I. Механикалык насостор
Механикалык насостун негизги милдети турбомолекулярдык насосту ишке киргизүү үчүн зарыл болгон баскычка чейинки вакуумду камсыз кылуу болуп саналат.Көбүнчө колдонулган механикалык насосторго негизинен куюндуу кургак насостор, диафрагма насостору жана май менен жабылган механикалык насостор кирет.
Диафрагмалуу насостордун насостук ылдамдыгы төмөн жана көбүнчө кичинекей молекулярдык насостор үчүн колдонулат.
Мунай мөөр басылган механикалык насос - мурун эң көп колдонулган механикалык насос, чоң насостук ылдамдыгы жана жакшы акыркы вакуум менен мүнөздөлөт, кемчилиги - мунай кайтаруунун жалпы болушу, ультра жогорку вакуумдук системаларда көбүнчө электромагниттик клапан менен жабдылышы керек (мунай кайтуудан келип чыккан электр энергиянын кокусунан өчүрүлүшүнө жол бербөө үчүн) жана молекулярдык электен (адсорбциялык эффект).
Акыркы жылдары, көбүрөөк колдонулган жылдыргыч кургак насос. Артыкчылыгы колдонууда жөнөкөй жана майга кайтып келбейт, жөн гана насостун ылдамдыгы жана акыркы вакуум май менен жабылган механикалык насосторго караганда бир аз начарыраак.
Механикалык насостор лабораторияда ызы-чуунун жана титирөөнүн негизги булагы болуп саналат жана ызы-чуусу аз насосту тандап, аны мүмкүн болушунча жабдуулардын ортосунда жайгаштыруу жакшыраак, бирок жумушчу аралыктын чектөөлөрүнөн улам экинчисине жетүү оңой эмес.
II.Турбомолекулярдык насостор
Турбо-молекулярдык насостор газдын багыттуу агымына жетүү үчүн жогорку ылдамдыктагы айлануучу канаттарга (көбүнчө мүнөтүнө 1000 айлануу) таянат.Насостун чыгуучу басымынын кириш басымына болгон катышы кысуу коэффициенти деп аталат.Кысуу катышы насостун этаптарынын санына, ылдамдыгына жана газдын түрүнө байланыштуу, газдын кысуусунун жалпы молекулалык салмагы салыштырмалуу жогору.Турбомолекулярдык насостун акыркы вакууму жалпысынан 10-9-10-10 мбар деп эсептелет жана акыркы жылдары молекулярдык насостун технологиясынын тынымсыз прогресси менен акыркы вакуум дагы жакшыртылды.
Турбомолекулярдык насостун артыкчылыктары молекулярдык агым абалында гана ишке ашкандыктан (газ молекулаларынын орточо эркин диапазону каналдын кесилишинин максималдуу өлчөмүнөн бир топ чоң болгон агым абалы), этапка чейинки вакуумдук насос 1 10-2 Па чейин иштөө басымы менен талап кылынат.Канчалардын айлануу ылдамдыгы жогору болгондуктан, молекулярдык насос бөтөн объектилердин, життердин, соккунун, резонанстын же газдын соккусунан бузулушу же бузулушу мүмкүн.Жаңы баштагандар үчүн зыяндын эң көп таралган себеби - операциялык каталардан улам пайда болгон газ шок.Молекулярдык насостун бузулушуна механикалык насостун резонанс себеп болушу мүмкүн.Бул шарт салыштырмалуу сейрек кездешет, бирок өзгөчө көңүл бурууну талап кылат, анткени ал тымызын жана оңой байкалбайт.
III.Чачуучу иондук насос
Чачыратуучу иондук насостун иштөө принциби Пеннинг разрядынан пайда болгон иондорду катоддун титан пластинкасын бомбалоо үчүн жаңы титан пленкасын түзүү, ошону менен активдүү газдарды адсорбциялоо жана инерттүү газдарга белгилүү бир көмүү таасирин колдонуу болуп саналат. .Чачыратуучу иондук насостордун артыкчылыктары – жакшы акыркы вакуум, титирөө, ызы-чуу, булгануу жок, жетилген жана туруктуу процесс, техникалык тейлөө жок жана ошол эле насостук ылдамдыкта (инерттүү газдардан тышкары), алардын баасы молекулярдык насосторго караганда бир топ төмөн, бул аларды ультра жогорку вакуумдук системаларда абдан кеңири колдонууга мүмкүндүк берет.Адатта, чачыраткыч иондук насостордун нормалдуу иштөө цикли 10 жылдан ашык болот.
Иондук насостор туура иштеши үчүн жалпысынан 10-7 мбардан жогору болушу керек (начар вакуумдарда иштөө алардын иштөө мөөнөтүн бир топ кыскартат) жана ошондуктан этапка чейинки жакшы вакуумду камсыз кылуу үчүн молекулярдык насостун топтомун талап кылат.Негизги камерада иондук насосту + TSP жана кирүү камерасында чакан молекулалык насосту колдонуу кеңири таралган.Бышырганда, туташтырылган клапанды ачып, кичинекей молекулалык насостун аппараты алдыңкы вакуумду камсыз кылсын.
Белгилей кетсек, иондук насостор инерттүү газдарды адсорбциялоого жөндөмдүү эмес жана алардын максималдуу насостук ылдамдыгы молекулярдык насостордун ылдамдыгынан бир аз айырмаланат, андыктан газды чыгаруунун чоң көлөмү же инерттүү газдардын чоң көлөмү үчүн молекулярдык насос комплекси талап кылынат.Мындан тышкары, ион насосу иштөө учурунда электромагниттик талааны жаратат, ал өзгөчө сезгич системаларга тоскоол болушу мүмкүн.
IV.Титанды сублимациялоочу насостор
Титанды сублимациялоочу насостор химисорбция үчүн камеранын дубалдарында титан пленкасын түзүү үчүн металл титандын бууланышына таянуу менен иштешет.Титанды сублимациялоочу насостордун артыкчылыктары жөнөкөй конструкция, арзан баада, жеңил тейлөө, радиациясыз жана титирөө ызы-чуусу жок.
Титанды сублимациялоочу насостор, адатта, 3 титан жиптен турат (күйүп кетүүнүн алдын алуу үчүн) жана суутектин сонун чыгарылышын камсыз кылуу үчүн молекулалык же иондук насостор менен бирге колдонулат.Алар 10-9-10-11 мбар диапазонундагы эң маанилүү вакуумдук насостор жана жогорку вакуум деңгээли талап кылынган көпчүлүк ультра жогорку вакуумдук камераларда орнотулган.
Титанды сублимациялоочу насостордун кемчилиги титанды үзгүлтүксүз чачыратуу зарылчылыгы болуп саналат, чачыратуу учурунда вакуум болжол менен 1-2 баллга начарлайт (бир нече мүнөттүн ичинде), ошондуктан өзгөчө муктаждыктары бар айрым камералар NEGди колдонууну талап кылат.ошондой эле титанга сезгич үлгүлөр/түзмөктөр үчүн титанды сублимациялоочу насостун жайгашкан жеринен сактануу керек.
V. Криогендик насостор
Криогендик насостор вакуумду алуу үчүн негизинен төмөнкү температурадагы физикалык адсорбцияга таянат, анын артыкчылыктары насостун жогорку ылдамдыгы, булгануусу жок жана жогорку вакуум.Криогендик насостордун насостун ылдамдыгына таасир этүүчү негизги факторлор температура жана насостун бетинин аянты болуп саналат.Чоң молекулярдык нурлуу эпитаксиялык системаларда криогендик насостор эң жогорку вакуумдук талаптарга байланыштуу кеңири колдонулат.
Криогендик насостордун кемчиликтери суюк азоттун көп чыгымдалышы жана эксплуатациялык чыгымдардын жогору болушу.Рециркуляциялык муздаткычтары бар системалар суюк азотту керектебестен колдонулушу мүмкүн, бирок бул энергияны керектөө, титирөө жана ызы-чуу көйгөйлөрүн алып келет.Ушул себептен улам, криогендик насостор кадимки лабораториялык жабдууларда азыраак колдонулат.
VI.Аспиратор насостору (NEG)
Соручу агент насосу акыркы жылдары көбүрөөк колдонулган вакуумдук насостордун бири болуп саналат, анын артыкчылыгы химиялык адсорбцияны толук колдонуу, буу менен каптоо жана электромагниттик булгануу, көбүнчө титандын сублимация насостору жана чачыратуу ионунун ордун алуу үчүн молекулалык насостор менен бирге колдонулат. насостордун кемчилиги – бул, адатта, вакуумдук туруктуулукка жогорку талаптары бар же электромагниттик талааларга өтө сезгич системаларда колдонулган регенерациялардын жогорку баасы жана чектелген саны.
Мындан тышкары, аспиратор насосу баштапкы активдештирүүдөн тышкары кошумча электр менен жабдуу байланышын талап кылбагандыктан, ал көп учурда чоң системаларда насостун ылдамдыгын жогорулатуу жана вакуум деңгээлин жакшыртуу үчүн кошумча насос катары колдонулат, бул системаны натыйжалуу жөнөкөйлөштүрө алат.
Сүрөт: Насостордун ар кандай түрлөрү үчүн иштөө басымы.Күрөң жебелер максималдуу уруксат берилген иштөө басымынын диапазонун, ал эми коюу жашыл бөлүктөрү жалпы жумушчу басым диапазонун көрсөтөт.
Посттун убактысы: Ноябр-18-2022