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맞춤형 터보 펌프 장치

간단한 설명:

EVT 시리즈 고진공 배기 장치는 EV 시리즈 복합 터보 펌프, 전면 기계식 펌프, 장치 제어 전원 공급 장치, 고진공 복합 진공 게이지, 초고진공 플레이트 밸브, 프리 펌핑 앵글 밸브 및 곧.설치가 쉽고 작동이 간단하며 안정적인 성능을 제공합니다.반도체 장비, 전기 진공 장치, 가속기, 표면 분석, 플라즈마 및 기타 진공 기술에 널리 사용될 수 있습니다.


제품 상세 정보

제품 태그

작동 원리

터보 펌프 장치(2)

위 그림과 같이 분자펌프의 가스회로 방식은 일반적으로 분자펌프의 성능시험이나 각종 과학적인 탐지장비에 사용되며, 진공챔버 설비와 재료가 상대적으로 고정되어 있는 것이 특징이며, 실내 작동을 위해 진공 챔버를 자주 열 필요가 없습니다.전단에서 오일 매질의 회전 블레이드 기계식 펌프를 사용하는 경우 공기 배출 밸브를 설치해야 합니다.기계식 펌프의 전원이 꺼진 후 오일 증기와 심지어 오일이 분자 펌프로 유입되지 않도록 파티션 환기 밸브를 포어 펌프와 연동해야 합니다.일부 회전 블레이드 기계식 펌프에는 장기간 사용을 피하기 위해 자체 공기 배출 밸브가 있으며 포어 라인 파이프가 오일 전체에 묻어 오염이 심각합니다.

기술 지표

1. 장치는 다양한 위치에서 배기 요구 사항을 충족할 수 있는 이동식 트롤리 구조입니다.

2. 장비의 진공도는 분자 펌프가 400HZ까지 시작된 후 8×10-4pa보다 좋고, 30분 이내에 5×10-5pa보다 좋으며, 최종 진공도는 8×10-7pa입니다.

3. 장치에는 분자 펌프를 멈추지 않고 교체, 사전 진공 및 고진공 배기 흐름을 실현할 수 있는 사전 배기 시스템이 장착되어 배기 시간을 단축하고 작업 효율을 효과적으로 향상시킵니다.

터보 펌프 장치(2)
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