지식 - 진공 밸브

I. 밸브 소개
진공 밸브는 공기 흐름의 방향을 변경하고, 가스 흐름의 크기를 조정하고, 진공 시스템의 파이프라인을 차단하거나 연결하는 데 사용되는 진공 시스템 구성 요소입니다.진공 밸브의 닫는 부분은 고무 씰 또는 금속 씰로 밀봉되어 있습니다.

II.일반적인 진공 밸브 응용 분야.
진공 밸브
폐쇄형 진공 처리 시스템에서 진공을 유지해야 하는 경우 고진공 또는 초고진공 시스템 장비에 사용됩니다.진공 밸브는 진공 챔버로의 공기 흐름을 제어하고, 격리하고, 환기하고, 압력을 낮추거나 전도를 제어하는 ​​데 사용됩니다.게이트 밸브, 인라인 밸브 및 앵글 밸브는 고진공 또는 초고진공 응용 분야에 사용되는 가장 일반적인 유형의 진공 밸브입니다.추가 밸브 유형에는 버터플라이 밸브, 전송 밸브, 볼 밸브, 진자 밸브, 전체 금속 밸브, 진공 밸브, 알루미늄 앵글 밸브, 테플론 코팅 진공 밸브 및 직선형 밸브가 포함됩니다.

버터플라이 밸브
파이프라인의 흐름 방향에 직각으로 회전하는 금속 디스크 또는 날개로 구성된 빠른 개방 밸브이며, 축을 중심으로 회전하면 밸브가 밸브 본체의 시트를 밀봉합니다.

트랜스퍼 밸브(직사각형 게이트 밸브)
로드락 진공 챔버와 이송 챔버 사이, 반도체 제조 장비의 이송 챔버와 처리 챔버 사이에 사용하기에 적합한 분리 밸브입니다.

진공 볼 밸브
균일한 밀봉 응력을 위해 일치하는 원형 시트가 있는 원형 폐쇄 어셈블리가 있는 1/4회전 직선 흐름 밸브입니다.

진자 밸브
프로세스 진공 챔버와 터보분자 펌프 입구 사이에 장착된 대형 스로틀 밸브입니다.이러한 진공 진자 밸브는 일반적으로 OLED, FPD 및 PV 산업 제조 시스템을 포함한 응용 분야용 게이트 또는 진자 밸브로 설계됩니다.

모든 금속 밸브
고온으로 인해 엘라스토머 및 극저온 개스킷 금속을 사용할 수 없는 초고진공 환경에서 사용하도록 설계되었습니다.베이킹 가능한 순금속 밸브는 대기압부터 10-11mbar 미만까지 안정적인 고온 밀봉을 제공합니다.

진공 밸브
반도체 생산 시스템과 화학 물질 및 미립자 오염이 있는 응용 분야에서 안정적으로 작동합니다.거친 진공, 고진공 또는 초고진공 환경에서 사용할 수 있습니다.

알루미늄 앵글 밸브
이 밸브의 입구와 출구는 서로 직각을 이루고 있습니다.이 앵글 밸브는 알루미늄 A6061-T6으로 만들어지며 반도체 및 계측기 제조, R&D 및 거친 진공부터 고진공까지의 산업용 진공 시스템에 사용됩니다.

테플론 코팅 진공 밸브는 내구성이 뛰어나고 내화학성이 뛰어난 코팅이 적용된 완전히 설계된 스테인레스 스틸 진공 부품 장치입니다.

III.진공 밸브의 특성.
압력은 대기압보다 낮으며 밸브 플랩 전체의 압력 강하는 1kg force/cm를 초과할 수 없습니다.매체의 작동 온도는 사용되는 장치의 프로세스에 따라 다릅니다.온도는 일반적으로 -70 ~ 150°C 범위를 초과하지 않습니다.이러한 밸브에 대한 가장 기본적인 요구 사항은 높은 수준의 연결 견고성과 구조 및 개스킷 재료의 밀도를 보장하는 것입니다.

중간 압력 진공 밸브에 따라 네 그룹으로 나눌 수 있습니다.
1) 저진공 밸브: 중간 압력 p=760~1mmHg.
2) 중진공 밸브: p=1×10-3 mmHg.
3) 고진공 밸브: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4) 초고진공 밸브: p≤1×10-8 mmHg.

통로 직경이 250mm 미만인 폐쇄 회로 밸브로 널리 사용되는 스템은 선형 운동을 하는 진공 벨로우즈 차단 밸브입니다.그러나 게이트 밸브는 더 제한적이지만 이는 주로 직경이 큰 경우에 적용됩니다.또한 구형 플러그 밸브(볼 밸브), 플런저 밸브 및 버터플라이 밸브도 사용할 수 있습니다.진공 밸브용 플러그 밸브는 오일 윤활이 필요하기 때문에 홍보되지 않았으며, 이로 인해 오일 증기가 진공 시스템에 들어갈 수 있으며 이는 허용되지 않습니다.진공 밸브는 현장에서 수동 및 원격으로 제어할 수 있을 뿐만 아니라 전기, 전자기(솔레노이드 밸브), 공압 및 유압으로도 제어할 수 있습니다.