Mass Flow Controllers (MFC) газдардын массалык агымын так өлчөөнү жана контролдоону камсыз кылат.
I. MFC менен MFMдин ортосунда кандай айырма бар?
Масс агымынын өлчөгүч (MFM) - бул газдын агымын так өлчөй турган аспаптын бир түрү жана анын өлчөө мааниси температуранын же басымдын өзгөрүшүнө байланыштуу так эмес жана температуранын жана басымдын компенсациясын талап кылбайт. Массалык агым контролеру (MFC) гана эмес массалык чыгым өлчөгүч функциясы бар, бирок андан да маанилүүсү, ал газдын агымын автоматтык түрдө башкара алат, башкача айтканда, колдонуучу агымды өзүнүн муктаждыктарына жараша орното алат жана MFC автоматтык түрдө агымды белгиленген мааниде туруктуу кармап турат, эгерде системанын басымы Айлана-чөйрөнүн температурасынын өзгөрүшү же өзгөрүшү анын белгиленген мааниден четтөөсүнө алып келбейт.Массалык агым контроллери – бул газдын туруктуу агымынын түзүлүшү, аны кол менен орнотсо же компьютерге туташтыруу менен автоматтык түрдө башкарса болот.Массалык чыгым өлчөгүчтөр өлчөйт, бирок көзөмөлдөбөйт.Массалык агым контроллерунда газдын агымын өлчөө жана башкара турган башкаруу клапаны бар.
II.структурасы кандай жанаиш принцип?
1, структурасы
2, Иштөө принциби
Агым алуучу түтүккө киргенде агымдын көп бөлүгү дивертордук канал аркылуу өтөт, анын бир аз бөлүгү сенсордун ичиндеги капиллярдык түтүккө кирет.өзгөчө түзүлүшүнөн улам
дивертивдүү канал, газ агымынын эки бөлүгү түз пропорционалдуу болушу мүмкүн.Сенсор алдын ала жылытылат жана жылытылат, ал эми ичиндеги температура кирген абанын температурасынан жогору.Бул учурда газдын кичинекей бөлүгүнүн массасынын агымы капиллярдык түтүктүн жылуулук берүү принциби жана температура айырмасынын калориметрия принциби менен өлчөнөт.Ушундай жол менен өлчөнгөн газдын агымы температуранын жана басымдын таасирин этибарга албайт.Сенсор тарабынан аныкталган агымды өлчөө сигналы схемага киргизилет жана күчөтүлөт жана чыгарылат жана MFM функциясы аяктайт.PID жабык циклдин автоматтык башкаруу функциясын схемага кошуу, сенсор тарабынан өлчөнгөн агымдын өлчөө сигналын колдонуучу берген белгиленген сигнал менен салыштырыңыз.Мунун негизинде башкаруу клапаны агымды аныктоо сигналы коюлган сигналга барабар болушу үчүн башкарылат, ошентип MFC функциясын ишке ашырат.
III.Тиркемелер жана функциялар.
Жарым өткөргүч жана IC өндүрүшү, атайын материал таануу, химиялык өнөр жай, мунай өнөр жайы, фармацевтика өнөр жайы, айлана-чөйрөнү коргоо жана вакуумдук системаны изилдөө ж.б. сыяктуу тармактарда кеңири колдонулуучу MFC , кычкылдануу, эпитаксия, CVD, плазмадан оюу, чачыратуу, ион имплантациялоо;вакуумдук чөкмө жабдуулар, оптикалык була эритүү, микро-реакция жабдуулары, аралаштыруу жана дал келүүчү газ системасы, капиллярдык агымды башкаруу системасы, газ хроматографы жана башка аналитикалык аспаптар.
MFC жогорку тактыкты, эң сонун кайталануучулукту, тез жооп берүүнү, жумшак баштоону, жакшыраак ишенимдүүлүктү, басымдын кеңири диапазондорун (жогорку басымда жана вакуумдук кырдаалдарда жакшы иштөө), жөнөкөй ыңгайлуу операцияны, ийкемдүү орнотууну, автоматтык түрдө ишке ашыруу үчүн компьютерге туташуу мүмкүнчүлүгүн алып келет. колдонуучулардын системасын көзөмөлдөө.
IV.Кантип аныктоо жана аны чечүү үчүн fоорулар?
Биздин компания профессионалдуу сатуудан кийинки инженерге ээ, орнотуу жана колдонуудагы көйгөйлөрдү чечүүгө жардам берет.
Посттун убактысы: 29-июль-2022