Mass Flow Controllers (MFC) ສະຫນອງການວັດແທກທີ່ຊັດເຈນແລະການຄວບຄຸມການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ.
I. ຄວາມແຕກຕ່າງລະຫວ່າງ MFC ແລະ MFM ແມ່ນຫຍັງ?
ເຄື່ອງວັດແທກການໄຫຼຂອງມະຫາຊົນ (MFM) ແມ່ນເຄື່ອງມືທີ່ວັດແທກການໄຫຼຂອງອາຍແກັສໄດ້ຢ່າງຖືກຕ້ອງ, ແລະມູນຄ່າການວັດແທກຂອງມັນບໍ່ຖືກຕ້ອງເນື່ອງຈາກການເຫນັງຕີງຂອງອຸນຫະພູມຫຼືຄວາມກົດດັນ, ແລະບໍ່ຕ້ອງການການຊົດເຊີຍອຸນຫະພູມແລະຄວາມກົດດັນ. ເຄື່ອງຄວບຄຸມການໄຫຼຂອງມະຫາຊົນ (MFC) ບໍ່ພຽງແຕ່ ມີຫນ້າທີ່ຂອງເຄື່ອງວັດແທກການໄຫຼຂອງມະຫາຊົນ, ແຕ່ສໍາຄັນກວ່ານັ້ນ, ມັນສາມາດຄວບຄຸມການໄຫຼຂອງອາຍແກັສໂດຍອັດຕະໂນມັດ, ນັ້ນແມ່ນ, ຜູ້ໃຊ້ສາມາດກໍານົດການໄຫຼຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງເຂົາເຈົ້າ, ແລະ MFC ອັດຕະໂນມັດຮັກສາການໄຫຼຄົງທີ່ຕາມຄ່າທີ່ກໍານົດໄວ້, ເຖິງແມ່ນວ່າ. ຄວາມກົດດັນຂອງລະບົບ ການເໜັງຕີງ ຫຼື ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມແວດລ້ອມອ້ອມຂ້າງຈະບໍ່ເຮັດໃຫ້ມັນ deviate ຈາກຄ່າທີ່ກໍານົດໄວ້.ເຄື່ອງຄວບຄຸມການໄຫຼຂອງມະຫາຊົນແມ່ນອຸປະກອນການໄຫຼຄົງທີ່, ເຊິ່ງເປັນອຸປະກອນການໄຫຼຂອງອາຍແກັສທີ່ສາມາດຕັ້ງຄ່າດ້ວຍຕົນເອງຫຼືຄວບຄຸມອັດຕະໂນມັດໂດຍການເຊື່ອມຕໍ່ກັບຄອມພິວເຕີ້.ເຄື່ອງວັດແທກການໄຫຼຂອງມະຫາຊົນພຽງແຕ່ວັດແທກແຕ່ບໍ່ໄດ້ຄວບຄຸມ.ເຄື່ອງຄວບຄຸມການໄຫຼຂອງມະຫາຊົນມີປ່ຽງຄວບຄຸມ, ເຊິ່ງສາມາດວັດແທກແລະຄວບຄຸມການໄຫຼຂອງອາຍແກັສໄດ້.
II.ໂຄງສ້າງແມ່ນຫຍັງ ແລະຫຼັກການປະຕິບັດການ?
1, ໂຄງປະກອບການ
2, ຫຼັກການປະຕິບັດງານ
ໃນເວລາທີ່ການໄຫຼເຂົ້າໄປໃນທໍ່ຮັບປະທານ, ສ່ວນໃຫຍ່ຂອງການໄຫຼຜ່ານຊ່ອງທາງ diverter, ພາກສ່ວນຂະຫນາດນ້ອຍເຂົ້າໄປໃນທໍ່ capillary ພາຍໃນເຊັນເຊີ.ເນື່ອງຈາກໂຄງສ້າງພິເສດຂອງ
diverter channel, ສອງພາກສ່ວນຂອງການໄຫຼຂອງອາຍແກັສສາມາດເປັນອັດຕາສ່ວນໂດຍກົງ.ເຊັນເຊີຖືກ preheated ແລະໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ, ແລະອຸນຫະພູມພາຍໃນແມ່ນສູງກວ່າອຸນຫະພູມຂອງອາກາດ inlet.ໃນເວລານີ້, ການໄຫຼຂອງມະຫາຊົນຂອງສ່ວນນ້ອຍຂອງອາຍແກັສແມ່ນວັດແທກໂດຍຫຼັກການຂອງການໂອນຄວາມຮ້ອນໂດຍທໍ່ capillary ແລະຫຼັກການຂອງຄວາມແຕກຕ່າງຂອງອຸນຫະພູມ calorimetry.ການໄຫຼຂອງອາຍແກັສທີ່ວັດແທກດ້ວຍວິທີນີ້ສາມາດບໍ່ສົນໃຈຜົນກະທົບຂອງອຸນຫະພູມແລະຄວາມກົດດັນ.ສັນຍານການວັດແທກການໄຫຼທີ່ກວດພົບໂດຍເຊັນເຊີແມ່ນການປ້ອນຂໍ້ມູນໃສ່ກະດານວົງຈອນແລະການຂະຫຍາຍແລະຜົນຜະລິດ, ແລະການເຮັດວຽກຂອງ MFM ແມ່ນສໍາເລັດ.ການເພີ່ມ PID ປິດ loop ຟັງຊັນຄວບຄຸມອັດຕະໂນມັດໃສ່ກະດານວົງຈອນ, ປຽບທຽບສັນຍານການວັດແທກການໄຫຼທີ່ວັດແທກໂດຍເຊັນເຊີກັບສັນຍານທີ່ກໍານົດໄວ້ໂດຍຜູ້ໃຊ້.ອີງໃສ່ການນີ້, ປ່ຽງຄວບຄຸມໄດ້ຖືກຄວບຄຸມເພື່ອໃຫ້ສັນຍານການຊອກຄົ້ນຫາການໄຫຼເທົ່າກັບສັນຍານທີ່ກໍານົດໄວ້, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງປະຕິບັດຫນ້າທີ່ຂອງ MFC ໄດ້.
III.ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກແລະຄຸນສົມບັດ.
MFC, ເຊິ່ງໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂົງເຂດເຊັ່ນ: semiconductor ແລະ IC fabrication, ວິທະຍາສາດວັດສະດຸພິເສດ, ອຸດສາຫະກໍາເຄມີ, ອຸດສາຫະກໍານ້ໍາມັນ, ອຸດສາຫະກໍາຢາ, ການປົກປ້ອງສິ່ງແວດລ້ອມແລະການຄົ້ນຄວ້າລະບົບສູນຍາກາດ, ແລະອື່ນໆ. , ການຜຸພັງ, epitaxy, CVD, plasma etching, sputtering, ion implantation;ອຸປະກອນການດູດຊຶມສູນຍາກາດ, ການລະລາຍເສັ້ນໄຍ optical, ອຸປະກອນປະຕິກິລິຍາຈຸນລະພາກ, ລະບົບອາຍແກັສປະສົມ & ການຈັບຄູ່, ລະບົບຄວບຄຸມການໄຫຼວຽນຂອງ capillary, chromatograph ອາຍແກັສແລະເຄື່ອງມືການວິເຄາະອື່ນໆ.
MFC ນໍາເອົາຄວາມຖືກຕ້ອງສູງ, ການເຮັດຊ້ໍາອີກຄັ້ງ, ການຕອບສະຫນອງໄວ, ການເລີ່ມຕົ້ນອ່ອນ, ຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືທີ່ດີກວ່າ, ຄວາມຫລາກຫລາຍຂອງຄວາມກົດດັນການດໍາເນີນງານ (ການດໍາເນີນງານທີ່ດີໃນສະຖານະການຄວາມກົດດັນສູງແລະສູນຍາກາດ), ການດໍາເນີນງານງ່າຍດາຍ, ການຕິດຕັ້ງທີ່ມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ, ການເຊື່ອມຕໍ່ກັບ PC ເພື່ອປະຕິບັດອັດຕະໂນມັດ. ຄວບຄຸມລະບົບຂອງຜູ້ໃຊ້.
IV.ວິທີການກໍານົດແລະຈັດການກັບ fພະຍາດ?
ບໍລິສັດຂອງພວກເຮົາມີວິສະວະກອນຫລັງການຂາຍມືອາຊີບ, ສາມາດຊ່ວຍໃຫ້ທ່ານແກ້ໄຂບັນຫາໃນການຕິດຕັ້ງແລະການນໍາໃຊ້.
ເວລາປະກາດ: 29-07-2022