Mass Flow Controller (MFC) bidden präzis Messung a Kontroll vum Masseflow vu Gasen.
I. Wat ass den Ënnerscheed tëscht engem MFC an engem MFM?
Mass Flow Meter (MFM) ass eng Aart Instrument dat präzis de Gasfloss moosst, a säi Miesswäert ass net ongenau wéinst Schwankungen an der Temperatur oder Drock, a brauch keng Temperatur- an Drockkompensatioun. huet d'Funktioun vun engem Mass Flow Meter, awer méi wichteg, et kann automatesch de Gas Flux kontrolléieren, dat ass, de Benotzer kann de Flux no hire Besoinen astellen, an der MFC hält automatesch de Flux konstant um festgeluegt Wäert, och wann de Systemdrock Schwankungen oder Ännerungen an der Ëmgéigend Temperatur wäert et net aus dem festgeluegte Wäert ofwäichen.De Masseflusskontroller ass e stännege Flow-Apparat, deen e Gas-Stabil-Flow-Apparat ass deen manuell agestallt oder automatesch kontrolléiert ka ginn duerch Verbindung mat engem Computer.Mass Flow Meter moossen nëmmen awer kontrolléieren net.De Massestroumkontroller huet e Kontrollventil, deen de Gasfloss souwuel moossen a kontrolléieren kann.
II.Wat ass d'Struktur anOperatiounsprinzip?
1, Struktur
2, Operatiounsprinzip
Wann de Flux an d'Intakspipe erakënnt, passéiert de gréissten Deel vum Stroum duerch den Oflehnungskanal, e klengen Deel vun deem an d'Kapillarröhre an de Sensor erakënnt.Wéinst der spezieller Struktur vun
der diverter Kanal, déi zwee Deeler vun der Gas Flux kann direkt proportional ginn.De Sensor gëtt virgeheizt an erhëtzt, an d'Temperatur dobannen ass méi héich wéi d'Temperatur vun der Inletloft.Zu dëser Zäit gëtt de Massefluss vum klengen Deel vum Gas duerch de Prinzip vum Wärmetransfer duerch d'Kapillarröhre an de Prinzip vun der Temperaturdifferenzkalorimetrie gemooss.De Flux vum Gas op dës Manéier gemooss kann d'Effekter vun Temperatur an Drock ignoréieren.De Flowmesssignal, deen vum Sensor festgestallt gëtt, gëtt op de Circuit Board Input a verstäerkt an erausginn, an d'Funktioun vum MFM ass ofgeschloss.Füügt PID zougemaach Schleif automatesch Kontrollfunktioun op de Circuit Board, Vergläicht de Flowmesssignal gemooss vum Sensor mat dem Set Signal dat vum Benotzer gëtt.Baséierend op deem gëtt de Kontrollventil kontrolléiert sou datt de Flowerkennungssignal gläich ass mam Set Signal, sou datt d'Funktioun vum MFC realiséiert gëtt.
III.Uwendungen a Funktiounen.
MFC, dee wäit an de Beräicher applizéiert gëtt wéi: Hallefleit- an IC-Fabrikatioun, Spezialmaterialwëssenschaft, chemesch Industrie, Petrolindustrie, pharmazeutesch Industrie, Ëmweltschutz a Vakuumsystemfuerschung, etc.. Déi typesch Uwendungen enthalen: mikroelektronesch Prozessausrüstung wéi Diffusioun , Oxidatioun, Epitaxie, CVD, Plasma Ätzen, Sputtering, Ionimplantatioun;Vakuum Oflagerung Ausrüstung, optesch Faser Schmelzen, Mikro-Reaktioun Ausrüstung, Vermëschung & passende Gas System, Kapillar Flux Kontroll System, Gas chromatograph an aner analytesch Instrumenter.
MFC bréngt déi héich Genauegkeet, exzellent Widderhuelbarkeet, séier Äntwert, Softstart, besser Zouverlässegkeet, breet Varietéit vun Operatiounsdrock (gutt Operatioun an Héichdrock- a Vakuumsituatiounen), einfach bequem Operatioun, flexibel Installatioun, méiglech Verbindung mat PC fir automatesch auszeféieren Kontroll op de Benotzer System.
IV.Wéi bestëmmen a mat failures?
Eis Firma huet professionnelle After-Sale-Ingenieur, kann Iech hëllefen, Probleemer an der Installatioun an der Benotzung ze léisen.
Post Zäit: Jul-29-2022