ODM 공장 중국 반도체 터보 분자 펌프 EV1600L/S
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터보 분자 펌프의 프로파일 치수 및 장착 연결
터보 분자 펌프의 속도 곡선
질소와 수소를 펌핑
터보 분자의 속도 곡선
대기로 펌프질하다
EV-3600 기술 데이터
| 입구 플랜지(mm) | 400 ISO – K | |
| 출구 플랜지(mm) | 100 ISO – K | |
| 펌핑 속도(L/S) | 3600 | |
| 압축비 | N2 | >108 |
| H2 | >5X102 | |
| 최종 압력(Pa) | <2X10-6 | |
| 정격 속도(rpm) | 13500 | |
| 진동 | 0.15μm 이하 | |
| 시작 시간(분) | <11 | |
| 정지 시간(분) | <20 | |
| 추천 로터리 펌프 | 30-70L/S | |
| 냉각방식 | 수냉식 | |
| 수냉온도(℃) | ≤25 | |
| 수냉 유량(L/min) | 2 | |
| 펌프 본체 베이킹 온도 | <120℃ | |
| 설치 모드 | 수직 ±5° | |
| 무게(kg) | 100 | |
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