ចំណេះដឹង - វ៉ាល់សុញ្ញកាស

I. សេចក្តីផ្តើមនៃសន្ទះបិទបើក
Vacuum valve គឺជាធាតុផ្សំនៃប្រព័ន្ធបូមធូលីដែលប្រើដើម្បីផ្លាស់ប្តូរទិសដៅនៃលំហូរខ្យល់ កែតម្រូវទំហំនៃលំហូរឧស្ម័ន កាត់ផ្តាច់ ឬភ្ជាប់បំពង់បង្ហូរនៅក្នុងប្រព័ន្ធបូមធូលី។ផ្នែកបិទនៃសន្ទះបូមធូលីត្រូវបានផ្សាភ្ជាប់ដោយត្រាកៅស៊ូឬត្រាដែក។

II.កម្មវិធីសន្ទះបូមធូលីធម្មតា។
សន្ទះបិទបើក
ប្រើក្នុងបរិក្ខាប្រព័ន្ធបូមធូលីខ្ពស់ ឬជ្រុលខ្ពស់ នៅពេលដែលម៉ាស៊ីនបូមធូលីត្រូវរក្សានៅក្នុងប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងម៉ាស៊ីនបូមធូលីបិទជិត។វ៉ាល់សុញ្ញកាសត្រូវបានប្រើដើម្បីគ្រប់គ្រងលំហូរខ្យល់ចូលទៅក្នុងបន្ទប់បូមធូលី ញែកដាច់ពីគ្នា រន្ធខ្យល់ ផ្តល់នូវការកាត់បន្ថយសម្ពាធ ឬដំណើរការគ្រប់គ្រង។Gate valves, inline valves និង angle valves គឺជាប្រភេទសន្ទះបូមធូលីទូទៅបំផុតដែលប្រើសម្រាប់កម្មវិធីបូមធូលីខ្ពស់ ឬជ្រុល។ប្រភេទសន្ទះបន្ថែមរួមមាន សន្ទះមេអំបៅ វ៉ាល់ផ្ទេរ វ៉ាល់បាល់ សន្ទះប៉ោល វ៉ាល់លោហៈទាំងអស់ សន្ទះបូមធូលី សន្ទះមុំអាលុយមីញ៉ូម សន្ទះបូមធូលីដែលស្រោបដោយ Teflon និងសន្ទះត្រង់។

សន្ទះមេអំបៅ
គឺជាសន្ទះបិទបើកលឿនដែលមានឌីសដែក ឬវ៉ាល់ដែលបង្វិលនៅមុំខាងស្តាំទៅនឹងទិសដៅនៃលំហូរនៅក្នុងបំពង់បង្ហូរប្រេង ហើយនៅពេលដែលបង្វិលនៅលើអ័ក្សរបស់វា សន្ទះបិទជិតកៅអីនៅក្នុងតួសន្ទះ។

វ៉ាល់ផ្ទេរ (វ៉ាល់ច្រកទ្វារចតុកោណ)
សន្ទះបំបែកដែលសមរម្យសម្រាប់ប្រើរវាងបន្ទប់បូមធូលីចាក់សោរផ្ទុក និងអង្គជំនុំជម្រះផ្ទេរ និងរវាងអង្គជំនុំជម្រះផ្ទេរ និងអង្គជំនុំជម្រះដំណើរការនៅក្នុងឧបករណ៍ផលិត semiconductor ។

វ៉ាល់បាល់បូមធូលី
គឺជាសន្ទះលំហូរត្រង់មួយភាគបួនជាមួយនឹងការជួបប្រជុំគ្នាបិទរាងជារង្វង់ជាមួយនឹងកៅអីរាងជារង្វង់ដែលត្រូវគ្នាសម្រាប់ភាពតានតឹងនៃការផ្សាភ្ជាប់ឯកសណ្ឋាន។

សន្ទះបិទបើក
គឺជាសន្ទះបិទបើកដ៏ធំមួយដែលបំពាក់រវាងអង្គជំនុំជម្រះបូមធូលីដំណើរការ និងច្រកចូលស្នប់ turbomolecular ។សន្ទះប៉ោលបូមធូលីទាំងនេះត្រូវបានរចនាឡើងជាធម្មតាជាច្រកទ្វារ ឬសន្ទះប៉ោលសម្រាប់កម្មវិធីរួមទាំងប្រព័ន្ធផលិតកម្មឧស្សាហកម្ម OLED, FPD និង PV ។

វ៉ាល់ដែកទាំងអស់។
រចនាឡើងសម្រាប់ប្រើក្នុងបរិយាកាសទំនេរខ្លាំង ដែលសីតុណ្ហភាពខ្ពស់មិនអនុញ្ញាតឱ្យប្រើ elastomers និងលោហៈធាតុ cryogenic ។វ៉ាល់លោហៈទាំងអស់ដែលអាចដុតនំបានផ្តល់នូវការផ្សាភ្ជាប់សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដែលអាចទុកចិត្តបានពីសម្ពាធបរិយាកាសទៅក្រោម 10-11 mbar ។

សន្ទះបិទបើក
ដំណើរការប្រកបដោយភាពជឿជាក់នៅក្នុងប្រព័ន្ធផលិតកម្ម semiconductor និងនៅក្នុងកម្មវិធីដែលមានការចម្លងរោគគីមី និងភាគល្អិត។ពួកវាអាចប្រើក្នុងកន្លែងទំនេររដុប កន្លែងទំនេរខ្ពស់ ឬបរិយាកាសខ្វះចន្លោះខ្ពស់។

សន្ទះមុំអាលុយមីញ៉ូម
ច្រកចូល និងច្រកចេញនៃសន្ទះបិទបើកទាំងនេះនៅមុំខាងស្តាំទៅគ្នាទៅវិញទៅមក។សន្ទះមុំទាំងនេះត្រូវបានផលិតពីអាលុយមីញ៉ូម A6061-T6 ហើយត្រូវបានប្រើនៅក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងឧបករណ៍ R&D និងប្រព័ន្ធបូមធូលីឧស្សាហកម្មសម្រាប់កម្មវិធីបូមធូលីខ្លាំង។

សន្ទះបូមធូលីដែលស្រោបដោយ Teflon គឺជាឧបករណ៍ផ្នែកបូមធូលីដែកអ៊ីណុកដែលត្រូវបានវិស្វកម្មយ៉ាងពេញលេញ ជាមួយនឹងថ្នាំកូតដែលធន់ និងធន់នឹងសារធាតុគីមីខ្ពស់។

III.លក្ខណៈពិសេសនៃសន្ទះបិទបើក។
សម្ពាធស្ថិតនៅក្រោមសម្ពាធបរិយាកាស ហើយសម្ពាធធ្លាក់ចុះនៅទូទាំងសន្ទះបិទបើកមិនអាចលើសពីកម្លាំង 1 គីឡូក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រទេ។សីតុណ្ហភាពការងាររបស់ឧបករណ៍ផ្ទុកអាស្រ័យលើដំណើរការនៃឧបករណ៍ដែលបានប្រើ។សីតុណ្ហភាពជាទូទៅមិនលើសពី -70 ~ 150 ° C ។តម្រូវការជាមូលដ្ឋានបំផុតសម្រាប់សន្ទះបិទបើកបែបនេះគឺដើម្បីធានាបាននូវកម្រិតខ្ពស់នៃភាពតឹងនៃការតភ្ជាប់និងដង់ស៊ីតេនៃរចនាសម្ព័ន្ធនិងសម្ភារៈ gasket ។

យោងតាមសន្ទះបូមធូលីសម្ពាធមធ្យមអាចបែងចែកជាបួនក្រុម។
1) សន្ទះបូមធូលីទាប: សម្ពាធមធ្យម p = 760 ~ 1 mmHg ។
2) សន្ទះបូមធូលីមធ្យម: p = 1 × 10-3 mmHg ។
3) សន្ទះបូមធូលីខ្ពស់: p = 1 × 10-4 ~ 1 × 10-7 mmHg ។
4) សន្ទះបូមធូលីខ្លាំង៖ p≤1 × 10-8 mmHg ។

ជាសន្ទះបិទបើកដែលមានអង្កត់ផ្ចិតឆ្លងកាត់តិចជាង 250 មីលីម៉ែត្រ ដើមដែលប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយគឺជាសន្ទះបិទបើកបូមធូលីដែលមានចលនាលីនេអ៊ែរ។ទោះយ៉ាងណាក៏ដោយ ច្រកទ្វារត្រូវបានរឹតបន្តឹងជាង ប៉ុន្តែនេះជាចម្បងសម្រាប់អង្កត់ផ្ចិតធំ។ក៏មានផងដែរនូវសន្ទះដោតរាងស្វ៊ែរ (សន្ទះបាល់) សន្ទះបិទបើក និងសន្ទះមេអំបៅ។សន្ទះបិទបើកសម្រាប់សន្ទះបូមធូលីមិនត្រូវបានផ្សព្វផ្សាយទេ ព្រោះវាត្រូវការប្រេងរំអិល ដែលធ្វើឱ្យវាអាចទៅរួចសម្រាប់ចំហាយប្រេងចូលក្នុងប្រព័ន្ធបូមធូលី ដែលមិនត្រូវបានអនុញ្ញាត។វ៉ាល់សុញ្ញកាសអាចត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយដៃ និងពីចម្ងាយនៅក្នុងវាល ក៏ដូចជាអេឡិចត្រូនិច អេឡិចត្រូម៉ាញេទិក (សន្ទះសូលុយស្យុង) ខ្យល់ និងធារាសាស្ត្រ។