EVDL-10A 석영 발진기 진공 게이지
1.제품개요
EVDL-10A 석영 진공 측정기는 수정 진동자를 센서로 사용하는 진공 측정기입니다.범위가 넓고 정밀도가 높습니다.진공 게이지는 조절 장치와 제어 장치로 구성되며 제어 장치의 디지털 튜브는 압력 값을 표시합니다.
2. 기술 사양
1. 측정 범위: 5×10-1-105Pa
2. 전원 공급 장치: AC 220V,50Hz
3. 전력 : 7W
4. 섀시 크기: 180mm×80mm×200mm(L*W*D)
5. 케이블 길이 2m
3. 작동 원리
EVDL-10A 석영진공계는 수정진동자의 공진임피던스와 가스압력의 특성을 이용하여 제작한 진공계입니다.EVDL-10A 석영 진공 게이지의 수정 수정 발진기는 발진기의 구성 요소일 뿐만 아니라 가스 압력을 측정하는 센서이기도 합니다.수정 진동자는 알루미늄 쉘에 설치되어 직경 15.5mm의 게이지 파이프를 만들고 인터페이스를 통해 시스템에 삽입할 수 있습니다.공진 임피던스 측정 회로는 그림 1에 나와 있습니다.
그림 1 공진 임피던스 측정 회로
공진 임피던스 Z= V AB
VAB결정 양단의 전압은
I는 결정을 통해 흐르는 전류이다
전류 I는 수정과 직렬로 연결된 저항 R을 통해 흐르고, 저항 양단의 전압은 VBD입니다.
∴ 나는 = V BD
Z=V AB R
VAB전압 V와 거의 같습니다0AC 전반에 걸쳐 VBD는 전압 V와 거의 동일합니다.1DC에 걸쳐 측정된 V로부터 임피던스를 계산할 수 있습니다.0, V1그리고 저항값.단일 칩 마이크로컴퓨터는 임피던스를 압력으로 변환하고 디지털 튜브는 압력 값을 표시합니다.
4.석영진공게이지의 특성
석영 진공계는 센서 용량이 작은 것이 특징입니다.EVDL-10A 석영 진공계의 결정 진동 크기는 3.2mm × 1.5mm × 0.8mm입니다.이와 같이 진공계는 다른 진공계와 같이 가스압력을 측정하는 것 외에도 1cm3 크기의 밀봉된 장치와 같은 작은 부피의 가스압력을 측정하고 진공 유지 상태를 감지할 수 있습니다.
5.EVDL-10A 석영 진공 게이지 설치
EVDL-10A 석영 진공 게이지의 설치는 그림 2에 나와 있습니다.
수정 발진기와 발진 회로는 프로브에 배치됩니다.리드 케이블은 5핀 플러그를 통해 제어 장치 후면 패널의 소켓에 삽입되고 프로브 직경 Φ15.5의 파이프가 진공 시스템에 삽입됩니다.전원 케이블을 제어 장치의 후면 패널 소켓에 꽂고 반대쪽 끝을 전원 콘센트에 꽂습니다.전원 콘센트에는 제어 장치 섀시를 접지하기 위한 접지선이 있어야 합니다.전원 스위치를 켜면 제어 장치 디지털 튜브에 압력 값이 표시됩니다.디지털 튜브 디스플레이 3.2 E 2는 압력 값이 3.2×102Pa임을 의미합니다.
6.석영 진공 게이지 교정
주변 온도가 변하면 EVDL-10A를 다음과 같이 교정해야 합니다.
1. 영점 조정: 기계가 30분 동안 안정된 후 압력이 10-3Pa 미만일 때 드라이버로 제어 장치 전면 패널의 영점 구멍에 있는 버튼을 눌러 해제합니다.진공 시스템이 10-3Pa에 도달하지 않으면 제로 버튼을 누를 수 없습니다.
2. 대기 조절: 대기를 조절에 노출시킨 후, 제어 장치 전면 패널의 대기 구멍에 있는 버튼을 드라이버로 눌러 해제합니다.
