Билим – вакуумдук клапандар

I. Клапанды киргизүү
Вакуумдук клапан – аба агымынын багытын өзгөртүү, газ агымынын өлчөмүн жөнгө салуу, вакуум системасындагы түтүктү кесип же туташтыруу үчүн колдонулган вакуумдук системанын компоненти.Вакуумдук клапандын жабылуучу бөлүктөрү резина пломба же металл пломба менен жабылат.

II.Жалпы вакуумдук клапан колдонмолору.
Вакуумдук клапандар
Вакуум жабык вакуум менен иштөө тутумунда сакталышы керек болгондо, жогорку же өтө жогорку вакуумдук системанын жабдууларында колдонулат.Вакуумдук клапандар вакуумдук камерага аба агымын көзөмөлдөө, изоляциялоо, желдетүү, басымды азайтуу же өткөрүүнү башкаруу үчүн колдонулат.Дарбаза клапандары, Inline клапандар жана бурч клапандар жогорку же өтө жогорку вакуумдук колдонмолор үчүн колдонулган вакуумдук клапандардын эң кеңири таралган түрлөрү болуп саналат.Кошумча клапан түрлөрүнө көпөлөктүү клапандар, өткөрүп берүүчү клапандар, шар клапандар, маятник клапандар, бардык металлдан жасалган клапандар, вакуумдук клапандар, алюминий бурчтуу клапандар, тефлон менен капталган вакуумдук клапандар жана түз өтүүчү клапандар кирет.

Бабочка клапандар
металл дисктерден же трубадагы агымдын багытына тик бурчта айланган жана өз огунда айланганда клапан клапан корпусундагы отургучту жабуучу тез ачылуучу клапандар.

Өткөрүүчү клапандар (тик бурчтуу дарбаза клапандары)
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүчү жабдууларда жүктү кулпуланган вакуумдук камералар менен өткөрүү камераларынын ортосунда, ошондой эле өткөрүү камералары менен кайра иштетүү камераларынын ортосунда колдонууга ылайыктуу бөлүүчү клапандар.

Вакуумдук шар клапандар
Бирдиктүү мөөр басуусу үчүн тегерек отургучтары менен тегерек жабылуучу монтажы бар чейрек бурулуш түз агым клапандары.

Маятник клапандар
процесс вакуум камерасы менен турбомолекулярдык насостун киришинин ортосунда орнотулган чоң дроссель клапан.Бул вакуумдук маятник клапандар, адатта, OLED, FPD жана PV өнөр жай өндүрүш системалары үчүн колдонмолор үчүн дарбаза же маятник клапандары катары иштелип чыккан.

Бардык металл клапандар
Жогорку температура эластомерлерди жана криогендик прокладкаларды колдонууга жол бербеген ультра жогорку вакуумдук чөйрөдө колдонуу үчүн иштелип чыккан.Бышырылган бардык металлдан жасалган клапандар атмосфералык басымдан 10-11 мбардан төмөн чейин ишенимдүү жогорку температурада мөөр басууну камсыз кылат.

Вакуумдук клапандар
Жарым өткөргүч өндүрүш системаларында жана химиялык жана бөлүкчөлөр менен булганган колдонмолордо ишенимдүү иштеши.Алар орой вакуумда, жогорку вакуумда же ультра жогорку вакуумдук чөйрөдө колдонулушу мүмкүн.

Алюминий бурч клапандар
Бул клапандардын кириши жана чыгышы бири-бирине туура бурчта жайгашкан.Бул бурчтук клапандар алюминийден жасалган A6061-T6 жана жарым өткөргүчтөрдү жана приборлорду өндүрүүдө, R&D жана өнөр жай вакуум системаларында орой жана жогорку вакуумга чейин колдонулат.

Teflon менен капталган вакуумдук клапан - бул туруктуу жана химиялык туруктуу каптоо менен толук иштелип чыккан дат баспас болоттон жасалган вакуумдук компонент.

III.Вакуумдук клапандардын мүнөздөмөлөрү.
Басым атмосфералык басымдан төмөн жана клапан капкагындагы басымдын төмөндөшү 1 кг күч/см ашпоого тийиш.чөйрөнүн иштөө температурасы колдонулган аппараттын жараянына жараша болот.Температура көбүнчө -70 ~ 150 ° C диапазонунан ашпайт.Мындай клапандар үчүн эң негизги талап - бул туташтыруунун жогорку деңгээлдеги тыгыздыгын жана структуранын жана прокладка материалынын тыгыздыгын камсыз кылуу.

Орто басым вакуумдук клапандар боюнча төрт топко бөлүүгө болот.
1) Төмөн вакуумдук клапандар: орточо басымдагы p=760~1 ммHg.
2）Орто вакуумдук клапандар: p=1×10-3 mmHg.
3）Жогорку вакуумдук клапандар: p=1×10-4 ~1×10-7 ммHg.
4）Ультра жогорку вакуумдук клапан: p≤1×10-8 ммHg.

Өткөөл диаметри 250 ммден ашпаган жабык чынжырлуу клапан катары, сызыктуу кыймылы бар вакуум көрүктүү жапкыч клапан кеңири колдонулат.Gate клапандар, бирок, көбүрөөк чектелген, бирок бул, негизинен, чоң диаметри үчүн.Ошондой эле сфералык штепсельдик клапандар (шар клапандар), плунжер клапандар жана көпөлөктүү клапандар бар.Вакуумдук клапандар үчүн сайгыч клапандар илгериле элек, анткени алар мунай майлоону талап кылат, бул мунай буусунун вакуумдук системага кирүүсүнө мүмкүндүк берет, ага жол берилбейт.Вакуумдук клапандар талаада кол менен жана аралыктан башкарылат, ошондой эле электрдик, электромагниттик (соленоиддик клапандар), пневматикалык жана гидравликалык жактан башкарылат.