Mass Flow Controller Mass Flow Meter CS200
Eegeschaften
1. Héich Genauegkeet a séier Äntwert
D'Genauegkeet vum CS200 MFC gouf op ± 1,0% vum SP verbessert, an déi fortgeschratt Modeller hunn eng reduzéiert Äntwertzäit vu manner wéi 0,8 Sekonnen.
2. Niddereg Zero Drift an Temperatur Koeffizient
D'Erfindung vun der neier Sensortechnologie erméiglecht den CS200 MFC Stabilitéit z'erhalen an Temperaturschwankungen z'erhalen.Ouni en Auto-Null Verstärker ass den erwaarten Nulldrift manner wéi 0,6% FS / Joer, an den Temperaturkoeffizient ass manner wéi 0,02% FS / ℃ (Null), 0,05% FS / ℃ (Spann).
3. Metal-Sealed Modeller an High Purity Fonktioun
De befeuchtte Flosswee vun der Linn CS200 MFC ass aus Uewerflächpassivéiert Edelstol konstruéiert.All CS200 MFCs sinn am Sevenstar's ultraclean Class 100-Class Cleanrooms am Aklang mat SEMI an ISO 9001 Standards versammelt.
4. Kompatibel Schnëttplazen
De CS200 MFC ass kompatibel mat de folgenden Interfaces, déi vum Client ausgewielt kënne ginn: ± 8V-± 16V Duebelend Energieversuergung an +14V-+28V Single-End Energieversuergung;digital oder analog Signal Input an Output;SEMI Standard mechanesch Dimensiounen;an RS-485 oder DeviceNet Kommunikatioun Modul.
5. Verschiddenes Funktiounen
Mächteg Clientssoftware kënnt Standard mat all Modell, wärend zousätzlech Funktiounen wéi Multi-Gas, Multi-Range, Auto-Null, Alarmer, Softstart a Verzögerung als Clientsauswiel verfügbar sinn.
Spezifizéierung
| CS200 eng | |||||||
| Typ | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Voll Skala Range (N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Genauegkeet | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS?(~35% FS) | ||||||
| Linearitéit | ± 0,5% FS | ||||||
| Widderhuelbarkeet | ± 0,2% FS | ||||||
| Äntwert Zäit | ≤1 Sek | ≤0,8 Sekonnen (SEMI E17-0600) | |||||
| Ventil Rescht Positioun | Normalerweis zou oder | Kee Ventil | Normalerweis zou oder | Kee Ventil | Normalerweis zou oder | Kee Ventil | |
| Normalerweis oppen (100 sccm≤FS≤5 slm) | Normalerweis oppen (100 sccm≤FS≤5 slm) | Normalerweis oppen (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| Differential Drock | 0.05 ~ 0.35 MPa (Flow≤10slm) | ＜0,02 MPa | (0.05~0.35) MPa (≤10slm) | ＜0,02 MPa | (0.05~0.35) MPa (≤10slm) | ＜0,02 MPa | |
| 0.1 ~ 0.35 MPa (10 slm ＜ Flow ≤ 30 slm ) | (0.1–0.35) MPa (＞10slm) | (0.1–0.35) MPa (＞10slm) | |||||
| 0.2–0.45 MPa (Flow＞30slm) | |||||||
| Maximum Betribsdrock | 0,45 MPa | |||||
| Temperatur | Null: ≤±0,05% FS/℃; | Null: ≤±0,02% FS/℃;Spann: ≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Koeffizient | Spann: ≤±0,1% FS/℃ (Flow≤30slm) | |||||
| Spann: ≤±0,2% FS/℃ (Flow>30slm) | ||||||
| Beweis Drock | 3 MPa (435 pisg) | |||||
| Null Drift | ＜0,6% FS pro Joer ouni Autonull | |||||
| Leck Integritéit | 1×10-9 atm·cc/s He | 1×10-10atm·cc/s He | ||||
| Naass Materialien | Viton; | Metall? (Edelstol V/V, 5Ra) | Metal | |||
| Surface Chemie | —— | Cr/Fe Verhältnis -2,0;CrO Dicke ＞20 Angstrom | ||||
| Uewerfläch Finish | 25 Ra | 10 Ra | 25 Ra | |||
| Operatioun Temperatur | (5 - 45 ° C | (0-50 ℃ | ||||
| Input Signal | Digital: RS485 oder ProfiBus | N/A | Digital: RS485 oder ProfiBus oder DeviceNetTM | N/A | Digital: RS485 oder ProfiBus oder DeviceNetTM | N/A |
| oder DeviceNetTM | Analog: (0~5)VDC oder (4~20)mA oder (0~20)mA | Analog: (0~5)VDC oder (4~20)mA?oder (0~20)mA | |||||
| Analog: (0~5)VDC oder (4~20)mA oder (0~20)mA | |||||||
| Ausgangssignal | Digital: RS485 oder DeviceNetTM oder ProfiBus Analog: (0~5)VDC oder (4~20)mA oder (0~20)mA | ||||||
| Stroumversuergung | ±8 ~ ±16 VDC oder +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| Elektronesch Connector | 9 Pin männlech Sub-D ，15 Pin männlech Sub-D ，DeviceNetTM,ProfiBus ，Analog | ||||||
| Fittings | VCR1/4" M; VCO1/4" M; | VCR1/4" M; | |||||
| Kompressioun FittingΦ10; Kompressioun FittingΦ6; | Kompressioun FittingΦ6, | ||||||
| Kompressioun Fitting 3/8 ";Kompressioun Fitting 1/4"; | Kompressioun FittingΦ3, | ||||||
| Kompressioun Fitting 1/8 ";Kompressioun FittingΦ3； | Kompressioun Fitting 1/4", | ||||||
| Ф6(bannen) × 1 Schlauch; ф5 (bannenzeg) × 1,5 Schlauch; ф4 (bannenzeg) × 1 Schlauch; | W-Dichtung, | ||||||
| A-Sael ; | C-Dichtung | ||||||
| Gewiicht | 1kg vun | 0,8kg vun | 1,2kg | 1kg vun | 1,2kg | 1kg vun | |
