큰 펌핑 속도 내구성 저소음 DRV 로터리 베인 공기 펌프 진공 펌프
DRV 시리즈 진공 펌프는 주로 공기 및 기타 건조 가스를 제거하는 데 사용되는 저진공 및 중간 진공 응용 분야에 적합한 2단 회전 날개 오일 밀봉 진공 펌프입니다.저진공 및 중진공의 주요 장비 중 하나로 단독으로 사용하거나 포어로 사용할 수 있습니다.
다른 진공 펌프의 펌프.
진공 펌프는 안정적인 작동 성능, 부품 마모 감소, 저진동, 저소음 및 고효율이라는 특성을 가지고 있습니다.
SV 시리즈 진공 펌프는 외국 첨단 기술에서 수입되며 주요 구성 요소는 수입 부품이거나 수입품입니다.
재료.DRV 시리즈 진공펌프는 유사한 외국 제품을 완전히 대체할 수 있습니다.
EVFB 시리즈 분자 펌프 제품 브로셔
모델:
EVFB-100/301 복합 일체형 분자 펌프
EVFB-160/401 복합 일체형 분자 펌프
EVFB-160/450D 방진 분자펌프
EVFB-160/701복합 일체형 분자 펌프
EVFB-200/1401 복합 일체형 분자 펌프
EVFB-250/2201 복합 일체형 분자 펌프
EVFB-160/701복합 분자 펌프
EVFB-200/1401 복합 분자 펌프
EVFB-250/2201 복합 분자 펌프
EVFB-400/3600 터보 분자 펌프
EVFB-400/4500 터보 분자 펌프
제품개요
분자 펌프는 일종의 고속 회전 운동량 전달 진공 펌프이며 작동 압력 범위는 일반적으로 10입니다.-1파 ~ 10-7Pa는 고진공 및 초고진공을 달성하는 중요한 진공 획득 장비 중 하나입니다.분자 펌프는 빠른 시동 속도, 넓은 작동 범위, 낮은 전력 소비, 높은 청결도 및 간단한 유지 관리라는 장점을 가지고 있습니다.
본 샘플북에 기재된 분자펌프 제품은 2세대 제품입니다.
통합 컨트롤러와 유연한 응용 시나리오를 갖춘 첫 번째 산업용 진공 분자 펌프 제품 시리즈를 포함하여 산업용 진공 및 과학 연구 분야를 위해 주로 설계되고 최적화된 회사에서 새로 출시한 제품입니다.구경에 따라 주로 DN100, DN160, DN200, DN250, DN400 및 기타 제품이 있습니다.
그리스 윤활 일체형 분자 펌프
이 제품 시리즈의 주요 특징:
(1) 통합 컨트롤러: 통합 컨트롤러 설계, 시스템 통합 촉진, 핵심 시작-중지;
(2) 정밀 베어링: 그리스 윤활 정밀 세라믹 볼 베어링, 어떤 각도로든 설치됨;
(3) 높은 신뢰성: 전체 로터, BLDC 구동 기술;
(4) 기능적 다양성: 다양한 액세서리, 맞춤형 솔루션 이용 가능;
(5) 다양한 펌핑 속도 요구 사항을 충족하기 위해 조정 가능한 속도 기능을 제공합니다.
이 제품 시리즈는 주로 PVD, CVD, 액정판 및 기타 산업용 코팅에 적합합니다.질량 분석기, 고에너지 물리학, 진공 누출 감지, 의학 및 생물 공학 및 기타 과학 연구 분야.
분자 펌프 기술 사양
| 모델 | EVFB-100/301 | EVFB-160/401 | EVFB-160/450D（맞춤 제작) | ||||
| √그만큼 진공 매개변수 | |||||||
| 펌핑 속도 (엘/초) | N2 | He | N2 | He | N2 | He | |
| 300 | 230 | 460 | 380 | 38 | 310 | ||
| 궁극적인 압력 | < 5×10-6 Pa(LF) ;< 5×10 -7 Pa(CF) | < 8×10 -6 Pa(LF) < 8×10 -7 Pa(CF) | |||||
| 압축 비율 | > | > | > | > | > 1×108 | > 1×10 3 | |
| 최대 연속 유입구ss 응? | 10파 | 2Pa | 10파 | 2파 | 20 | 5파 | |
| 최대연속전선압력 | 300 | 200 | 300 | 200파 | 20 | 10파 | |
| Maxforeline압력 허용 오차 | 1000 | 500 | 1000 | 500파 | 50 | 20파 | |
| √물리적 매개변수 | |||||||
| 입구 플랜지 | DN100 ISO-K(LF) 아니면 CF | DN160 ISO-K(LF) 또는 CF | |||||
| 포어라인 플랜지 | DN25 ISO-KF 또는 DN40KF(옵션) | ||||||
| 숙청 플랜지 | DN16 ISO-KF | ||||||
| 무게 | 9.6kg(ISO-K | 10kg(ISO-K) | |||||
| 10kg(CF) | 11kg(CF) | ||||||
| 진동 | 0.05μm 이하 | ||||||
| 소음 | ≤55dB(표준 공기 냉각) | ||||||
| 베어링 | 그리스 윤활 세라믹 볼 베어링 | ||||||
| 운영 중 위치 | 어느 | ||||||
| 작동.주변 자기 필드 | ≤3mT(최대 10mT, 사용자 정의 필요) | ||||||
| 운영.ambie nt | 공냉식 | 5~35℃ | |||||
| 수냉식 | 5~40℃ | ||||||
| 냉각수 요구사항 | 수온 : 15-30 ℃, 압력 : 0.15Mpa, PH6 ~ 8, 명확하고 오일 프리, 유량 : ≥1L/min | ||||||
| 추천 펌프 | 2~6L/초 | 3~8L/초 | |||||
| √제어 장치 매개변수 | |||||||
| 제어 장치 | EVFB-II | ||||||
| 회전 속도 | 48000rp | 36000rpm | |||||
| 낮은 속도 | 33600rp | 25200rpm | |||||
| 스타트업 시간 | 5분 이내 | ||||||
| 전압 | 48VAC±2% | ||||||
| 의사소통 방법 | RS-485 | ||||||
| 모델 | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | ||||
| √그만큼 진공 매개변수 | |||||||
| 궁극적인 압력(Pa) | <5x10-6(LF) <5x10-7(CF) | ||||||
| 펌핑 속도 (엘/초) | N2 | He | N | He | N2 | He | |
| 6 | 5 | 1350 | 1200 | 2050년 | 1800 | ||
| 압축 비율 | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | |
| 최대 연속 유입구ss 우르(Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | |
| 최대연속전선압력(Pa) | 30 | 2 | 3 | 2 | 2 | 1 | |
| Maxforelinepress 요관내성(Pa) | 10 | 5 | 1000 | 5 | 5 | 2 | |
| √물리적 매개변수 | |||||||
| 입구 플랜지 | DN160 ISO-K(LF) 또는 CF | DN200 ISO-K （LF）或 CF | DN250 ISO-K (LF) 또는 | ||||
| 포어라인 플랜지 | DN25 ISO-KF 또는 KF40(옵션) | DN40 ISO-KF 또는 KF50(옵션) | |||||
| 숙청 플랜지 | DN16 ISO-KF | ||||||
| 추천 전펌프(L/s) | 4~ | 8~ | 16~2 | ||||
| 무게（kg) | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ||||
| 23 (CF) | 34 | 45 (CF) | |||||
| 진동 | ≤ | ||||||
| 소음(dB) | ≤ | ||||||
| 베어링 | 그리스 윤활 세라믹 볼 베어링 | ||||||
| 운영 중 위치 | 어느 | ||||||
| 자기 필드 강도(mT) | ≤3(최대 10mT, 사용자 정의 필요) | ||||||
| 작동.주변 온도 | 공기 냉각 | 5~35℃ | |||||
| 물 냉각 | 5~40℃ | ||||||
| 냉각 물 요구 사항 | 수온 : 15-25 ℃, 압력 : 0.15Mpa, PH6 ~ 8, 명확하게, 오일 프리 ;유량:≥1.5L/min | ||||||
| √제어 장치 매개변수 | |||||||
| 제어 장치 | EVFB-III-A | ||||||
| 의사소통 방법 | RS-485 | ||||||
| 전압（V) | 220V AC±10% | ||||||
| 빈도（Hz) | 50/60±5% | ||||||
| 최고 입력 힘（W) | 100 | ||||||
| 시작 멈춤 제어 방법 | 컨트롤러 버튼 제어 시작 및 중지 /RS485 컨트롤러 시작 및 중지 /DB15 제어 시작 및 중지 | ||||||
| 보호 | 컨트롤러 과전류, 과전압, 저전압, 과열 보호, 분자 펌프 과전류, 과부하, 과열 보호 등 | ||||||
| 회전 속도 (r/분) | 36000±0.1% | 30000±0.1% | 24000±0.1% | ||||
| 낮은 속도 (r/분) | 25200±0.1% | 21000±0.1% | 16800±0.1% | ||||
| 현재의（A) | ≤0.6 | ≤1 | ≤1 | ||||
| 보호 퓨즈（A) | 6.5 | 6.5 | 6.5 | ||||
| 시작 시간（분) | ~5 | ~6 | ~7 | ||||
| 중단 시간（분) | ~5 | ~10 | ~12 | ||||
전체 치수
| 모델 | DN | d1 | h | h1 | h2 | d2 | n |
| EVFB-100/301 | 100LF | 130 | 253.5 | 180 | 170 | — | — |
| 100CF | 152 | 274.5 | 201 | 191 | 130.3 | 16 | |
| EVFB-160/401 | 160LF | 180 | 239.5 | 169.5 | 159.5 | — | — |
| 160CF | 202 | 238.5 | 168.5 | 158.5 | 181 | 20 | |
| EVFB-160/450D | 160LF | 180 | 243 | 169.5 | 159.5 | — | — |
| 160CF | 202 | 242 | 168.5 | 158.5 | 181 | 20 |
| 모델 | DN | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 | 160LF | 180 | 218.5 | 241.8 | 336.8 | 201.8 | 124.8 |
| EVFB-160/701 | 160CF | 202 | 218.5 | 268.8 | 359.8 | 224.8 | 124.8 |
| EVFB-200/1400 | 200LF | 240 | 267 | 257.5 | 352.5 | 231.5 | 155.1 |
| EVFB-200/1401 | 200CF | 253 | 267 | 274.5 | 369.5 | 248.5 | 155.1 |
| EVFB-250/2200 | 250LF | 290 | 296 | 229.8 | 324.8 | 203.8 | 165.3 |
| EVFB-250/2201 | 250CF | 305 | 296 | 259.8 | 354.8 | 233.8 | 165.3 |
주문 정보
| 숫자 | 제품 모델 | 제품 암호 | 부속품 | 주문하다숫자 | 설명하다 |
|
1 |
EVFB-100/301(LF) |
A3123 | 표준 분자 펌프 | A3123 | 표준 펌프(공냉식은 기본적으로 표준임) |
| 퍼지 밸브 액세서리(소유량) | A3123-A | 표준 펌프 + 퍼지 밸브 액세서리(소유량) | |||
| 수냉식 부품 | A3123-B | 표준 펌프 + 수냉식 부품(공냉식 부품 교체) | |||
| 퍼지 밸브 액세서리 (소유량), 수냉식 부품 | A3123-C | 표준 펌프 + 퍼지 밸브 액세서리(소유량)+ 수냉식 부품(공냉식 부품 교체) | |||
|
2 |
EVFB-100/301(CF) |
A3124 | 표준 분자 펌프 | A3124 | 표준 펌프(공냉식은 기본적으로 표준임) |
| 퍼지 밸브 액세서리(소유량) | A3124-A | 표준 펌프 + 퍼지 밸브 액세서리(소유량) | |||
| 수냉식 부품 | A3124-B | 표준 펌프 + 수냉식 부품(공냉식 부품 교체) | |||
| 퍼지 밸브 액세서리 (소유량), 수냉식 부품 | A3124-C | 표준 펌프 + 퍼지 밸브 액세서리(소유량)+ 수냉식 부품(공냉식 부품 교체) | |||
|
3 |
EVFB-160/401(LF) |
A3127 | 표준 분자 펌프 | A3127 | 표준 펌프(공냉식은 기본적으로 표준임) |
| 퍼지 밸브 액세서리(소유량) | A3127-A | 표준 펌프 + 퍼지 밸브 액세서리(소유량) | |||
| 수냉식 부품 | A3127-B | 표준 펌프 + 수냉식 부품(공냉식 부품 교체) | |||
| 퍼지 밸브 액세서리 (소유량), 수냉식 부품 | A3127-C | 표준 펌프 + 퍼지 밸브 액세서리(소유량)+ 수냉식 부품(공냉식 부품 교체) | |||
|
4 |
EVFB-160/401(CF) |
A3128 | 표준 분자 펌프 | A3128 | 표준 펌프(공냉식은 기본적으로 표준임) |
| 퍼지 밸브 액세서리(소유량) | A3128-A | 표준 펌프 + 퍼지 밸브 액세서리(소유량) | |||
| 수냉식 부품 | A3128-B | 표준 펌프 + 수냉식 부품(공냉식 부품 교체) | |||
| 퍼지 밸브 액세서리 | A3128-C | 표준 펌프 + 퍼지 밸브 |
| (소유량), 수냉식 부품 | 액세서리(소유량)+ 수냉식 부품(교체공냉식 부품) | ||||
|
5 |
EVFB-160/450D(LF) |
A3129 | 표준 분자 펌프 | A3129 | 표준 펌프(공냉식은 기본적으로 표준임) |
| 퍼지 밸브 액세서리(소유량) | A3129-A | 표준 펌프 + 퍼지 밸브 액세서리(소유량) | |||
| 수냉식 부품 | A3129-B | 표준 펌프 + 수냉식 부품(공냉식 부품 교체) | |||
| 퍼지 밸브 액세서리 (소유량), 수냉식 부품 | A3129-C | 표준 펌프 + 퍼지 밸브 액세서리(소유량)+ 수냉식 부품(공냉식 부품 교체) | |||
|
6 |
EVFB-160/450D(CF) |
A3130 | 표준 분자 펌프 | A3130 | 표준 펌프(공냉식은 기본적으로 표준임) |
| 퍼지 밸브 액세서리(소유량) | A3130-A | 표준 펌프 + 퍼지 밸브 액세서리(소유량) | |||
| 수냉식 부품 | A3130-B | 표준 펌프 + 수냉식 부품(공냉식 부품 교체) | |||
| 퍼지 밸브 액세서리 (소유량), 수냉식 부품 | A3130-C | 표준 펌프 + 퍼지 밸브 액세서리(소유량)+ 수냉식 부품(공냉식 부품 교체) | |||
|
7 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139 | 표준 분자 펌프 | A3139 | 표준 펌프(수냉식)기본적으로 표준임) |
| 퍼지 밸브 액세서리 | A3139-A | 표준 펌프 + 퍼지 밸브부속품 | |||
| 팬 구성 요소 | A3139-B | 표준 펌프 + 팬 | |||
| 퍼지 밸브 액세서리,팬 구성 요소 | A3139-C | 표준 펌프 + 퍼지 밸브액세서리 + 팬 구성 요소 | |||
|
8 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140 | 표준 분자 펌프 | A3140 | 표준 펌프(수냉식)기본적으로 표준임) |
| 퍼지 밸브 액세서리 | A3140-A | 표준 펌프 + 퍼지 밸브부속품 | |||
| 팬 구성 요소 | A3140-B | 표준 펌프 + 팬 구성 요소 | |||
| 퍼지 밸브 액세서리,팬 구성 요소 | A3140-C | 표준 펌프 + 퍼지 밸브액세서리 + 팬 구성 요소 | |||
|
9 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135 | 표준 분자 펌프 | A3135 | 표준 펌프(기본적으로 수냉식이 표준임) |
| 퍼지 밸브 액세서리 | A3135-A | 표준 펌프 + 퍼지 밸브부속품 | |||
| 팬 구성 요소 | A3135-B | 표준 펌프 + 팬 구성 요소 | |||
| 퍼지 밸브 액세서리, | A3135-C | 표준 펌프 + 퍼지 밸브 |
| 팬 구성 요소 | 액세서리 + 팬 구성 요소 | ||||
|
10 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136 | 표준 분자 펌프 | A3136 | 표준 펌프(기본적으로 수냉식이 표준임) |
| 퍼지 밸브 액세서리 | A3136-A | 표준 펌프 + 퍼지 밸브부속품 | |||
| 팬 구성 요소 | A3136-B | 표준 펌프 + 팬 구성 요소 | |||
| 퍼지 밸브 액세서리、 | A3136-C | 표준 펌프 + 퍼지 밸브액세서리 + 팬 구성 요소 | |||
|
11 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141 | 표준 분자 펌프 | A3141 | 표준 펌프(기본적으로 수냉식이 표준임) |
| 퍼지 밸브 액세서리 | A3141-A | 표준 펌프 + 퍼지 밸브부속품 | |||
| 팬 구성 요소 | A3141-B | 표준 펌프 + 팬 | |||
| 퍼지 밸브 액세서리、팬 구성 요소 | A3141-C | 표준 펌프 + 퍼지 밸브액세서리 + 팬 구성 요소 | |||
|
12 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142 | 표준 분자 펌프 | A3142 | 표준 펌프(기본적으로 수냉식이 표준임) |
| 퍼지 밸브 액세서리 | A3142-A | 표준 펌프 + 퍼지 밸브부속품 | |||
| 팬 구성 요소 | A3142-B | 표준 펌프 + 팬 | |||
| 퍼지 밸브 액세서리、 | A3142-C | 표준 펌프 + 퍼지 밸브액세서리 + 팬 구성 요소 | |||
| 13 | EVFB-II | A3261 | - | A3261 | 분자 펌프 컨트롤러(EVFB-100/301、EVFB-160/401、EVFB-100/450D와 같은 분자 펌프에 적합) |
| 14 | EVFB-III-A | A3263 | - | A3263 | 분자 펌프 컨트롤러(EVFB-160/701、EVFB-200/1401、EVFB-와 같은 분자 펌프에 적합합니다.250/2201) |
분리된 화합물 분자 펌프
이 제품 시리즈의 주요 특징:
(1) 분리된 컨트롤러: AC220V 전원 공급 장치, 키 시작-정지;
(2) 높은 신뢰성: 전체 로터, BLDC 구동 기술;
(3) 정밀 베어링: 정밀 세라믹 볼 베어링, 모든 각도로 설치됨(그리스 윤활 모델만 해당);
(4) 기능적 다양성: 다양한 액세서리, 맞춤형 솔루션 이용 가능;
(5) 다양한 펌핑 속도 요구 사항을 충족하기 위해 조정 가능한 속도 기능을 제공합니다. 이 제품 시리즈는 주로 PVD, CVD, 액정 플레이트 및 기타에 적용 가능합니다.
산업용 코팅, 과학 연구 및 기타 분야.
분자 펌프 기술적인 매개변수
| 모델 | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | EVFB-400/3600 | EVFB-400/4500 | |||||
| √그만큼 진공 매개변수 | ||||||||||
| 극한압력(Pa) | <5x10-6(LF) <5x10-7(CF) | |||||||||
| 펌핑 속도 (엘/초) | N2 | He | N2 | He | N2 | H | N2 | He | N2 | He |
| 650 | 550 | 1350 | 1200 | 2050년 | 1800 | 3600 | 3000 | 4800 | 3500 | |
| 압축률 | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | >1x108 | >6x102 | >1x108 | >8x103 |
| 최고 마디 없는 입구압력(Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | 0.05 | 0.02 | 0.03 | 0.01 |
| 최고마디 없는 포어라인 | 300 | 200 | 300 | 200 | 200 | 100 | 50 | 35 | 40 | 30 |
| 최대포어라인압력공차(Pa) | 1000 | 500 | 1000 | 500 | 500 | 200 | 340 | 160 | 160 | 80 |
| √물리적 매개변수 | ||||||||||
| 입구 플랜지 | DN160 ISO-K(LF) 또는CF | DN200 ISO-K(LF) 또는CF | DN250 ISO-K(LF) 또는CF | DN400 ISO-K(LF) 또는CF | DN400 ISO-K(LF) 또는CF | |||||
| 포어라인 플랜지 | DN25 ISO-KF,KF40（옵션） | DN40 ISO-KF, KF50(옵션) | DN100 ISO-K(LF) | DN100 ISO-K(LF)또는KF50（옵션） | ||||||
| 숙청 플랜지 | DN16 ISO-KF | / | DN16 ISO-KF | |||||||
| 추천 | 4~10L/초 | 8~16리터/초 | 16~24리터/초 | 30~70L/초 | ||||||
| 무게（kg) | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ≒ 100 ISO-K(LF) | ≒ 83 ISO-K(LF) | |
| 23 (CF) | 34 (CF) | 45 (CF) | ≒ 105(CF) | ≒ 88(CF) | ||
| 진동 | ≤ 0.05 | ≤ 0.3 | ||||
| 소음 (dB) | ≤ 50 | ≤ 60 | ||||
| 베어링 | 그리스 윤활 세라믹 볼 베어링 | 세라믹 볼 베어링 | ||||
| 운영 중 위치 | 어느 | 수직±5° | ||||
| 작동.주변 자기장 | ≤ 3mT(최대 10mT, 맞춤화 필요) | 3mT 이하 | ||||
| 작동.주변 온도 | 공기 냉각 | 5~35oC | / | / | ||
| 수냉식 | 5~40oC | |||||
| 냉각 물 요구 사항 | 수온: 15-25 ℃; 확실: 0.15Mpa; 흐름: ≥1.5L/min | 유량 : ≥ 3L/min | ||||
| √제어 장치 매개변수 | ||||||
| 분리됨 제어 장치 | EVFB-III-B(2U) | EVFB-VI(4U) | ||||
| 원격 제어 | 초거리 제어(엔지니어에게 문의하시기 바랍니다) | |||||
| 의사소통 방법 | RS-485 | |||||
| 전압（V) | 100~240VAC(± | 220VAC(±10%) | ||||
| 빈도（Hz) | 50/60Hz±5% | |||||
| 최대 입력 전력（W) | 1000 | 1500 | ||||
| 시작 멈춤 제어 방법 | 컨트롤러 버튼 제어 시작 및 중지 /RS485 컨트롤러 시작 및 중지 /DB15 제어 시작 및 중지 | |||||
| 보호 | 컨트롤러 과전류, 과전압, 저전압, 과열 보호, 분자 펌프 과전류,과부하, 과열 보호 등 | |||||
| 회전 속도 (r/분) | 36000±0.1% | 30000±0.1% | 24000±0.1% | 13500±0.1% | 16200±0.1% | |
| 낮은 속도 (r/분) | 25200±0.1% | 21000±0.1% | 16800±0.1% | / | ||
| 현재의（A) | ≤ 0.6 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 5 | ||
| 보호 퓨즈（A) | 6.5 | 6.5 | 6.5 | 12 | ||
| 스타트업 시간（분) | ~5 | ~6 | ~7 | ~20 | ||
| 중단 시간（분) | ~5 | ~10 | ~12 | ~30 | ||
| 작동. 주변 상태 | 부식성 가스 및 눈에 띄는 먼지 입자 없음; 환경 온도: -10℃~50℃; 환경습도: 90% 이하, 진동 강도: 0.5g 이하 | |||||
0전체 차원
| 모델 | D N | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 EVFB-160/701 | 160LF | 180 | 218.5 | 241.8 | 336.8 | 201.8 | 124.8 |
| 160CF | 202 | 218.5 | 268.8 | 359.8 | 224.8 | 124.8 | |
| EVFB-200/1400 EVFB-200/1401 | 200LF | 240 | 267 | 257.5 | 352.5 | 231.5 | 155.1 |
| 200CF | 253 | 267 | 274.5 | 369.5 | 248.5 | 155.1 | |
| EVFB-250/2200 EVFB-250/2201 | 250LF | 290 | 296 | 229.8 | 324.8 | 203.8 | 165.3 |
| 250CF | 305 | 296 | 259.8 | 354.8 | 233.8 | 165.3 |
EVFB-400/3600 터보분자 펌프 치수
EVFB-400/4500 터보분자 펌프 치수
분리된 컨트롤러의 모습
EVFB-III-B(2U) 분리형 컨트롤러
EVFB-VI(4U) 분리형 컨트롤러
주문하다 정보
| 숫자 | 제품 모델 | 제품 암호 | 부속품 | 주문하다 숫자 | 설명하다 |
|
1 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139-F | 표준 분자 펌프 | A3139-F | 표준 펌프(기본적으로 수냉식이 표준임) |
| 퍼지 밸브 액세서리 | A3139-FA | 표준 펌프 + 퍼지 밸브 액세서리 | |||
| 팬 구성 요소 | A3139-FB | 표준 펌프 + 팬 구성 요소 | |||
| 퍼지 밸브 액세서리, 팬 구성 요소 | A3139-FC | 표준 펌프 + 퍼지 밸브 액세서리 + 팬 구성 요소 | |||
|
2 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140-F | 표준 분자 펌프 | A3140-F | 표준 펌프(기본적으로 수냉식이 표준임) |
| 퍼지 밸브 액세서리 | A3140-FA | 표준 펌프 + 퍼지 밸브 액세서리 | |||
| 팬 구성 요소 | A3140-FB | 표준 펌프 + 팬 구성 요소 | |||
| 퍼지 밸브 액세서리, 팬 구성 요소 | A3140-FC | 표준 펌프 + 퍼지 밸브 액세서리 + 팬 구성 요소 | |||
|
3 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135-F | 표준 분자 펌프 | A3135-F | 표준 펌프(수냉식은 기본적으로 표준) |
| 퍼지 밸브 액세서리 | A3135-FA | 표준 펌프 + 퍼지 밸브 액세서리 | |||
| 팬 구성 요소 | A3135-FB | 표준 펌프 + 팬 구성 요소 | |||
| 퍼지 밸브 액세서리, 팬 구성 요소 | A3135-FC | 표준 펌프 + 퍼지 밸브 액세서리 + 팬 구성 요소 | |||
|
4 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136-F | 표준 분자 펌프 | A3136-F | 표준 펌프(기본적으로 수냉식이 표준임) |
| 퍼지 밸브 액세서리 | A3136-FA | 표준 펌프 + 퍼지 밸브 액세서리 | |||
| 팬 구성 요소 | A3136-FB | 표준 펌프 + 팬 구성 요소 | |||
| 퍼지 밸브 액세서리, 팬 구성 요소 | A3136-FC | 표준 펌프 + 퍼지 밸브 액세서리 + 팬 구성 요소 | |||
|
5 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141-F | 표준 분자 펌프 | A3141-F | 표준 펌프(기본적으로 수냉식이 표준임) |
| 퍼지 밸브 액세서리 | A3141-FA | 표준 펌프 + 퍼지 밸브 액세서리 | |||
| 팬 구성 요소 | A3141-FB | 표준 펌프 + 팬 구성 요소 | |||
| 퍼지 밸브 액세서리, 팬 구성 요소 | A3141-FC | 표준 펌프 + 퍼지 밸브 액세서리 + 팬 구성 요소 | |||
|
6 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142-F | 표준 분자 펌프 | A3142-F | 표준 펌프(기본적으로 수냉식이 표준임) |
| 퍼지 밸브 액세서리 | A3142-FA | 표준 펌프 + 퍼지 밸브 액세서리 | |||
| 팬 구성 요소 | A3142-FB | 표준 펌프 + 팬 구성 요소 | |||
| 퍼지 밸브 액세서리 | A3142-FC | 표준 펌프 + 퍼지 밸브 |
| 팬 구성 요소 | 액세서리 + 팬 구성 요소 | ||||
| 7 | EVFB-400/3600(LF) | A3187 | 표준 분자 펌프 | A3187 | 표준 펌프(수냉식) 기본적으로 표준임) |
| 8 | EVFB-400/3600(CF) | A3188 | 표준 분자 펌프 | A3188 | 표준 펌프(수냉식) 기본적으로 표준임) |
|
9 |
EVFB-400/4500(LF) |
A3185 | 표준 분자 펌프 | A3185 | 표준 펌프(기본적으로 수냉식이 표준임) |
| 퍼지 밸브 액세서리 | A3185-A | 표준 펌프 + 퍼지 밸브 액세서리 | |||
|
10 |
EVFB-400/4500(CF) |
A3186 | 표준 분자 펌프 | A3186 | 표준 펌프(기본적으로 수냉식이 표준임) |
| 퍼지 밸브 액세서리 | A3186-A | 표준 펌프 + 퍼지 밸브 액세서리 | |||
|
11 |
EVFB-III-HMI |
A3261-1 |
수동식 패널 |
A3261-1 | 고객 선택 사항, EVFB-160/701, EVFB-200/1401, EVFB-250/2201과 같은 분자 펌프에 적합 |
| 12 | EVFB-VI | A3270 | 분리된 컨트롤러 (4U) | A3270 | EVFB-400/3600, EVFB-400/450과 같은 터보 분자 펌프에 적합합니다. |
| 13 | EVFB-III-B | A3264 | 분리된 컨트롤러 (2U) | A3264 | EVFB-160/701, EVFB-200/1401, EVFB-250/2201과 같은 분자 펌프에 적합합니다. (분리형) |
