밀폐된 용기에서 가스를 배출하거나 용기 내의 가스 분자 수를 감소시키는 장비를 일반적으로 진공 획득 장비 또는 진공 펌프라고 합니다.진공 펌프의 작동 원리에 따라 진공 펌프는 기본적으로 가스 이송 펌프와 가스 트랩핑 펌프의 두 가지 유형으로 나눌 수 있습니다.
가스 이송 펌프
가스 이송 펌프는 펌핑 목적으로 가스를 지속적으로 흡입 및 배출할 수 있는 진공 펌프입니다.
1) 가변 용량 진공 펌프
가변 용량 진공 펌프는 펌프 챔버 용량의 주기적 변화를 사용하여 흡입 및 토출 과정을 완료하는 진공 펌프입니다.가스는 배출되기 전에 압축되며 왕복식과 회전식의 두 가지 유형의 펌프가 있습니다.
위 표의 회전식 진공 펌프는 다음 유형으로도 제공됩니다.
위 표의 오일 밀봉 진공 펌프는 구조적 특성에 따라 다음과 같이 5가지 유형으로 더 나눌 수 있습니다.
2) 운동량 전달 펌프
이러한 유형의 펌프는 가스가 펌프 입구에서 출구로 지속적으로 전달되도록 가스 또는 가스 분자에 운동량을 전달하기 위해 고속 회전 날개 또는 고속 제트를 사용합니다.다음 유형으로 나눌 수 있습니다.
| 유형 | 정의 | 분류 |
| 분자진공펌프 | 고속으로 회전하는 로터를 이용하여 가스분자에 에너지를 전달하여 압축, 배기하는 진공펌프입니다. | 견인 분자 펌프:기체 분자는 고속으로 움직이는 회전자와 충돌하여 운동량을 얻어 출구로 보내지므로 운동량 전달 펌프입니다. |
| 터보분자 펌프:펌프에는 고정자 디스크(또는 고정자 블레이드) 사이에서 회전하는 날개가 있는 슬롯형 디스크 또는 로터가 장착되어 있습니다.로터 원주는 높은 선형 속도를 갖습니다.이러한 유형의 펌프는 일반적으로 분자 흐름 상태에서 작동합니다. | ||
| 복합 분자 펌프: 터빈형과 견인형의 2가지 분자펌프를 직렬로 결합한 복합형 분자진공펌프입니다. | ||
| 제트 진공 펌프 | 벤츄리 효과(Venturi Effect)에 의한 압력 강하에 의해 발생되는 고속 제트를 이용하여 가스를 출구로 이송하는 운동량 전달 펌프로서 점성 및 천이유동 조건에서 작동하기에 적합한 펌프입니다. | 액체 제트 진공 펌프:액체(보통 물)를 작동 매체로 사용하는 제트 진공 펌프 |
| 가스 제트 진공 펌프:비응축성 가스를 작동 매체로 사용하는 제트 진공 펌프 | ||
| 증기 제트 진공 펌프:증기(물, 기름 또는 수은 증기 등)를 작동 매체로 사용하는 제트 진공 펌프 | ||
| 확산 펌프 | 저압, 고속 증기 흐름(기름이나 수은과 같은 증기)을 작동 매체로 사용하는 제트 진공 펌프입니다.가스 분자는 증기 제트로 확산되어 출구로 보내집니다.제트 내 가스 분자의 밀도는 항상 매우 낮으며 펌프는 분자 흐름 상태에서 작동하는 데 적합합니다. | 자가 정화 확산 펌프:펌프 유체 중의 휘발성 불순물을 보일러로 돌아가지 않고 특수 기계에 의해 출구로 이송시키는 오일 확산 펌프 |
| 분별 확산 펌프:이 펌프는 분별 장치를 갖추고 있어 증기압이 낮은 작동 유체 증기가 고진공 작업을 위해 노즐로 들어가고, 증기압이 높은 작동 유체 증기가 노즐로 들어가 저진공 작업을 하는 다단 오일입니다. 확산 펌프 | ||
| 확산 제트 펌프 | 확산펌프의 특성을 지닌 단 또는 다단 노즐과 제트진공펌프의 특성을 지닌 단 또는 다단 노즐을 직렬로 연결하여 운동량 전달 펌프를 구성한 것이다.오일 부스터 펌프는 이 유형입니다. | 없음 |
| 이온 전달 펌프 | 전자기장 또는 전기장의 작용으로 이온화된 가스를 출구로 전달하는 운동량 전달 펌프입니다. | 없음 |
가스 트랩핑 펌프
이러한 형태의 펌프는 기체분자가 펌프의 내면에 흡착 또는 응축되어 용기 내의 기체분자 수를 감소시키고 펌핑의 목적을 달성하는 진공펌프로서 여러 가지 형태가 있다.
생산 및 과학 연구 분야의 진공 응용 분야에는 점점 더 광범위한 적용 압력이 필요하므로 대부분 생산 및 과학 연구 프로세스의 요구 사항을 충족하기 위해 함께 펌핑하는 진공 펌핑 시스템을 형성하기 위해 여러 개의 진공 펌프가 필요합니다. 펌핑에 다양한 유형의 진공 펌프가 사용되는 경우가 더 많습니다.이를 용이하게 하기 위해서는 이들 펌프의 상세한 분류를 아는 것이 필요합니다.
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게시 시간: 2022년 12월 2일