ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಸಿಸ್ಟಮ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಪಂಪ್‌ಗಳು

I. ಯಾಂತ್ರಿಕ ಪಂಪ್‌ಗಳು
ಟರ್ಬೊಮಾಲಿಕ್ಯುಲರ್ ಪಂಪ್‌ನ ಪ್ರಾರಂಭಕ್ಕೆ ಅಗತ್ಯವಾದ ಪೂರ್ವ-ಹಂತದ ನಿರ್ವಾತವನ್ನು ಒದಗಿಸುವುದು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಪಂಪ್‌ನ ಮುಖ್ಯ ಕಾರ್ಯವಾಗಿದೆ.ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಪಂಪ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಸುಳಿಯ ಡ್ರೈ ಪಂಪ್‌ಗಳು, ಡಯಾಫ್ರಾಮ್ ಪಂಪ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಎಣ್ಣೆ ಮುಚ್ಚಿದ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಪಂಪ್‌ಗಳು ಸೇರಿವೆ.
ಡಯಾಫ್ರಾಮ್ ಪಂಪ್‌ಗಳು ಕಡಿಮೆ ಪಂಪಿಂಗ್ ವೇಗವನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಸಣ್ಣ ಗಾತ್ರದ ಕಾರಣದಿಂದ ಸಣ್ಣ ಆಣ್ವಿಕ ಪಂಪ್ ಸೆಟ್‌ಗಳಿಗೆ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ತೈಲ-ಮುಚ್ಚಿದ ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಪಂಪ್ ಹಿಂದೆ ಹೆಚ್ಚು ಬಳಸಿದ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಪಂಪ್ ಆಗಿದೆ, ಇದು ದೊಡ್ಡ ಪಂಪ್ ವೇಗ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮ ಅಂತಿಮ ನಿರ್ವಾತದಿಂದ ನಿರೂಪಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ, ಅನನುಕೂಲವೆಂದರೆ ತೈಲ ರಿಟರ್ನ್‌ನ ಸಾಮಾನ್ಯ ಅಸ್ತಿತ್ವವಾಗಿದೆ, ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಸೊಲೆನಾಯ್ಡ್ ಕವಾಟವನ್ನು ಅಳವಡಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ. (ತೈಲ ಮರಳುವಿಕೆಯಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಆಕಸ್ಮಿಕ ವಿದ್ಯುತ್ ವೈಫಲ್ಯವನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು) ಮತ್ತು ಆಣ್ವಿಕ ಜರಡಿ (ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವ ಪರಿಣಾಮ).
ಇತ್ತೀಚಿನ ವರ್ಷಗಳಲ್ಲಿ, ಹೆಚ್ಚು ಬಳಸಿದ ಸ್ಕ್ರಾಲ್ ಡ್ರೈ ಪಂಪ್ ಆಗಿದೆ. ಪ್ರಯೋಜನವು ಬಳಸಲು ಸರಳವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ತೈಲಕ್ಕೆ ಹಿಂತಿರುಗುವುದಿಲ್ಲ, ಕೇವಲ ಪಂಪ್ ಮಾಡುವ ವೇಗ ಮತ್ತು ಅಂತಿಮ ನಿರ್ವಾತವು ತೈಲ-ಮುಚ್ಚಿದ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಪಂಪ್‌ಗಳಿಗಿಂತ ಸ್ವಲ್ಪ ಕೆಟ್ಟದಾಗಿದೆ.
ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಪಂಪ್‌ಗಳು ಪ್ರಯೋಗಾಲಯದಲ್ಲಿ ಶಬ್ದ ಮತ್ತು ಕಂಪನದ ಮುಖ್ಯ ಮೂಲವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಶಬ್ದದ ಪಂಪ್ ಅನ್ನು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡುವುದು ಮತ್ತು ಸಾಧ್ಯವಿರುವಲ್ಲಿ ಉಪಕರಣಗಳ ನಡುವೆ ಇಡುವುದು ಉತ್ತಮ, ಆದರೆ ಕೆಲಸದ ದೂರದ ನಿರ್ಬಂಧಗಳಿಂದಾಗಿ ಎರಡನೆಯದನ್ನು ಸಾಧಿಸುವುದು ಸುಲಭವಲ್ಲ.
II.ಟರ್ಬೊಮಾಲಿಕ್ಯುಲರ್ ಪಂಪ್‌ಗಳು
ಟರ್ಬೊ ಆಣ್ವಿಕ ಪಂಪ್‌ಗಳು ಅನಿಲದ ದಿಕ್ಕಿನ ಹರಿವನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ತಿರುಗುವ ವ್ಯಾನ್‌ಗಳನ್ನು (ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಪ್ರತಿ ನಿಮಿಷಕ್ಕೆ ಸುಮಾರು 1000 ಕ್ರಾಂತಿಗಳು) ಅವಲಂಬಿಸಿವೆ.ಪಂಪ್‌ನ ನಿಷ್ಕಾಸ ಒತ್ತಡ ಮತ್ತು ಒಳಹರಿವಿನ ಒತ್ತಡದ ಅನುಪಾತವನ್ನು ಸಂಕೋಚನ ಅನುಪಾತ ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ.ಸಂಕೋಚನ ಅನುಪಾತವು ಪಂಪ್‌ನ ಹಂತಗಳ ಸಂಖ್ಯೆ, ವೇಗ ಮತ್ತು ಅನಿಲದ ಪ್ರಕಾರಕ್ಕೆ ಸಂಬಂಧಿಸಿದೆ, ಅನಿಲ ಸಂಕೋಚನದ ಸಾಮಾನ್ಯ ಆಣ್ವಿಕ ತೂಕವು ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಾಗಿರುತ್ತದೆ.ಟರ್ಬೊಮಾಲಿಕ್ಯುಲರ್ ಪಂಪ್‌ನ ಅಂತಿಮ ನಿರ್ವಾತವನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 10-9-10-10 mbar ಎಂದು ಪರಿಗಣಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಇತ್ತೀಚಿನ ವರ್ಷಗಳಲ್ಲಿ, ಆಣ್ವಿಕ ಪಂಪ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ನಿರಂತರ ಪ್ರಗತಿಯೊಂದಿಗೆ, ಅಂತಿಮ ನಿರ್ವಾತವನ್ನು ಇನ್ನಷ್ಟು ಸುಧಾರಿಸಲಾಗಿದೆ.
ಟರ್ಬೊಮಾಲಿಕ್ಯುಲಾರ್ ಪಂಪ್‌ನ ಅನುಕೂಲಗಳು ಆಣ್ವಿಕ ಹರಿವಿನ ಸ್ಥಿತಿಯಲ್ಲಿ ಮಾತ್ರ ಅರಿತುಕೊಳ್ಳುವುದರಿಂದ (ಅನಿಲದ ಅಣುಗಳ ಸರಾಸರಿ ಮುಕ್ತ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯು ನಾಳದ ಅಡ್ಡ-ವಿಭಾಗದ ಗರಿಷ್ಠ ಗಾತ್ರಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನದಾಗಿರುವ ಹರಿವಿನ ಸ್ಥಿತಿ), ಪೂರ್ವ-ಹಂತದ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ 1 ರಿಂದ 10-2 Pa ನ ಆಪರೇಟಿಂಗ್ ಒತ್ತಡದೊಂದಿಗೆ ಅಗತ್ಯವಿದೆ.ವ್ಯಾನ್‌ಗಳ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಿರುಗುವಿಕೆಯ ವೇಗದಿಂದಾಗಿ, ವಿದೇಶಿ ವಸ್ತುಗಳು, ನಡುಗುವಿಕೆ, ಪ್ರಭಾವ, ಅನುರಣನ ಅಥವಾ ಅನಿಲ ಆಘಾತದಿಂದ ಆಣ್ವಿಕ ಪಂಪ್ ಹಾನಿಗೊಳಗಾಗಬಹುದು ಅಥವಾ ನಾಶವಾಗಬಹುದು.ಆರಂಭಿಕರಿಗಾಗಿ, ಹಾನಿಯ ಸಾಮಾನ್ಯ ಕಾರಣವೆಂದರೆ ಆಪರೇಟಿಂಗ್ ದೋಷಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಅನಿಲ ಆಘಾತ.ಯಾಂತ್ರಿಕ ಪಂಪ್‌ನಿಂದ ಪ್ರಚೋದಿಸಲ್ಪಟ್ಟ ಅನುರಣನದಿಂದ ಆಣ್ವಿಕ ಪಂಪ್‌ಗೆ ಹಾನಿಯಾಗಬಹುದು.ಈ ಸ್ಥಿತಿಯು ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಅಪರೂಪವಾಗಿದೆ ಆದರೆ ವಿಶೇಷ ಗಮನದ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ ಏಕೆಂದರೆ ಇದು ಹೆಚ್ಚು ಕಪಟವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಸುಲಭವಾಗಿ ಪತ್ತೆಯಾಗುವುದಿಲ್ಲ.

III.ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಅಯಾನ್ ಪಂಪ್
ತಾಜಾ ಟೈಟಾನಿಯಂ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ಕ್ಯಾಥೋಡ್‌ನ ಟೈಟಾನಿಯಂ ಪ್ಲೇಟ್ ಅನ್ನು ಬಾಂಬ್ ಸ್ಫೋಟಿಸಲು ಪೆನ್ನಿಂಗ್ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್‌ನಿಂದ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಅಯಾನುಗಳನ್ನು ಬಳಸುವುದು ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಅಯಾನು ಪಂಪ್‌ನ ಕೆಲಸದ ತತ್ವವಾಗಿದೆ, ಹೀಗಾಗಿ ಸಕ್ರಿಯ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಜಡ ಅನಿಲಗಳ ಮೇಲೆ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಸಮಾಧಿ ಪರಿಣಾಮವನ್ನು ಬೀರುತ್ತದೆ. .ಅಯಾನು ಪಂಪ್‌ಗಳನ್ನು ಚೆಲ್ಲುವ ಪ್ರಯೋಜನಗಳೆಂದರೆ ಉತ್ತಮ ಅಂತಿಮ ನಿರ್ವಾತ, ಕಂಪನವಿಲ್ಲ, ಶಬ್ದವಿಲ್ಲ, ಮಾಲಿನ್ಯವಿಲ್ಲ, ಪ್ರಬುದ್ಧ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ, ನಿರ್ವಹಣೆ ಇಲ್ಲ ಮತ್ತು ಅದೇ ಪಂಪ್ ವೇಗದಲ್ಲಿ (ಜಡ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಹೊರತುಪಡಿಸಿ), ಅವುಗಳ ವೆಚ್ಚವು ಆಣ್ವಿಕ ಪಂಪ್‌ಗಳಿಗಿಂತ ಕಡಿಮೆಯಾಗಿದೆ, ಇದು ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಸಿಸ್ಟಮ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಅವುಗಳನ್ನು ಅತ್ಯಂತ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸುವಂತೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಅಯಾನ್ ಪಂಪ್‌ಗಳ ಸಾಮಾನ್ಯ ಆಪರೇಟಿಂಗ್ ಸೈಕಲ್ 10 ವರ್ಷಗಳಿಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚು.
ಅಯಾನ್ ಪಂಪ್‌ಗಳು ಸರಿಯಾಗಿ ಕೆಲಸ ಮಾಡಲು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 10-7 mbar ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿರಬೇಕು (ಕೆಟ್ಟ ನಿರ್ವಾತಗಳಲ್ಲಿ ಕೆಲಸ ಮಾಡುವುದರಿಂದ ಅವುಗಳ ಜೀವಿತಾವಧಿಯು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಕಡಿಮೆಯಾಗುತ್ತದೆ) ಮತ್ತು ಆದ್ದರಿಂದ ಉತ್ತಮ ಪೂರ್ವ-ಹಂತದ ನಿರ್ವಾತವನ್ನು ಒದಗಿಸಲು ಆಣ್ವಿಕ ಪಂಪ್ ಸೆಟ್ ಅಗತ್ಯವಿದೆ.ಮುಖ್ಯ ಚೇಂಬರ್‌ನಲ್ಲಿ ಅಯಾನ್ ಪಂಪ್ + ಟಿಎಸ್‌ಪಿ ಮತ್ತು ಇನ್ಲೆಟ್ ಚೇಂಬರ್‌ನಲ್ಲಿ ಸಣ್ಣ ಆಣ್ವಿಕ ಪಂಪ್ ಸೆಟ್ ಅನ್ನು ಬಳಸುವುದು ಸಾಮಾನ್ಯ ಅಭ್ಯಾಸವಾಗಿದೆ.ಬೇಕಿಂಗ್ ಮಾಡುವಾಗ, ಸಂಪರ್ಕಿತ ಇನ್ಸರ್ಟ್ ಕವಾಟವನ್ನು ತೆರೆಯಿರಿ ಮತ್ತು ಸಣ್ಣ ಆಣ್ವಿಕ ಪಂಪ್ ಸೆಟ್ ಮುಂಭಾಗದ ನಿರ್ವಾತವನ್ನು ಒದಗಿಸಲಿ.
ಅಯಾನು ಪಂಪ್‌ಗಳು ಜಡ ಅನಿಲಗಳ ಹೊರಹೀರುವಿಕೆಗೆ ಕಡಿಮೆ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಅವುಗಳ ಗರಿಷ್ಠ ಪಂಪ್ ವೇಗವು ಆಣ್ವಿಕ ಪಂಪ್‌ಗಳಿಗಿಂತ ಸ್ವಲ್ಪ ಭಿನ್ನವಾಗಿರುತ್ತದೆ ಎಂದು ಗಮನಿಸಬೇಕು, ಆದ್ದರಿಂದ ದೊಡ್ಡ ಔಟ್‌ಗ್ಯಾಸಿಂಗ್ ಪರಿಮಾಣಗಳು ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಮಾಣದ ಜಡ ಅನಿಲಗಳಿಗೆ, ಆಣ್ವಿಕ ಪಂಪ್ ಸೆಟ್ ಅಗತ್ಯವಿದೆ.ಇದರ ಜೊತೆಯಲ್ಲಿ, ಅಯಾನು ಪಂಪ್ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ವಿದ್ಯುತ್ಕಾಂತೀಯ ಕ್ಷೇತ್ರವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪ ಮಾಡಬಹುದು.
IV.ಟೈಟಾನಿಯಂ ಉತ್ಪತನ ಪಂಪ್ಗಳು
ಟೈಟಾನಿಯಂ ಉತ್ಪತನ ಪಂಪ್‌ಗಳು ಲೋಹೀಯ ಟೈಟಾನಿಯಂನ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆಯ ಮೇಲೆ ಅವಲಂಬಿತವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಗಾಗಿ ಚೇಂಬರ್ ಗೋಡೆಗಳ ಮೇಲೆ ಟೈಟಾನಿಯಂ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತವೆ.ಟೈಟಾನಿಯಂ ಉತ್ಪತನ ಪಂಪ್‌ಗಳ ಅನುಕೂಲಗಳೆಂದರೆ ಸರಳ ನಿರ್ಮಾಣ, ಕಡಿಮೆ ವೆಚ್ಚ, ಸುಲಭ ನಿರ್ವಹಣೆ, ಯಾವುದೇ ವಿಕಿರಣ ಮತ್ತು ಕಂಪನ ಶಬ್ದವಿಲ್ಲ.
ಟೈಟಾನಿಯಂ ಉತ್ಪತನ ಪಂಪ್‌ಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 3 ಟೈಟಾನಿಯಂ ಫಿಲಾಮೆಂಟ್‌ಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತವೆ (ಸುಡುವುದನ್ನು ತಡೆಯಲು) ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾದ ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ತೆಗೆಯುವಿಕೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸಲು ಆಣ್ವಿಕ ಅಥವಾ ಅಯಾನ್ ಪಂಪ್‌ಗಳ ಸಂಯೋಜನೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.ಅವು 10-9-10-11 mbar ಶ್ರೇಣಿಯಲ್ಲಿನ ಅತ್ಯಂತ ಪ್ರಮುಖವಾದ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್‌ಗಳಾಗಿವೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ ಮಟ್ಟಗಳು ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಹೆಚ್ಚಿನ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಚೇಂಬರ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಅಳವಡಿಸಲಾಗಿದೆ.
ಟೈಟಾನಿಯಂ ಉತ್ಪತನ ಪಂಪ್‌ಗಳ ಅನನುಕೂಲವೆಂದರೆ ನಿಯಮಿತವಾಗಿ ಟೈಟಾನಿಯಂ ಅನ್ನು ಚೆಲ್ಲುವ ಅವಶ್ಯಕತೆಯಿದೆ, ನಿರ್ವಾತವು ಸುಮಾರು 1-2 ಆರ್ಡರ್‌ಗಳ ಪ್ರಮಾಣದಲ್ಲಿ ಕ್ಷೀಣಿಸುತ್ತದೆ (ಕೆಲವು ನಿಮಿಷಗಳಲ್ಲಿ), ಆದ್ದರಿಂದ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಅಗತ್ಯತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಕೆಲವು ಕೋಣೆಗಳಿಗೆ NEG ಯ ಬಳಕೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ.ಅಲ್ಲದೆ, ಟೈಟಾನಿಯಂ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಮಾದರಿಗಳು/ಸಾಧನಗಳಿಗೆ, ಟೈಟಾನಿಯಂ ಉತ್ಪತನ ಪಂಪ್‌ನ ಸ್ಥಳವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು ಕಾಳಜಿಯನ್ನು ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳಬೇಕು.
V. ಕ್ರಯೋಜೆನಿಕ್ ಪಂಪ್‌ಗಳು
ಕ್ರಯೋಜೆನಿಕ್ ಪಂಪ್‌ಗಳು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ನಿರ್ವಾತವನ್ನು ಪಡೆಯಲು ಕಡಿಮೆ ತಾಪಮಾನದ ಭೌತಿಕ ಹೊರಹೀರುವಿಕೆಯನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿವೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಪಂಪಿಂಗ್ ವೇಗದ ಅನುಕೂಲಗಳು, ಯಾವುದೇ ಮಾಲಿನ್ಯ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಅಂತಿಮ ನಿರ್ವಾತ.ಕ್ರಯೋಜೆನಿಕ್ ಪಂಪ್‌ಗಳ ಪಂಪ್ ವೇಗದ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುವ ಮುಖ್ಯ ಅಂಶಗಳು ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಪಂಪ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈ ವಿಸ್ತೀರ್ಣ.ದೊಡ್ಡ ಆಣ್ವಿಕ ಕಿರಣದ ಎಪಿಟ್ಯಾಕ್ಸಿ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಅಂತಿಮ ನಿರ್ವಾತ ಅಗತ್ಯತೆಗಳ ಕಾರಣದಿಂದ ಕ್ರಯೋಜೆನಿಕ್ ಪಂಪ್‌ಗಳನ್ನು ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಕ್ರಯೋಜೆನಿಕ್ ಪಂಪ್‌ಗಳ ಅನಾನುಕೂಲಗಳು ದ್ರವ ಸಾರಜನಕದ ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಳಕೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ವೆಚ್ಚಗಳಾಗಿವೆ.ದ್ರವರೂಪದ ಸಾರಜನಕವನ್ನು ಸೇವಿಸದೆಯೇ ಮರುಬಳಕೆಯ ಚಿಲ್ಲರ್‌ಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳನ್ನು ಬಳಸಬಹುದು, ಆದರೆ ಇದು ಶಕ್ತಿಯ ಬಳಕೆ, ಕಂಪನ ಮತ್ತು ಶಬ್ದದ ಅನುಗುಣವಾದ ಸಮಸ್ಯೆಗಳನ್ನು ತರುತ್ತದೆ.ಈ ಕಾರಣಕ್ಕಾಗಿ, ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಪ್ರಯೋಗಾಲಯ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಕ್ರಯೋಜೆನಿಕ್ ಪಂಪ್‌ಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
VIಆಸ್ಪಿರೇಟರ್ ಪಂಪ್‌ಗಳು (NEG)
ಸಕ್ಷನ್ ಏಜೆಂಟ್ ಪಂಪ್ ಇತ್ತೀಚಿನ ವರ್ಷಗಳಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚು ಬಳಸಿದ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದಾಗಿದೆ, ಇದರ ಪ್ರಯೋಜನವೆಂದರೆ ರಾಸಾಯನಿಕ ಹೊರಹೀರುವಿಕೆಯ ಸಂಪೂರ್ಣ ಬಳಕೆ, ಯಾವುದೇ ಆವಿ ಲೇಪನ ಮತ್ತು ವಿದ್ಯುತ್ಕಾಂತೀಯ ಮಾಲಿನ್ಯ, ಟೈಟಾನಿಯಂ ಉತ್ಪತನ ಪಂಪ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಅಯಾನ್‌ನ ಸ್ಥಾನವನ್ನು ಆಣ್ವಿಕ ಪಂಪ್‌ಗಳ ಜೊತೆಯಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಪಂಪ್‌ಗಳು, ಅನನುಕೂಲವೆಂದರೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ವೆಚ್ಚ ಮತ್ತು ಸೀಮಿತ ಸಂಖ್ಯೆಯ ಪುನರುತ್ಪಾದನೆಗಳು, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ನಿರ್ವಾತ ಸ್ಥಿರತೆಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಅಥವಾ ವಿದ್ಯುತ್ಕಾಂತೀಯ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚು ಸಂವೇದನಾಶೀಲವಾಗಿರುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಹೆಚ್ಚುವರಿಯಾಗಿ, ಆಸ್ಪಿರೇಟರ್ ಪಂಪ್‌ಗೆ ಆರಂಭಿಕ ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುವಿಕೆಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚುವರಿ ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜು ಸಂಪರ್ಕದ ಅಗತ್ಯವಿಲ್ಲದ ಕಾರಣ, ಪಂಪ್ ಮಾಡುವ ವೇಗವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು ಮತ್ತು ನಿರ್ವಾತ ಮಟ್ಟವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಸಹಾಯಕ ಪಂಪ್‌ನಂತೆ ದೊಡ್ಡ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಇದನ್ನು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಸರಳಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.

ಚಿತ್ರ: ವಿವಿಧ ರೀತಿಯ ಪಂಪ್‌ಗಳಿಗೆ ಕೆಲಸದ ಒತ್ತಡಗಳು.ಕಂದು ಬಾಣಗಳು ಗರಿಷ್ಠ ಅನುಮತಿಸುವ ಆಪರೇಟಿಂಗ್ ಒತ್ತಡದ ಶ್ರೇಣಿಯನ್ನು ತೋರಿಸುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ದಪ್ಪ ಹಸಿರು ಭಾಗಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯ ಕೆಲಸದ ಒತ್ತಡದ ಶ್ರೇಣಿಯನ್ನು ತೋರಿಸುತ್ತವೆ.