Wëssen - Vakuum Ventile

I. Aféierung vun Krunn
Vakuumventil ass e Vakuumsystemkomponent deen benotzt gëtt fir d'Richtung vum Loftfloss z'änneren, d'Gréisst vum Gasfloss unzepassen, ofgeschnidden oder d'Pipeline am Vakuumsystem ze verbannen.D'Ofschlossdeeler vum Vakuumventil sinn duerch Gummi-Dichtung oder Metalldichtung versiegelt.

II.Gemeinsam Vakuum Krunn Uwendungen.
Vakuum Ventile
Benotzt an héich oder ultra-héich Vakuum System Ausrüstung wann Vakuum muss an engem zouenen Vakuum Ëmgank System erhale ginn.Vakuumventile gi benotzt fir de Loftfloss an d'Vakuumkammer ze kontrolléieren, ze isoléieren, ze ventiléieren, Drockreduktioun ze bidden oder d'Leedung ze kontrolléieren.Gate Ventile, Inline Ventile a Wénkelventile sinn déi heefegst Aarte vu Vakuumventile fir héich oder ultra-héich Vakuum Uwendungen benotzt.Zousätzlech Ventiltypen enthalen Schmetterlingsventile, Transferventile, Kugelventile, Pendelventile, All-Metal Ventile, Vakuumventile, Aluminiumwinkelventile, Teflon-beschichtete Vakuumventile a riicht duerch Ventile.

Schmetterlingsventile
si séier Ëffnungsventile, déi aus Metallscheiwen oder Spannen besteet, déi a richtege Wénkel op d'Richtung vum Floss an der Pipeline dréien a wann se op hir Achs rotéiert ginn, schléit de Ventil de Sëtz am Ventilkierper.

Transferventile (rechteckeg Gateventile)
Trennungsventile gëeegent fir ze benotzen tëscht oplaaschtleche Vakuumkammeren an Transferkammer, an tëscht Transferkammer a Veraarbechtungskammer an Hallefleeder-Fabrikatiounsausrüstung.

Vakuum Kugelventile
sinn Véierel Tour riichtaus Flux Ventile mat engem kreesfërmeg Zoumaache Assemblée mat passenden kreesfërmeg Sëtzer fir eenheetlech Dichtstress.

Pendelventile
ass e grousst Drosselventil, deen tëscht der Prozessvakuumkammer an dem turbomolekuläre Pompel-Inlet gepasst ass.Dës Vakuum Pendelventile sinn typesch als Gate- oder Pendelventile fir Uwendungen entworf, dorënner OLED, FPD a PV industrielle Fabrikatiounssystemer.

All-Metal Ventile
Entworf fir ze benotzen an ultra-héich Vakuum Ëmfeld wou héich Temperaturen d'Benotzung vun Elastomeren a kryogene Dichtungsmetaller net erlaben.Bakbar All-Metal Ventile bidden zouverlässeg Héichtemperaturdichtung vum Atmosphärendrock bis ënner 10-11 mbar.

Vakuum Ventile
Bedreiwen zouverlässeg an semiconductor Produktioun Systemer an an Uwendungen mat chemescher a particulate Kontaminatioun.Si kënnen a rau Vakuum, héije Vakuum oder ultra-héich Vakuum Ëmfeld benotzt ginn.

Aluminium Wénkelventile
D'Inlet an d'Outlet vun dëse Ventile sinn am richtege Wénkel openeen.Dës Wénkelventile ginn aus Aluminium A6061-T6 gemaach a ginn an der Hallefleit- an Instrumentatiounsfabrikatioun, R&D an industrielle Vakuumsystemer fir rau bis héich Vakuum Uwendungen benotzt.

Den Teflon Beschichtete Vakuumventil ass e komplett konstruéierten Edelstahl Vakuumkomponentapparat mat enger haltbarer an héich chemescher resistenter Beschichtung.

III.Charakteristiken vun Vakuum Ventile.
Den Drock ass ënner dem Atmosphärendrock an den Drockfall iwwer de Ventilklapp kann net méi wéi 1 kg Kraaft / cm sinn.D'Aarbechtstemperatur vum Medium hänkt vum Prozess vum benotzten Apparat of.D'Temperatur iwwerschreift normalerweis net d'Gamme vu -70 ~ 150°C.Déi elementarste Fuerderung fir esou Ventile ass fir en héije Grad vun der Dichtheet vun der Verbindung an der Dicht vun der Struktur an der Dichtungsmaterial ze garantéieren.

Laut dem mëttleren Drock Vakuumventile kënnen a véier Gruppen opgedeelt ginn.
1) Niddereg Vakuum Ventile: Mëtteldruck p = 760 ~ 1 mmHg.
2) Mëttel Vakuum Ventile: p = 1 × 10-3 mmHg.
3) Héich Vakuum Ventile: p = 1 × 10-4 ~ 1 × 10-7 mmHg.
4) Ultra-héich Vakuumventil: p≤1×10-8 mmHg.

Als zouenen Circuit-Ventil mat engem Duerchmiesser vu manner wéi 250 mm ass de wäit verbreete Stamm e Vakuumbalg-Ofschlossventil mat linearer Bewegung.Gate Ventile sinn awer méi limitéiert, awer dëst ass haaptsächlech fir grouss Duerchmiesser.Och verfügbar sinn sphäresch Plugventile (Kugelventile), Plungerventile a Päiperlekventile.Plug-Ventile fir Vakuumventile sinn net gefördert ginn, well se Uelegschmierung erfuerderen, wat et méiglech mécht fir Uelegdamp an de Vakuumsystem anzeginn, wat net erlaabt ass.Vakuumventile kënnen manuell an op afstand am Feld kontrolléiert ginn, souwéi elektresch, elektromagnetesch (Solenoidventile), pneumatesch an hydraulesch.