Жылуулук газынын массасынын агымын контролдоочу (MFC)
Thermбалырларmassfтөмөнmeter(MFM)isakиндofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvalusarenотконтроlledbyfluctuationsinтемperatureorpressкерек эмесtгекompensationoftemperatуреandpressure.
Модел | SQC-100 |
Агым диапазондору (N2) | 0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM |
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
Тактык | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Valve Drive түрү | Кадимки жабык |
Сызыктуулугу | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Кайталануучулук | ±0,2%FS |
Жооп убактысы | ≤1сек |
Киргизүү/чыгыш сигналы | 0~5V |
Электр түйүн | DB15 пин (ийне) |
Операция Тем. | 5~45℃ |
Дифференциалдык пре. | 0,05~0,5МПа (MFC); 0,03~3,0МПа (MFM) |
Leak Rate | 1×10-8SCCS (Ал) |
Макс.басым | 3МПа |
Орто материал | 316L SS жана мөөр басуучу материал |
Пломбалоочу материал | Viton, силикон каучук, NBR, Teflon, металл пломба. |
биргелешкен өлчөмү | Видеомагнитофон 1/4”;Swagelok 1/8” 、1/4”;φ3、 φ6мм |
Электр камсыздоо | +15V,50mA;-15V,200mA |
Модел | SQC-200 |
Агым диапазондору (N2) | MFC: 0~20,30,50,100,150, 200SLM |
MFM: 0~20, 30, 50, 100, 150, 200, 250, 300SLM | |
Тактык | ±2%FS |
Valve Drive түрү | Кадимки жабык |
Сызыктуулугу | ±2%FS |
Кайталануучулук | ±0,2%FS |
Жооп убактысы | ≤5сек |
Киргизүү/чыгыш сигналы | 1~5V;4~20mA |
Электр түйүн | DB15 пин (ийне) |
Операция Тем. | 5~45℃ |
Дифференциалдык пре. | 0,1~0,3МПа(MFC); 0,05~3,0МПа(MFM) |
Leak Rate | 1×10-8SCCS (Ал) |
Макс.басым | 3МПа |
Орто материал | 316L SS жана мөөр басуучу материал |
Пломбалоочу материал | Viton, силикон каучук, NBR, ERP, Teflon |
биргелешкен өлчөмү | Swagelok 3/8” 、1/2”; φ8、φ10、φ12мм |
Электр камсыздоо | 24V,0.5A |
Бул жерге билдирүүңүздү жазып, бизге жөнөтүңүз