ZJ 시리즈 루츠 진공 펌프
ZJ 시리즈 루츠 진공 펌프
이 루츠형 진공펌프 시리즈는 단독으로 사용할 수 없습니다.압력이 1.3×103~1.3×10-1 Pa보다 낮을 때 전단 진공 펌프의 펌핑 속도를 높이려면 전단 진공 펌프와 직렬로 사용해야 합니다. 구조는 두 개의 8개로 구성됩니다. 형상의 로터 섹션과 로터 케이싱으로 이루어지며, 두 개의 로터는 서로 접촉하지 않고 서로 동기화되어 반대 방향으로 회전합니다.
ZJ 시리즈 루츠 진공 펌프는 주로 다음에 적용됩니다.
PVD 코팅, 마그네트론 스퍼터링, 이온 도금, 광학 코팅 등;
단결정로, 다결정로, 소결로, 어닐링로, 담금질로 등;
진공 건조, 동결 건조, 누출 감지 시스템, 가스 회수 시스템, 액정 주입 등;
냉장고, 가정용 에어컨, 중앙 에어컨, 백라이트 자동 대피 라인, 배기 장비 등 진공 산업.
모델 | ZJ-30 | ZJ-70 | ZJ-150 | ZJ-300 | ||
펌핑 속도3/h(L/분) | 50HZ | 100(1667) | 280(4670) | 500(8330) | 1000(16667) | |
60HZ | 120(2000) | 330(5500) | 600(1000) | 1200(20000) | ||
최대.입구압력(연속작업시) | 50HZ | 1.2X103 | 1.3X103 | |||
60HZ | 9.3X102 | 1.1X103 | ||||
최대 허용 압력차(Pa) | 50HZ | 4X103 | 7.3X103 | |||
60HZ | 3.3X103 | 6X103 | ||||
도달압력(Pa) | 1X10-1 | |||||
표준 러프 펌프 m3/h | 16 | 40、60 | 90、150 | 150、240 | ||
모터(2극)KW | 0.4 | 0.75 | 2.2 | 3.7 | ||
윤활유 사양 | 진공펌프기름 | |||||
오일 용량 L | 0.4 | 0.8 | 1.6 | 2.0 | ||
냉각수 | 흐름 L/분 | / | 2*1 | 2 | 3 | |
압력차MPa | / | 0.1 | ||||
수온0C | / | 5-30*2 | ||||
무게 Kg | 30 | 51 | 79.5 | 115 | ||
입구 직경mm | 50 | 80 | 80 | 100 | ||
콘센트 직경.mm | 50 | 80 | 80 | 80 |
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