질량유량 컨트롤러 질량유량계 CS200
특징
1. 높은 정확도와 빠른 응답
CS200 MFC의 정확도는 SP의 ±1.0%로 향상되었으며, 최신 모델의 경우 응답 시간이 0.8초 미만으로 단축되었습니다.
2. 낮은 영점 드리프트 및 온도 계수
새로운 센서 기술의 발명으로 CS200 MFC는 안정성을 유지하고 온도 변동을 견딜 수 있습니다.자동 영점 증폭기가 없으면 예상 영점 드리프트는 0.6%FS/년 미만이고 온도 계수는 0.02%FS/℃(영), 0.05%FS/℃(스팬) 미만입니다.
3. 금속 밀봉 모델과 고순도 특성
최신 CS200 MFC의 습식 흐름 경로는 표면 부동태화 스테인리스 스틸로 구성됩니다.모든 CS200 MFC는 SEMI 및 ISO 9001 표준에 따라 Sevenstar의 울트라클린 클래스 100 클래스 클린룸에서 조립됩니다.
4. 호환 가능한 인터페이스
CS200 MFC는 고객이 선택할 수 있는 다음 인터페이스와 호환됩니다. ±8V-±16V 더블 엔드 전원 공급 장치 및 +14V-+28V 싱글 엔드 전원 공급 장치;디지털 또는 아날로그 신호 입력 및 출력;SEMI 표준 기계적 치수;RS-485 또는 DeviceNet 통신 모듈.
5. 기타 기능
강력한 고객 소프트웨어는 각 모델마다 표준으로 제공되며 다중 가스, 다중 범위, 자동 영점 조정, 경보, 소프트 스타트 및 지연과 같은 추가 기능은 고객 선택에 따라 제공됩니다.
사양
| CS200 | |||||||
| 유형 | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| 풀 스케일 범위(N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| 정확성 | ±1.0% SP(≥35% FS) ±0.35% FS?(<35% FS) | ||||||
| 선형성 | ±0.5%FS | ||||||
| 반복성 | ±0.2%FS | ||||||
| 응답 시간 | 1초 이하 | 0.8초 이하(SEMI E17-0600) | |||||
| 밸브 휴지 위치 | 평상시 닫힘 또는 | 밸브 없음 | 평상시 닫힘 또는 | 밸브 없음 | 평상시 닫힘 또는 | 밸브 없음 | |
| 상시 열림(100sccm≤FS≤5slm) | 상시 열림(100sccm≤FS≤5slm) | 상시 열림(100sccm≤FS≤5slm) | |||||
| 차압 | 0.05~0.35MPa(유량≤10slm) | ＜0.02MPa | (0.05~0.35)MPa(≤10slm) | ＜0.02MPa | (0.05~0.35)MPa(≤10slm) | ＜0.02MPa | |
| 0.1~0.35MPa(10slm<유량≤30slm) | (0.1~0.35)MPa(>10slm) | (0.1~0.35)MPa(>10slm) | |||||
| 0.2~0.45MPa(유량>30slm) | |||||||
| 최대 작동 압력 | 0.45MPa | |||||
| 온도 | 0: ≤±0.05% FS/℃; | 0: ≤±0.02% FS/℃;범위: ≤±0.05% FS/℃ | ||||
| 계수 | 스팬: ≤±0.1% FS/℃(유량≤30slm) | |||||
| 스팬: ≤±0.2% FS/℃(유량>30slm) | ||||||
| 보증 압력 | 3MPa(435pisg) | |||||
| 제로 드리프트 | ＜자동 영점 조정 없이 연간 0.6%FS | |||||
| 누출 무결성 | 1×10-9 atm·cc/초 He | 1×10-10atm·cc/초 그는 | ||||
| 습식 재료 | 비톤; | 금속?(스테인리스강 V/V, 5Ra) | 금속 | |||
| 표면화학 | —— | Cr/Fe 비율 >2.0;CrO 두께 >20 옹스트롬 | ||||
| 표면 마감 | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| 작동 온도 | （5~45)℃ | （0~50)℃ | ||||
| 입력 신호 | 디지털: RS485 또는 ProfiBus | 해당 없음 | 디지털: RS485, ProfiBus 또는 DeviceNetTM | 해당 없음 | 디지털:RS485 또는 ProfiBus 또는 DeviceNetTM | 해당 없음 |
| 또는 DeviceNetTM | 아날로그:(0~5)VDC 또는 (4~20)mA 또는 (0~20)mA | 아날로그:(0~5)VDC 또는 (4~20)mA? 또는 (0~20)mA | |||||
| 아날로그:(0~5)VDC 또는 (4~20)mA 또는(0~20)mA | |||||||
| 출력 신호 | 디지털: RS485 또는 DeviceNetTM 또는 ProfiBus 아날로그:(0~5)VDC 또는 (4~20)mA 또는 (0~20)mA | ||||||
| 전원공급장치 | ±8 ~ ±16 VDC 또는 +14 ~ +28 VDC(400mA) | ||||||
| 전자 커넥터 | 9핀 수 서브 D ,15핀 수 서브 D ,DeviceNetTM,프로피버스,아날로그 | ||||||
| 피팅 | VCR1/4” M; VCO1/4” M; | VCR1/4” M; | |||||
| 압축 피팅Φ10;압축 피팅Φ6; | 압축 피팅Φ6, | ||||||
| 압축 피팅 3/8";압축 피팅1/4"; | 압축 피팅Φ3, | ||||||
| 압축 피팅1/8”;압축 피팅Φ3; | 압축 피팅1/4”, | ||||||
| Ф6(내부)×1호스, ф5(내부)×1.5호스, ф4(내부)×1호스; | W-씰， | ||||||
| 아사엘 ; | C-씰 | ||||||
| 무게 | 1kg | 0.8kg | 1.2kg | 1kg | 1.2kg | 1kg | |
