ಜ್ಞಾನ - ನಿರ್ವಾತ ಕವಾಟಗಳು

I. ಕವಾಟದ ಪರಿಚಯ
ನಿರ್ವಾತ ಕವಾಟವು ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ದಿಕ್ಕನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಲು, ಅನಿಲ ಹರಿವಿನ ಗಾತ್ರವನ್ನು ಸರಿಹೊಂದಿಸಲು, ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಲ್ಲಿ ಪೈಪ್ಲೈನ್ ​​ಅನ್ನು ಕಡಿತಗೊಳಿಸಲು ಅಥವಾ ಸಂಪರ್ಕಿಸಲು ಬಳಸುವ ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಘಟಕವಾಗಿದೆ.ನಿರ್ವಾತ ಕವಾಟದ ಮುಚ್ಚುವ ಭಾಗಗಳನ್ನು ರಬ್ಬರ್ ಸೀಲ್ ಅಥವಾ ಲೋಹದ ಮುದ್ರೆಯಿಂದ ಮುಚ್ಚಲಾಗುತ್ತದೆ.

II.ಸಾಮಾನ್ಯ ನಿರ್ವಾತ ಕವಾಟದ ಅನ್ವಯಗಳು.
ನಿರ್ವಾತ ಕವಾಟಗಳು
ಕ್ಲೋಸ್ಡ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಹ್ಯಾಂಡ್ಲಿಂಗ್ ಸಿಸ್ಟಮ್‌ನಲ್ಲಿ ನಿರ್ವಾತವನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಬೇಕಾದಾಗ ಹೆಚ್ಚಿನ ಅಥವಾ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.ನಿರ್ವಾತ ಕವಾಟಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಾತ ಕೊಠಡಿಯೊಳಗೆ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಪ್ರತ್ಯೇಕಿಸಿ, ತೆರಪಿನ, ಒತ್ತಡ ಕಡಿತ ಅಥವಾ ನಿಯಂತ್ರಣ ವಹನವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.ಗೇಟ್ ಕವಾಟಗಳು, ಇನ್‌ಲೈನ್ ಕವಾಟಗಳು ಮತ್ತು ಕೋನ ಕವಾಟಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ಅಥವಾ ಅತಿ-ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ ಅನ್ವಯಗಳಿಗೆ ಬಳಸುವ ನಿರ್ವಾತ ಕವಾಟಗಳ ಅತ್ಯಂತ ಸಾಮಾನ್ಯ ವಿಧಗಳಾಗಿವೆ.ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಕವಾಟದ ಪ್ರಕಾರಗಳಲ್ಲಿ ಚಿಟ್ಟೆ ಕವಾಟಗಳು, ವರ್ಗಾವಣೆ ಕವಾಟಗಳು, ಬಾಲ್ ಕವಾಟಗಳು, ಲೋಲಕ ಕವಾಟಗಳು, ಎಲ್ಲಾ-ಲೋಹದ ಕವಾಟಗಳು, ನಿರ್ವಾತ ಕವಾಟಗಳು, ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಕೋನ ಕವಾಟಗಳು, ಟೆಫ್ಲಾನ್-ಲೇಪಿತ ನಿರ್ವಾತ ಕವಾಟಗಳು ಮತ್ತು ನೇರ-ಮೂಲಕ ಕವಾಟಗಳು ಸೇರಿವೆ.

ಬಟರ್ಫ್ಲೈ ಕವಾಟಗಳು
ಪೈಪ್‌ಲೈನ್‌ನಲ್ಲಿನ ಹರಿವಿನ ದಿಕ್ಕಿಗೆ ಲಂಬ ಕೋನಗಳಲ್ಲಿ ಪಿವೋಟ್ ಮಾಡುವ ಲೋಹದ ಡಿಸ್ಕ್‌ಗಳು ಅಥವಾ ವ್ಯಾನ್‌ಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ವೇಗದ ತೆರೆಯುವ ಕವಾಟಗಳು ಮತ್ತು ಅವುಗಳ ಅಕ್ಷದ ಮೇಲೆ ತಿರುಗಿಸಿದಾಗ, ಕವಾಟವು ಕವಾಟದ ದೇಹದಲ್ಲಿ ಸೀಟ್ ಅನ್ನು ಮುಚ್ಚುತ್ತದೆ.

ವರ್ಗಾವಣೆ ಕವಾಟಗಳು (ಆಯತಾಕಾರದ ಗೇಟ್ ಕವಾಟಗಳು)
ಲೋಡ್-ಲಾಕ್ಡ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಚೇಂಬರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಟ್ರಾನ್ಸ್‌ಫರ್ ಚೇಂಬರ್‌ಗಳ ನಡುವೆ ಮತ್ತು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕಾ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ವರ್ಗಾವಣೆ ಚೇಂಬರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ರೊಸೆಸಿಂಗ್ ಚೇಂಬರ್‌ಗಳ ನಡುವೆ ಬಳಸಲು ಸೂಕ್ತವಾದ ಪ್ರತ್ಯೇಕ ಕವಾಟಗಳು.

ನಿರ್ವಾತ ಬಾಲ್ ಕವಾಟಗಳು
ಏಕರೂಪದ ಸೀಲಿಂಗ್ ಒತ್ತಡಕ್ಕೆ ಸರಿಹೊಂದುವ ವೃತ್ತಾಕಾರದ ಆಸನಗಳೊಂದಿಗೆ ವೃತ್ತಾಕಾರದ ಮುಚ್ಚುವಿಕೆಯ ಜೋಡಣೆಯೊಂದಿಗೆ ಕಾಲು ತಿರುವು ನೇರ ಹರಿವಿನ ಕವಾಟಗಳು.

ಲೋಲಕ ಕವಾಟಗಳು
ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿರ್ವಾತ ಚೇಂಬರ್ ಮತ್ತು ಟರ್ಬೊಮಾಲಿಕ್ಯುಲರ್ ಪಂಪ್ ಇನ್ಲೆಟ್ ನಡುವೆ ಅಳವಡಿಸಲಾಗಿರುವ ದೊಡ್ಡ ಥ್ರೊಟಲ್ ಕವಾಟವಾಗಿದೆ.ಈ ನಿರ್ವಾತ ಲೋಲಕ ಕವಾಟಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ OLED, FPD ಮತ್ತು PV ಕೈಗಾರಿಕಾ ಉತ್ಪಾದನಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಂತೆ ಗೇಟ್ ಅಥವಾ ಲೋಲಕ ಕವಾಟಗಳಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ.

ಎಲ್ಲಾ ಲೋಹದ ಕವಾಟಗಳು
ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನವು ಎಲಾಸ್ಟೊಮರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಕ್ರಯೋಜೆನಿಕ್ ಗ್ಯಾಸ್ಕೆಟ್ ಲೋಹಗಳ ಬಳಕೆಯನ್ನು ಅನುಮತಿಸದಿರುವ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಬಳಸಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ.ಬೇಯಿಸಬಹುದಾದ ಎಲ್ಲಾ-ಲೋಹದ ಕವಾಟಗಳು ವಾತಾವರಣದ ಒತ್ತಡದಿಂದ 10-11 mbar ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಸೀಲಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.

ನಿರ್ವಾತ ಕವಾಟಗಳು
ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಮತ್ತು ಕಣಗಳ ಮಾಲಿನ್ಯದೊಂದಿಗೆ ಅನ್ವಯಗಳಲ್ಲಿ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸಿ.ಅವುಗಳನ್ನು ಒರಟು ನಿರ್ವಾತ, ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ ಅಥವಾ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಬಳಸಬಹುದು.

ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಕೋನ ಕವಾಟಗಳು
ಈ ಕವಾಟಗಳ ಒಳಹರಿವು ಮತ್ತು ಹೊರಹರಿವು ಪರಸ್ಪರ ಲಂಬ ಕೋನದಲ್ಲಿದೆ.ಈ ಕೋನ ಕವಾಟಗಳು ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ A6061-T6 ನಿಂದ ಮಾಡಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕ ಮತ್ತು ಉಪಕರಣ ತಯಾರಿಕೆ, R&D ಮತ್ತು ಕೈಗಾರಿಕಾ ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಒರಟಾದ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಟೆಫ್ಲಾನ್ ಲೇಪಿತ ನಿರ್ವಾತ ಕವಾಟವು ಬಾಳಿಕೆ ಬರುವ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚು ರಾಸಾಯನಿಕ ನಿರೋಧಕ ಲೇಪನದೊಂದಿಗೆ ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ನಿರ್ವಾತ ಘಟಕ ಸಾಧನವಾಗಿದೆ.

III.ನಿರ್ವಾತ ಕವಾಟಗಳ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು.
ಒತ್ತಡವು ವಾತಾವರಣದ ಒತ್ತಡಕ್ಕಿಂತ ಕೆಳಗಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕವಾಟದ ಫ್ಲಾಪ್‌ನಾದ್ಯಂತ ಒತ್ತಡದ ಕುಸಿತವು 1 ಕೆಜಿ ಬಲ / ಸೆಂ ಅನ್ನು ಮೀರಬಾರದು.ಮಾಧ್ಯಮದ ಕೆಲಸದ ತಾಪಮಾನವು ಬಳಸಿದ ಸಾಧನದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿರುತ್ತದೆ.ತಾಪಮಾನವು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ -70 ~ 150 ° C ವ್ಯಾಪ್ತಿಯನ್ನು ಮೀರುವುದಿಲ್ಲ.ಅಂತಹ ಕವಾಟಗಳಿಗೆ ಅತ್ಯಂತ ಮೂಲಭೂತ ಅವಶ್ಯಕತೆಯೆಂದರೆ ಸಂಪರ್ಕದ ಹೆಚ್ಚಿನ ಮಟ್ಟದ ಬಿಗಿತ ಮತ್ತು ರಚನೆ ಮತ್ತು ಗ್ಯಾಸ್ಕೆಟ್ ವಸ್ತುಗಳ ಸಾಂದ್ರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುವುದು.

ಮಧ್ಯಮ ಒತ್ತಡದ ಪ್ರಕಾರ ನಿರ್ವಾತ ಕವಾಟಗಳನ್ನು ನಾಲ್ಕು ಗುಂಪುಗಳಾಗಿ ವಿಂಗಡಿಸಬಹುದು.
1) ಕಡಿಮೆ ನಿರ್ವಾತ ಕವಾಟಗಳು: ಮಧ್ಯಮ ಒತ್ತಡ p=760~1 mmHg.
2) ಮಧ್ಯಮ ನಿರ್ವಾತ ಕವಾಟಗಳು: p=1×10-3 mmHg.
3)ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ ಕವಾಟಗಳು: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4)ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ವಾಲ್ವ್: p≤1×10-8 mmHg.

250 mm ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ವ್ಯಾಸವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಮುಚ್ಚಿದ-ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಕವಾಟವಾಗಿ, ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಕಾಂಡವು ರೇಖೀಯ ಚಲನೆಯೊಂದಿಗೆ ನಿರ್ವಾತ ಬೆಲ್ಲೋಸ್ ಸ್ಥಗಿತಗೊಳಿಸುವ ಕವಾಟವಾಗಿದೆ.ಆದಾಗ್ಯೂ, ಗೇಟ್ ಕವಾಟಗಳು ಹೆಚ್ಚು ನಿರ್ಬಂಧಿತವಾಗಿವೆ, ಆದರೆ ಇದು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ದೊಡ್ಡ ವ್ಯಾಸಗಳಿಗೆ.ಗೋಳಾಕಾರದ ಪ್ಲಗ್ ಕವಾಟಗಳು (ಬಾಲ್ ಕವಾಟಗಳು), ಪ್ಲಂಗರ್ ಕವಾಟಗಳು ಮತ್ತು ಚಿಟ್ಟೆ ಕವಾಟಗಳು ಸಹ ಲಭ್ಯವಿದೆ.ನಿರ್ವಾತ ಕವಾಟಗಳಿಗೆ ಪ್ಲಗ್ ಕವಾಟಗಳನ್ನು ಉತ್ತೇಜಿಸಲಾಗಿಲ್ಲ ಏಕೆಂದರೆ ಅವುಗಳಿಗೆ ತೈಲ ನಯಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ, ತೈಲ ಆವಿಯು ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಪ್ರವೇಶಿಸಲು ಸಾಧ್ಯವಾಗುವಂತೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಇದನ್ನು ಅನುಮತಿಸಲಾಗುವುದಿಲ್ಲ.ನಿರ್ವಾತ ಕವಾಟಗಳನ್ನು ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ ಕೈಯಾರೆ ಮತ್ತು ದೂರದಿಂದಲೇ ನಿಯಂತ್ರಿಸಬಹುದು, ಹಾಗೆಯೇ ವಿದ್ಯುತ್, ವಿದ್ಯುತ್ಕಾಂತೀಯ (ಸೊಲೆನಾಯ್ಡ್ ಕವಾಟಗಳು), ನ್ಯೂಮ್ಯಾಟಿಕ್ ಮತ್ತು ಹೈಡ್ರಾಲಿಕ್.