Beijing Super Q Technology Co., Ltd.는 EV 시리즈 오일 윤활식 600L, 1200L, 1600L 복합 분자 펌프 및 3600L 터빈형 분자 펌프를 보유하고 있습니다.그리스 윤활 300L, 650L, 1300L, 2000L 복합 분자 펌프.이 기사에서는 EV-Z 시리즈 그리스 윤활 화합물 분자 펌프의 특성, 설치, 사용 및 유지 관리에 대해 중점적으로 설명합니다.
구조적 특성
EV 시리즈 그리스 분자 펌프는 수입된 정밀 세라믹 베어링, 동적 균형, 안정적이고 안정적인 작동을 통한 펌프 로터, 그리스 윤활에 의한 베어링 윤활인 모터 농형 3상 모터를 채택하여 모든 방향으로 장착할 수 있습니다.
설치 및 사용
I. 최종 압력 정보
분자 펌프의 "최저 압력"은 ISO 국제 표준 "터보 분자 펌프의 성능 테스트 방법"을 기반으로 하며, 펌프 몸체와 테스트 커버를 완전히 베이킹한 후(48시간 건조 및 탈기), 테스트 커버의 지정된 위치.압력 값.실제 사용에서 '제한 압력' 값은 구성된 배압 펌프의 작동 압력 및 유효 펌핑 속도와 관련이 있습니다.고성능 배압 펌프를 선택하는 것은 더 높은 진공을 얻고 배기 시간을 줄이는 데 매우 유용합니다.
또한, 분자펌프의 배기 원리의 특수성으로 인해 펌프의 공기 흡입구는 최대한 넓어야 하며, 진공 챔버에서 분자 펌프 포트까지의 가스 경로는 최대한 회전하지 않아야 합니다. 분자펌프의 최고의 효율을 발휘할 수 있으며, 더 높은 진공도를 보장합니다.
II.설치
2.1 패키지 열기
설치하기 전에 분자 펌프가 운송 중에 손상되었는지 확인하십시오.
방법은 다음과 같습니다: 분자 펌프의 전원 공급 장치 지침을 참조하고 분자 펌프와 올바르게 연결하십시오. 물이나 진공을 통과시킬 필요가 없으며 분자 펌프를 시작하고 작동 중인지 여부를 확인하십시오. 비정상적인 소리.이상이 있을 경우 적시에 정지 스위치를 눌러 펌프를 정지시키십시오.참고: 시험 작동 중에는 전원 주파수가 25Hz보다 높아서는 안 됩니다.
2.2 고진공 플랜지 연결
분자 펌프의 연결은 고진공 플랜지로 들어 올리거나 베이스에 고정할 수 있습니다.분자 펌프의 고진공 플랜지가 금속 벨로우즈를 통해 시스템에 연결된 경우 분자 펌프를 고정해야 합니다.
(플랜지 씰링 표면에 흠집이 없어야 하며 씰링 링에 아무 것도 없어야 합니다.)
2.3 포어라인 진공 연결
차단 후 기계식 펌프가 오일을 반환하는 것을 방지하기 위해 포어라인 펌프와 분자 펌프 사이에 격리 및 환기 밸브를 설치해야 합니다.
2.4 가스 충전 장치 연결
깨끗한 진공 환경을 유지하기 위해 분자 펌프가 정지된 후 진공 시스템에 질소나 건조 공기를 채울 수 있습니다.일반적으로 배기 밸브는 전단계 파이프라인에 연결될 수 있거나 고진공 밸브를 사용하여 고진공 끝에서 가스를 배기할 수 있습니다.
III．냉각 연결
베어링의 고속 회전 마찰, 펌프 본체의 가열 및 모터의 온도 상승으로 인해 분자 펌프가 작동할 때 베어링과 모터를 냉각해야 합니다.일반적으로 공랭식을 사용하며, 주변 온도가 38°C 이상인 경우에는 수냉식을 사용합니다.외경 10mm의 연수관은 분자펌프의 물 입구와 출구에 직접 연결될 수 있습니다.순수한 물을 사용하는 순환수 방식을 사용하며, 강수량이 적은 수돗물도 사용할 수 있습니다(수온은 28°C 이하).
우발적인 물 중단 또는 높은 수온으로 인해 분자 펌프 본체의 온도 센서가 작동하고 전원 공급 장치가 즉시 경보를 울리고 출력을 중지합니다.
예상치 못한 급수 정지 또는 수온이 너무 높은 후 과열로 인해 분자 펌프가 경보를 울릴 때까지 약 15분(구체적인 시간은 온도 상승률에 따라 다름)의 간격이 있습니다.
IV．빵 굽기
최종 압력은 펌프 내부의 청결도와 진공 챔버를 포함한 진공 경로에 따라 달라집니다.최단 시간에 도달 압력을 얻으려면 진공 시스템과 분자 펌프를 구워야 합니다.베이킹은 분자 펌프가 정상적으로 작동하는 상태에서 수행되어야 합니다.
분자 펌프의 베이킹 온도는 80°C보다 낮아야 하고, 펌프 포트에 연결된 고진공 플랜지는 120°C보다 높아서는 안 되며, 진공 시스템의 베이킹 온도는 일반적으로 300°C 미만이어야 합니다.손상의.
베이킹 시간은 시스템 및 분자 펌프의 오염 정도와 예상되는 한계 작동 압력에 따라 다르지만 최소 시간은 4시간 이상이어야 합니다.
10-4Pa의 진공도를 얻기 위해서는 원칙적으로 베이킹이 필요하지 않습니다.10-5Pa의 진공을 얻으려면 진공 시스템 자체를 베이킹하는 것만으로도 충분합니다.초고진공을 얻으려면 일반적으로 진공 시스템과 분자 펌프를 동시에 구워야 합니다.측정 시스템은 완전히 구워져야 합니다. 그렇지 않으면 가스 방출로 인해 측정 데이터의 정확성에 영향을 미칩니다.
V．작업
사전 진공이 15Pa보다 나은지 확인하고 RON 키를 눌러 분자 펌프를 시작한 다음 사용 후 STOP 키를 눌러 중지하십시오.주목!소프트 스타트 키는 처음 사용할 때 사용하거나 장기간 유휴 사용 후 재사용해야 합니다.소프트 스타트 작동은 다음과 같습니다: 현재 단계 진공이 15Pa보다 좋고 소프트 스타트 키를 누릅니다.110분 후, 분자 펌프는 550Hz의 작동 주파수에 도달합니다(550Hz는 EV300Z 분자 펌프에 해당, 400Hz는 EV650Z, 1300Z, 2000 분자 펌프에 해당). 그런 다음 소프트 스타트 키(키가 위로 옴)를 눌러 소프트를 중지합니다. 시작.
(분자펌프의 정상 작동 중에는 휴대, 이동, 공기 충전이 금지되어 있습니다.)
VI．유지보수 및 수리
6.1 펌프 청소
진공 시스템의 공기 누출 및 탈착률이 변하지 않고 장시간 베이킹 후에도 진공 성능을 복원할 수 없는 경우 또는 배킹 펌프에서 오일이 심각하게 반환되는 경우 펌프를 청소해야 합니다.
(펌프를 수리하고 청소해야 할 경우 전문 기술자가 분해해야 합니다.교육 없이 분해할 경우, 그에 따른 책임은 본인에게 있습니다.)
6.2 베어링 교체
펌프는 균형을 맞춰야 하므로 사용자가 베어링을 교체할 수 없습니다.
6.3 충격 보호
분자 펌프는 고속 회전 기계입니다.이동판과 고정판 사이의 간격이 매우 작아 과도한 충격을 견딜 수 없습니다.접촉하는 이동 캐리어의 속도와 가속도는 제한되어야 합니다.또한, 분자 펌프가 정상적으로 작동하는 동안 대기 부피의 갑작스러운 충격과 외부 단단한 물체의 낙하로 인해 분자 펌프가 심각한 손상을 입을 수도 있습니다.
6.4 진동 차단
일반적으로 분자 펌프는 엄격한 테스트를 거쳤으며 진동이 매우 작으며 펌핑 시스템에 직접 연결할 수 있습니다.고정밀 기기 응용 분야(예: 전자 현미경 등)의 경우 진동이 기기에 미치는 영향을 최소화하기 위해 방진 장치를 사용하는 것이 좋습니다.
6.5 강력한 자기장 차폐
회전하는 로터는 자기장에 와전류를 생성하여 로터가 가열됩니다.열은 알루미늄 재료의 강도를 약화시키기 때문에 자기장에 분자 펌프를 적용하는 것은 어느 정도 제한됩니다.
6.6 전자기 간섭
분자 펌프 및 주파수 변환기와 같은 특정 고주파 장비는 주변 환경에 전자기 간섭을 일으킬 수 있습니다.그러나 국제표준을 만족한다면 분자펌프의 적용은 제한되지 않을 것이다.요구사항이 충족되면 해당 인증서도 동시에 발급되어야 합니다.
6.7 강력한 방사능 제한
대부분의 재료, 특히 유기 재료(예: 분자 펌프 오일, 밀봉 링) 및 반도체 부품은 강한 방사성 환경에서 특성이 변경됩니다.분자 펌프는 105rad의 방사선 강도를 견딜 수 있습니다.방사성 물질을 선택하고 모터 구동 전원 공급 장치를 사용하면 방사능 강도를 향상시킬 수 있습니다.삼중수소를 펌핑할 때 방사성 원소인 삼중수소가 대기 중으로 빠져나가는 것을 방지하기 위해 분자 펌프의 모든 밀봉 링은 금속 재료로 만들어져야 합니다.
6.8 포어라인 펌프
분자 펌프 성능 곡선의 고압 끝 부분에서 입구 압력 범위는 약 200Pa에서 10-1Pa까지로 3자리 규모에 이릅니다.기체 분자의 평균 자유 행로가 작아지고 펌핑 효과가 저하되기 시작합니다.따라서 전이 영역에서는 배킹 펌프의 사용이 많을수록 분자 펌프의 펌핑 속도가 빨라집니다.포어라인 펌프는 최소 3 L/S 이상이어야 합니다.
일반적인 결함 및 문제 해결
EV-Z 시리즈 그리스 윤활 복합 분자 펌프는 다단 동적 및 정적 터빈 블레이드의 비교적 고속 회전을 통해 공기 추출을 실현하는 기계식 진공 펌프입니다.터보분자 펌프는 분자 흐름 영역에서 높은 펌핑 속도와 높은 압축비의 특성을 가지며 확산 펌프보다 에너지를 절약하고 오일 및 증기 오염이 없습니다.EV 시리즈 그리스 윤활 복합 분자 펌프는 중국 최대 펌핑 속도 100 구경의 분자 펌프입니다.
이 분자 펌프는 선택성이 없으며 펌핑되는 가스에 대한 메모리 효과도 없습니다.분자량이 큰 가스의 압축률이 높기 때문에 콜드 트랩이나 오일 배플 없이 깨끗한 고진공, 초고진공을 얻을 수 있습니다..전자, 야금, 화학 산업, 과학 연구 및 진공 기술의 다양한 분야에서 널리 사용됩니다.
게시 시간: 2022년 7월 1일