EV сериясындагы татаал молекулярдык насостор
EV-сериясы Техникалык маалыматтар
Модел | EV-600 EV-600F | EV-1200 EV-1200F | EV-1600 EV-1600F | ||||
Кирүүчү фланец (мм) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
Чыгуу фланеци (мм) | 40 KF | 40 KF | 50 KF | ||||
Насостун ылдамдыгы (L/S) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
Compression Ratio | N2 | >109 | >109 | >109 | |||
H2 | >8X103 | >1X104 | >1X104 | ||||
Эң жогорку вакуум(Па) | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | |
Айлануу ылдамдыгы (rpm) | 24000 | 24000 | 24000 | ||||
Вибрация | ≤0,1 мкм | ≤0,1 мкм | ≤0,15 мкм | ||||
Иштөө убактысы (мүнөт) | <4.5 | <5 | <6 | ||||
Арткы насос | 4-8 L/S | 8-15 L/S | 15 L/S | ||||
Муздатуу ыкмасы | Суу (аба) муздатуу | Суу (аба) муздатуу | Суу (аба) муздатуу | ||||
Муздатуу суунун температурасы (℃) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
Айлана-чөйрөнүн температурасы (℃) | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
Муздатуу суунун агымынын саны | 1-2 л/мин | 1-2 л/мин | 1-2 л/мин | ||||
Бышыруу температурасы (℃) | <120 | <120 | <120 | ||||
Жылыткыч күчү (w) | <250 | <300 | <300 | ||||
Жылыткычтын кириш чыңалуусу(v) | AC220 | AC220 | AC220 | ||||
Монтаждоо | Вертикалдык ±5° | Вертикалдык ±5° | Вертикалдык ±5° | ||||
Салмагы (кг) | ≈25 | ≈29 | ≈31 |
Кошулуштун атмосфералык насостук ийри сызыгы
Молекулярдык насос
Азот менен суутектин кысуу катышы ийри сызыгы
татаал молекулалык насос менен
Комплекстүү молекулярдык насостун EV Сериялар Орнотуу Өлчөм таблицасы
Модел | EV-600 | EV-1200 | EV-1600 | ||||
Кирүүчү фланец (мм) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 | |
D2 | Φ212 | Φ212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
D4 | ¨145,7 | ¨145,7 | ¨167.6 | ¨167.6 | ¨183,9 | ¨183,9 | |
H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
Насостун бутунун буроо тешиги | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | |
Чыгуу фланеци (мм) | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 |
EV Сериялар аба муздатуу кошулма Молекулярдык насостор
EV-сериясындагы аба муздатылган татаал молекулярдык насос турбомолекулярдык насостон жана диск тартуу насосунан турат.Бул турбомолекулярдык насостун молекулярдык агымы үчүн жогорку насостук ылдамдык жана кысуу катышы, тартуу насосунун жогорку басымы үчүн насостун жогорку ылдамдыгы жана кысуу катышы өзгөчөлүктөрүнө ээ жана молекулярдык насостун колдонуу чөйрөсүн кеңейтет.
Татаал молекулярдык насостун сордурулган газга тандалма жана эс таасири жок.Чоң молекулярдык салмагы бар газга кысуу катышы жогору болгондуктан, насос муздак тузаксыз жана мунай тосмосу жок таза жогорку жана өтө жогорку вакуумду ала алат.Ал электроника, металлургия, химиялык өнөр жай, илимий изилдөө жана вакуумдук технологиянын ар кандай тармактарында кеңири колдонулат.
Модел | EV-600F | EV-1200F | EV-1600F | |||
Кирүүчү фланец (мм) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 |
D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
D3 | ¨145,7 | ¨145,7 | ¨167.6 | ¨167.6 | ¨183.8 | ¨183.8 |
H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
H2 | 217.5 | 217.5 | 210 | 210 | 214.5 | 214.5 |
H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
Насостун бутунун буроо тешиги | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 |