ຄວາມຮູ້ – ວາວສູນຍາກາດ

I. ການແນະນໍາຂອງວາວ
ວາວສູນຍາກາດແມ່ນອົງປະກອບຂອງລະບົບສູນຍາກາດທີ່ໃຊ້ໃນການປ່ຽນແປງທິດທາງຂອງກະແສລົມ, ປັບຂະຫນາດຂອງການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ, ຕັດອອກຫຼືເຊື່ອມຕໍ່ທໍ່ໃນລະບົບສູນຍາກາດ.ພາກສ່ວນປິດຂອງວາວສູນຍາກາດແມ່ນປະທັບຕາດ້ວຍປະທັບຕາຢາງພາລາຫຼືປະທັບຕາໂລຫະ.

II.ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກວາວສູນຍາກາດທົ່ວໄປ.
ປ່ຽງສູນຍາກາດ
ໃຊ້ໃນອຸປະກອນລະບົບສູນຍາກາດທີ່ສູງຫຼືສູງທີ່ສຸດໃນເວລາທີ່ສູນຍາກາດຕ້ອງໄດ້ຮັບການຮັກສາໄວ້ໃນລະບົບການຈັດການສູນຍາກາດທີ່ປິດ.ປ່ຽງສູນຍາກາດຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຄວບຄຸມການໄຫຼຂອງອາກາດເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງສູນຍາກາດ, ແຍກ, ລະບາຍອາກາດ, ສະຫນອງການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນຫຼືການຄວບຄຸມ conduction.ປ່ຽງປະຕູ, ປ່ຽງພາຍໃນແລະປ່ຽງມຸມແມ່ນປະເພດທົ່ວໄປທີ່ສຸດຂອງປ່ຽງສູນຍາກາດທີ່ໃຊ້ສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກສູນຍາກາດສູງຫຼືສູງທີ່ສຸດ.ປະເພດວາວເພີ່ມເຕີມປະກອບມີວາວຜີເສື້ອ, ປ່ຽງໂອນ, ປ່ຽງບານ, ປ່ຽງປ່ຽງ, ປ່ຽງໂລຫະທັງຫມົດ, ປ່ຽງສູນຍາກາດ, ປ່ຽງມຸມອະລູມິນຽມ, ປ່ຽງສູນຍາກາດເຄືອບ Teflon ແລະປ່ຽງກົງຜ່ານ.

ວາວຜີເສື້ອ
ປ່ຽງເປີດໄວປະກອບດ້ວຍແຜ່ນໂລຫະຫຼື vanes ທີ່ pivot ໃນມຸມຂວາກັບທິດທາງຂອງການໄຫຼໃນທໍ່ແລະໃນເວລາທີ່ rotated ໃນແກນຂອງເຂົາເຈົ້າ, ປ່ຽງປະທັບຕາບ່ອນນັ່ງຢູ່ໃນຮ່າງກາຍວາວ.

Transfer valves (ປ່ຽງປະຕູສີ່ຫລ່ຽມ)
ປ່ຽງແຍກທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ລະຫວ່າງຫ້ອງສູນຍາກາດທີ່ຖືກລັອກແລະຫ້ອງການໂອນ, ແລະລະຫວ່າງຫ້ອງການໂອນແລະຫ້ອງປຸງແຕ່ງໃນອຸປະກອນການຜະລິດ semiconductor.

ວາວບານສູນຍາກາດ
ແມ່ນປ່ຽງການໄຫຼວຽນຂອງສີ່ຫຼ່ຽມຊື່ທີ່ມີການປະກອບປິດເປັນວົງກົມທີ່ມີບ່ອນນັ່ງວົງກົມທີ່ກົງກັນສໍາລັບຄວາມກົດດັນຂອງການປະທັບຕາທີ່ເປັນເອກະພາບ.

ປ່ຽງປ່ຽງ
ເປັນປ່ຽງ throttle ຂະຫນາດໃຫຍ່ທີ່ເຫມາະລະຫວ່າງຫ້ອງສູນຍາກາດຂະບວນການແລະ turbomolecular pump inlet.ປ່ຽງ pendulum ສູນຍາກາດເຫຼົ່ານີ້ຖືກອອກແບບໂດຍປົກກະຕິເປັນປ່ຽງປະຕູຫຼື pendulum ສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກລວມທັງ OLED, FPD ແລະ PV ລະບົບການຜະລິດອຸດສາຫະກໍາ.

ປ່ຽງໂລຫະທັງຫມົດ
ອອກແບບມາເພື່ອໃຊ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດສູງສຸດທີ່ອຸນຫະພູມສູງບໍ່ອະນຸຍາດໃຫ້ໃຊ້ elastomers ແລະໂລຫະ gasket cryogenic.ປ່ຽງໂລຫະທັງໝົດທີ່ສາມາດອົບໄດ້ໃຫ້ການຜະນຶກດ້ວຍອຸນຫະພູມສູງທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ຈາກຄວາມກົດດັນຂອງບັນຍາກາດຕໍ່າກວ່າ 10-11 mbar.

ປ່ຽງສູນຍາກາດ
ປະຕິບັດຢ່າງຫນ້າເຊື່ອຖືໃນລະບົບການຜະລິດ semiconductor ແລະໃນການນໍາໃຊ້ທີ່ມີການປົນເປື້ອນສານເຄມີແລະອະນຸພາກ.ພວກມັນສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ໃນສູນຍາກາດທີ່ຫຍາບຄາຍ, ສູນຍາກາດສູງຫຼືສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດສູງ.

ວາວມຸມອະລູມິນຽມ
ປະຕູເຂົ້າ ແລະ ທາງອອກຂອງປ່ຽງເຫຼົ່ານີ້ຢູ່ໃນມຸມຂວາຫາກັນ.ປ່ຽງມຸມເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນເຮັດດ້ວຍອາລູມິນຽມ A6061-T6 ແລະຖືກນໍາໃຊ້ໃນການຜະລິດ semiconductor ແລະເຄື່ອງມື, R&D ແລະລະບົບສູນຍາກາດອຸດສາຫະກໍາສໍາລັບການນໍາໃຊ້ສູນຍາກາດທີ່ຮຸນແຮງເຖິງສູງ.

ວາວສູນຍາກາດທີ່ເຄືອບ Teflon ເປັນອຸປະກອນສູນຍາກາດສະແຕນເລດທີ່ອອກແບບມາຢ່າງສົມບູນແບບທີ່ມີສານເຄືອບທົນທານແລະທົນທານຕໍ່ສານເຄມີສູງ.

III.ລັກສະນະຂອງປ່ຽງສູນຍາກາດ.
ຄວາມກົດດັນແມ່ນຕໍ່າກວ່າຄວາມກົດດັນຂອງບັນຍາກາດແລະຄວາມກົດດັນຫຼຸດລົງໃນທົ່ວປ່ຽງປ່ຽງບໍ່ສາມາດເກີນ 1 ກິໂລກໍາ / cm.ອຸນຫະພູມການເຮັດວຽກຂອງຂະຫນາດກາງແມ່ນຂຶ້ນກັບຂະບວນການຂອງອຸປະກອນທີ່ໃຊ້.ອຸນຫະພູມໂດຍທົ່ວໄປບໍ່ເກີນ -70 ~ 150 ° C.ຄວາມຕ້ອງການພື້ນຖານທີ່ສຸດສໍາລັບປ່ຽງດັ່ງກ່າວແມ່ນເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມແຫນ້ນຫນາຂອງການເຊື່ອມຕໍ່ສູງແລະຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງໂຄງສ້າງແລະວັດສະດຸ gasket.

ອີງຕາມວາວສູນຍາກາດຄວາມກົດດັນຂະຫນາດກາງສາມາດແບ່ງອອກເປັນສີ່ກຸ່ມ.
1) ປ່ຽງສູນຍາກາດຕ່ໍາ: ຄວາມກົດດັນຂະຫນາດກາງ p = 760 ~ 1 mmHg.
2) ວາວສູນຍາກາດຂະຫນາດກາງ: p = 1 × 10-3 mmHg.
3) ປ່ຽງສູນຍາກາດສູງ: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4) ວາວສູນຍາກາດສູງພິເສດ: p≤1×10-8 mmHg.

ໃນຖານະທີ່ເປັນປ່ຽງວົງຈອນປິດທີ່ມີເສັ້ນຜ່າກາງ passage ຫນ້ອຍກວ່າ 250 ມມ, ລໍາຕົ້ນທີ່ໃຊ້ກັນຢ່າງກວ້າງຂວາງແມ່ນປ່ຽງປິດທໍ່ສູນຍາກາດທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວເສັ້ນ.ແນວໃດກໍ່ຕາມ, ປ່ຽງປະຕູແມ່ນຈໍາກັດຫຼາຍ, ແຕ່ນີ້ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນສໍາລັບເສັ້ນຜ່າກາງຂະຫນາດໃຫຍ່.ນອກຈາກນີ້ຍັງມີປ່ຽງສຽບຮູບຊົງກົມ (ປ່ຽງບານ), ປ່ຽງ plunger ແລະປ່ຽງ butterfly.ປ່ຽງປ່ຽງສໍາລັບປ່ຽງສູນຍາກາດບໍ່ໄດ້ຮັບການສົ່ງເສີມເພາະວ່າພວກເຂົາຕ້ອງການການຫລໍ່ລື່ນນ້ໍາມັນ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນໄປໄດ້ສໍາລັບອາຍແກັສນ້ໍາມັນເຂົ້າໄປໃນລະບົບສູນຍາກາດ, ເຊິ່ງບໍ່ໄດ້ຮັບອະນຸຍາດ.ປ່ຽງສູນຍາກາດສາມາດຄວບຄຸມດ້ວຍຕົນເອງແລະຫ່າງໄກສອກຫຼີກໃນພາກສະຫນາມ, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບໄຟຟ້າ, ໄຟຟ້າ (ປ່ຽງ solenoid), pneumatically ແລະ hydraulically.