중국어 전문 중국 Eleai 산소 센서 초음파 마이크로 전자 압력 컨트롤러 가스 질량 흐름 컨트롤러
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| 모델 | SQC-100 |
| 흐름 범위(N2) | 0~5,10,20,30 ,50 ,100 ,200,500SCCM |
| 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
| 정확성 | ±1%FS(≤15SLM); ±2%FS(>15SLM) |
| 밸브 구동 유형 | 정상 폐쇄 |
| 선형성 | ±1%FS(≤15SLM); ±2%FS(>15SLM) |
| 반복성 | ±0.2%FS |
| 응답 시간 | 1초 이하 |
| 입출력 신호 | 0~5V |
| 전기 조인트 | DB15 핀(바늘) |
| 운영시간 | 5~45℃ |
| 차동 사전. | 0.05~0.5MPa(MFC); 0.03~3.0MPa(MFM) |
| 누출율 | 1×10-8SCCS(그) |
| 최대.압력 | 3MPa |
| 중간 소재 | 316L SS 및 밀봉재 |
| 씰링 재료 | Viton, 실리콘 고무, NBR, 테플론, 금속 씰. |
| 조인트 크기 | VCR 1/4"; Swagelok 1/8" , 1/4"; Ø3, Ø6mm |
| 전원공급장치 | +15V,50mA;-15V,200mA |
| 모델 | SQC-200 |
| 흐름 범위(N2) | MFC: 0~20,30 ,50 ,100 ,150, 200SLM |
| MFM: 0~20 ,30 ,50,100 ,150, 200 ,250,300SLM | |
| 정확성 | ±2%FS |
| 밸브 구동 유형 | 정상 폐쇄 |
| 선형성 | ±2%FS |
| 반복성 | ±0.2%FS |
| 응답 시간 | 5초 이하 |
| 입출력 신호 | 1~5V; 4~20mA |
| 전기 조인트 | DB15 핀(바늘) |
| 운영시간 | 5~45℃ |
| 차동 사전. | 0.1~0.3MPa(MFC); 0.05~3.0MPa(MFM) |
| 누출율 | 1×10-8SCCS(그) |
| 최대.압력 | 3MPa |
| 중간 소재 | 316L SS 및 밀봉재 |
| 씰링 재료 | 바이톤, 실리콘 고무, NBR, ERP, 테프론 |
| 조인트 크기 | Swagelok 3/8" 、1/2"; Ø8, Ø10, Ø12mm |
| 전원공급장치 | 24V,0.5A |
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