I. Pompeyên mekanîkî
Fonksiyona sereke ya pompeya mekanîkî peydakirina valahiya pêş-qonaxê ya pêwîst ji bo destpêkirina pompeya turbomolekular e.Pompeyên mekanîkî yên ku bi gelemperî têne bikar anîn bi giranî pompeyên hişk ên vortex, pompeyên diafragmê û pompeyên mekanîkî yên rûnkirî hene.
Pompeyên diafragmê leza pompkirinê kêm in û bi gelemperî ji ber mezinahiya piçûktir ji bo komikên pompeyên molekular ên piçûk têne bikar anîn.
Pompeya mekanîkî ya rûnkirî pompeya mekanîkî ya ku di paşerojê de herî zêde tê bikar anîn e, ku bi leza pompkirina mezin û valahiya dawî ya baş ve tête diyar kirin, dezavantaj hebûna gelemperî ya vegerandina neftê ye, di pergalên valahiya ultra-bilind de bi gelemperî pêdivî ye ku bi valahiya solenoid ve were saz kirin. (ji bo pêşîlêgirtina têkçûna hêza qezayê ya ku ji ber vegerandina neftê çêdibe) û sivika molekulî (bandora adsorption).
Di van salên dawî de, ya ku bêtir tê bikar anîn pompeya hişk a pêçayî ye. Awantaj karanîna wê hêsan e û venagere rûnê, tenê leza pompkirinê û valahiya dawî hinekî ji ya pompeyên mekanîkî yên bi rûn vegirtî xirabtir e.
Pompeyên mekanîkî di laboratuarê de çavkaniyek sereke ya deng û lerizînê ne û çêtir e ku meriv pompek bi dengek kêm hilbijêrin û li ku derê gengaz be wê di navbera amûran de bi cîh bikin, lê ya paşîn bi gelemperî ji ber qedexeyên dûrbûna xebatê ne hêsan e ku were bidestxistin.
II.Pompeyên Turbomolecular
Pompeyên molekulî yên turbo xwe dispêrin pêlên zivirî yên bi leza bilind (bi gelemperî dor 1000 dor di hûrdemê de) da ku herikîna gazê ya rêwerz bi dest bixin.Rêjeya zexta derzê ya pompê ya bi zexta ketina hundurê re tê gotin rêjeya tansiyonê.Rêjeya kompresyonê bi hejmara qonaxên pompê, lez û celebê gazê ve girêdayî ye, giraniya molekulê ya giştî ya kompresyona gazê bi nisbeten bilind e.Valahiya paşîn a pompek turbomolekuler bi gelemperî 10-9-10-10 mbar tê hesibandin, û di van salên dawî de, bi pêşkeftina domdar a teknolojiya pompeya molekulî re, valahiya paşîn bêtir çêtir bûye.
Ji ber ku feydeyên pompek turbomolekular tenê di rewşek herikîna molekulî de têne fêm kirin (rewşek herikînê ku tê de rêjeya azad a navînî ya molekulên gazê ji mezinahiya herî zêde ya beşa xaça kanalê pir mezintir e), pompek valahiya pêş-qonaxê. bi zexta xebatê ya 1 ber 10-2 Pa pêwîst e.Ji ber leza zivirîna bilind a vanan, pompeya molekulî dikare ji hêla tiştên biyanî, jitter, bandor, resonans an şoka gazê ve were xera kirin an hilweşandin.Ji bo destpêkan, sedema herî gelemperî ya zirarê şoka gazê ye ku ji ber xeletiyên xebitandinê pêk tê.Zirara pompeya molekularî jî dibe sedema rezonansê ku ji hêla pompek mekanîkî ve hatî çêkirin.Ev rewş nisbeten kêm e, lê baldariyek taybetî hewce dike ji ber ku ew bêtir xapînok e û bi hêsanî nayê dîtin.
III.Sputtering pompeya ion
Prensîba xebatê ya pompeya îyonê ya rijandinê ev e ku îyonên ku ji hêla vekêşana Penning ve têne hilberandin bikar bînin da ku plakaya titanyumê ya katodê bombe bikin da ku fîlimek titaniumê ya nû ava bikin, bi vî rengî gazên çalak dişoxilînin û li ser gazên bêserûber jî bandorek veşartinê heye. .Feydeyên pompeyên îyonê yên rijandinê valahiya dawîn a baş, bê lerzîn, bê deng, bê qirêjbûn, pêvajoyek gihîştî û bi îstîqrar, ne xwedîkirin û di heman leza pompkirinê de (ji xeynî gazên bêserûber), lêçûna wan ji pompeyên molekular pir kêmtir e, ku wan di pergalên valahiya ultra-bilind de pir bi berfirehî têne bikar anîn.Bi gelemperî çerxa xebitandina normal a pompeyên îyonê yên rijandinê ji 10 salan zêdetir e.
Pompeyên îyonê bi gelemperî hewce ne ku ji 10-7 mbar jor bin da ku bi rêkûpêk bixebitin (xebata li valahiya xirabtir jiyana wan bi girîngî kêm dike) û ji ber vê yekê komek pompek molekular hewce dike ku valahiya pêş-qonaxê baş peyda bike.Pratîka hevpar e ku meriv pompek ion + TSP di jûreya sereke de û pompek molekularek piçûk a ku di jûreya hundurê de hatî danîn bikar bînin.Dema ku pijandinê, valahiya têkelê ya girêdayî vekin û bihêlin ku pompeya molekulê ya piçûk valahiya pêşîn peyda bike.
Pêdivî ye ku were zanîn ku pompeyên îyonê kêm kêm in ku gazên bêserûber bişopînin û leza pompkirina wan a herî zêde hinekî ji ya pompeyên molekulî cûda dibe, ji ber vê yekê ji bo cildên mezin ên gazê an mîqdarên mezin ên gazên bêhêz, komek pompek molekular hewce ye.Wekî din, pompeya ionê di dema xebatê de zeviyek elektromagnetîk çêdike, ku dibe ku bi pergalên taybetî yên hesas re mudaxele bike.
IV.Pompeyên sublimasyonê yên titanium
Pompeyên sublimasyonê yên tîtaniumê bi xwe ve girêdayî ye ku xwe dispêre evaporkirina tîtanyûma metalîkî da ku li ser dîwarên odeyê ji bo kîmyosorpsiyonê fîlimek titanium çêbike.Feydeyên pompeyên sublimasyonê yên titanium avakirina hêsan, lêçûnek kêm, lênihêrîna hêsan, bê tîrêj û bê dengek vibrasyonê ne.
Pompeyên sublimasyona tîtaniumê bi gelemperî ji 3 fîlanên titaniumê pêk tên (ji bo pêşîgirtina şewitandinê) û bi pompeyên molekulî an îyonê re têne bikar anîn da ku rakirina hîdrojenê ya hêja peyda bikin.Ew di rêza 10-9-10-11 mbar de pompeyên valahiya herî girîng in û di piraniya odeyên valahiya ultra-bilind de ku li wir astên valahiya bilind hewce ne têne bicîh kirin.
Kêmasiya pompeyên sublimasyona titanium hewcedariya birêkûpêk rijandina titaniumê ye, valahiya bi qasî 1-2 rêzikên mezinahiyê di dema şilandinê de (di nav çend hûrdeman de) xirab dibe, ji ber vê yekê hin odeyên bi hewcedariyên taybetî hewceyê karanîna NEG-ê ne.di heman demê de, ji bo nimûneyên/amûrên hesas ên titaniumê, divê bal were girtin ku ji cîhê pompeya sublimasyona titaniumê dûr bikevin.
V. Pompeyên krîogenîk
Pompeyên krîogenîk bi giranî xwe dispêrin adsorbasyona laşî ya germahiya nizm ji bo bidestxistina valahiya, bi avantajên leza pompkirina bilind, bê gemarî û valahiya dawî ya bilind.Faktorên sereke ku bandorê li leza pompkirina pompeyên krîogenîk dikin germahî û rûbera pompê ne.Di pergalên epîtaksiya tîrêjên molekulî yên mezin de, pompeyên krîogenîk ji ber hewcedariyên valahiya dawîn ên bilind bi berfirehî têne bikar anîn.
Dezawantajên pompeyên krîogenîk vexwarina zêde ya nîtrojena şil û lêçûnên xebitandinê yên zêde ne.Pergalên bi çîlerên vegerê dikarin bêyî vexwarina nîtrojena şil werin bikar anîn, lê ev yek pirsgirêkên têkildar ên xerckirina enerjiyê, lerzîn û deng bi xwe re tîne.Ji ber vê yekê, pompeyên krîogenîk di alavên laboratîfên kevneşopî de kêmtir têne bikar anîn.
VI.Pompeyên aspiratorê (NEG)
Pompeya kargêriya şûştinê yek ji wan pompeyên valahiya ku di van salên dawî de tê bikar anîn e, feydeya wê karanîna bêkêmasî ya adsorbasyona kîmyewî, bê pîvazkirina buharê û qirêjiya elektromagnetîk e, ku pir caran bi pompeyên molekulî re tê bikar anîn da ku cîhê pompeyên sublimasyona titanium û îyonê rijandinê bigire. pompe, dezawantaj lêçûnek bilind û hejmarek sînorkirî ya vejenan e, ku bi gelemperî di pergalên ku ji bo aramiya valahiya hewcedariyên wan bilind in an ji qadên elektromagnetîk pir hesas in têne bikar anîn.
Wekî din, ji ber ku pompeya aspiratorê ji aktîvkirina destpêkê wêdetir pêwendiyek dabînkirina hêzê hewce nake, ew di heman demê de pir caran di pergalên mezin de wekî pompek alîkar jî tê bikar anîn da ku leza pompkirinê zêde bike û asta valahiya baştir bike, ku dikare pergalê bi bandor hêsan bike.
Wêne ：Zextên xebatê yên ji bo celebên pompeyên cihêreng.Tîrên qehweyî rêjeya zexta xebitandinê ya herî zêde ya destûr nîşan didin û beşên kesk ên qelew rêza zexta xebatê ya hevpar destnîşan dikin.
Dema şandinê: Nov-18-2022