអាចមិនអើពើឥទ្ធិពលនៃសីតុណ្ហភាពនិងសម្ពាធ។សញ្ញាវាស់លំហូរដែលបានរកឃើញដោយឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាគឺបញ្ចូលទៅក្នុងបន្ទះសៀគ្វី និងពង្រីក និងទិន្នផល ហើយមុខងាររបស់ MFM ត្រូវបានបញ្ចប់។ការបន្ថែមមុខងារគ្រប់គ្រងដោយស្វ័យប្រវត្តិនៃរង្វិលជុំបិទ PID ទៅបន្ទះសៀគ្វី ប្រៀបធៀបសញ្ញាលំហូរដែលវាស់ដោយឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាជាមួយនឹងសញ្ញាកំណត់ដែលបានផ្តល់ឱ្យដោយអ្នកប្រើប្រាស់។ដោយផ្អែកលើនេះសន្ទះបិទបើកត្រូវបានគ្រប់គ្រងដើម្បីឱ្យសញ្ញារាវរកលំហូរគឺស្មើនឹងសញ្ញាកំណត់ដូច្នេះដឹងពីមុខងាររបស់ MFC ។
III.កម្មវិធី និងមុខងារ។
MFC ដែលត្រូវបានអនុវត្តយ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងវិស័យដូចជា៖ ការផលិត semiconductor និង IC, វិទ្យាសាស្ត្រសម្ភារពិសេស, ឧស្សាហកម្មគីមី, ឧស្សាហកម្មប្រេង, ឧស្សាហកម្មឱសថ, ការការពារបរិស្ថាន និងការស្រាវជ្រាវប្រព័ន្ធបូមធូលី។ , អុកស៊ីតកម្ម, epitaxy, CVD, ប្លាស្មា etching, sputtering, ion implantation;បរិក្ខារបូមធូលី ការរលាយជាតិសរសៃអុបទិក ឧបករណ៍មីក្រូប្រតិកម្ម ឧបករណ៍លាយ និងផ្គូផ្គងឧស្ម័ន ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងលំហូរ capillary ប្រព័ន្ធឧស្ម័ន chromatograph និងឧបករណ៍វិភាគផ្សេងទៀត។
MFC នាំមកនូវភាពត្រឹមត្រូវខ្ពស់ ភាពអាចធ្វើម្តងទៀតបានល្អឥតខ្ចោះ ការឆ្លើយតបរហ័ស ការចាប់ផ្តើមទន់ ភាពជឿជាក់បានប្រសើរជាងមុន ជួរសម្ពាធប្រតិបត្តិការដ៏ធំទូលាយ (ប្រតិបត្តិការល្អក្នុងស្ថានភាពសម្ពាធខ្ពស់ និងកន្លែងទំនេរ) ប្រតិបត្តិការងាយស្រួល ការដំឡើងអាចបត់បែនបាន ការភ្ជាប់ជាមួយកុំព្យូទ័រដើម្បីដំណើរការដោយស្វ័យប្រវត្តិ។ គ្រប់គ្រងប្រព័ន្ធរបស់អ្នកប្រើប្រាស់។
IV.របៀបកំណត់និងដោះស្រាយជាមួយ fជំងឺ?
ក្រុមហ៊ុនរបស់យើងមានវិស្វករបន្ទាប់ពីការលក់ដែលមានជំនាញវិជ្ជាជីវៈអាចជួយអ្នកដោះស្រាយបញ្ហាក្នុងការដំឡើងនិងប្រើប្រាស់។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ថ្ងៃទី២៩ ខែកក្កដា ឆ្នាំ២០២២