ປັ໊ມທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປໃນລະບົບສູນຍາກາດສູງສຸດ

I. ເຄື່ອງປ້ຳກົນຈັກ
ຫນ້າທີ່ຕົ້ນຕໍຂອງປັ໊ມກົນຈັກແມ່ນເພື່ອສະຫນອງສູນຍາກາດກ່ອນຂັ້ນຕອນທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບການເລີ່ມຕົ້ນຂອງປັ໊ມ turbomolecular.ປັ໊ມກົນຈັກທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປປະກອບມີປັ໊ມແຫ້ງ vortex ສ່ວນໃຫຍ່, ປັ໊ມ diaphragm ແລະປັ໊ມກົນຈັກທີ່ມີນ້ໍາມັນ.
ປັ໊ມ Diaphragm ມີຄວາມໄວການສູບນ້ໍາຕ່ໍາແລະໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວຖືກນໍາໃຊ້ສໍາລັບຊຸດປັ໊ມໂມເລກຸນຂະຫນາດນ້ອຍເນື່ອງຈາກຂະຫນາດຂະຫນາດນ້ອຍ.
ປັ໊ມກົນຈັກປະທັບຕານ້ໍາມັນເປັນປັ໊ມກົນຈັກທີ່ໃຊ້ຫຼາຍທີ່ສຸດໃນອະດີດ, ມີລັກສະນະການສູບນ້ໍາຂະຫນາດໃຫຍ່ແລະສູນຍາກາດສຸດທ້າຍທີ່ດີ, ຂໍ້ເສຍແມ່ນການມີຢູ່ທົ່ວໄປຂອງການກັບຄືນຂອງນ້ໍາມັນ, ໃນລະບົບສູນຍາກາດທີ່ສູງທີ່ສຸດໂດຍທົ່ວໄປຈໍາເປັນຕ້ອງໄດ້ຕິດຕັ້ງວາວ solenoid. (ສໍາລັບການປ້ອງກັນຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງພະລັງງານໂດຍບັງເອີນທີ່ເກີດຈາກການກັບຄືນຂອງນ້ໍາມັນ) ແລະ sieve ໂມເລກຸນ (ຜົນກະທົບການດູດຊຶມ).
ໃນຊຸມປີມໍ່ໆມານີ້, ການນໍາໃຊ້ຫຼາຍແມ່ນປັ໊ມແຫ້ງເລື່ອນ. ປະໂຫຍດແມ່ນງ່າຍດາຍທີ່ຈະໃຊ້ແລະບໍ່ກັບຄືນມາເປັນນ້ໍາມັນ, ພຽງແຕ່ຄວາມໄວຂອງປັ໊ມແລະສູນຍາກາດສຸດທ້າຍແມ່ນຮ້າຍແຮງກວ່າເລັກນ້ອຍຂອງປັ໊ມກົນຈັກທີ່ມີນ້ໍາມັນ.
ປັ໊ມກົນຈັກເປັນແຫຼ່ງຕົ້ນຕໍຂອງສິ່ງລົບກວນແລະການສັ່ນສະເທືອນຢູ່ໃນຫ້ອງທົດລອງແລະມັນກໍ່ດີກວ່າທີ່ຈະເລືອກເອົາປັ໊ມທີ່ມີສຽງຕ່ໍາແລະວາງມັນລະຫວ່າງອຸປະກອນທີ່ເປັນໄປໄດ້, ແຕ່ສິ່ງສຸດທ້າຍແມ່ນບໍ່ຄ່ອຍຈະບັນລຸໄດ້ເນື່ອງຈາກຂໍ້ຈໍາກັດຂອງໄລຍະຫ່າງໃນການເຮັດວຽກ.
II.ປັ໊ມ Turbomolecular
ປັ໊ມໂມເລກຸນ Turbo ອີງໃສ່ແຖບຫມຸນທີ່ມີຄວາມໄວສູງ (ປົກກະຕິແລ້ວປະມານ 1000 ຮອບຕໍ່ນາທີ) ເພື່ອບັນລຸການໄຫຼຂອງອາຍແກັສຕາມທິດທາງ.ອັດຕາສ່ວນຂອງຄວາມກົດດັນຂອງທໍ່ລະບາຍອາກາດກັບຄວາມກົດດັນ inlet ເອີ້ນວ່າອັດຕາສ່ວນການບີບອັດ.ອັດຕາສ່ວນການບີບອັດແມ່ນກ່ຽວຂ້ອງກັບຈໍານວນຂັ້ນຕອນຂອງປັ໊ມ, ຄວາມໄວແລະປະເພດຂອງອາຍແກັສ, ນ້ໍາຫນັກໂມເລກຸນທົ່ວໄປຂອງການບີບອັດອາຍແກັສແມ່ນຂ້ອນຂ້າງສູງ.ການສູນຍາກາດສຸດທ້າຍຂອງປັ໊ມ turbomolecular ໂດຍທົ່ວໄປແມ່ນຖືວ່າເປັນ 10-9-10-10 mbar, ແລະໃນຊຸມປີມໍ່ໆມານີ້, ດ້ວຍຄວາມກ້າວຫນ້າຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຂອງເຕັກໂນໂລຢີປັ໊ມໂມເລກຸນ, ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນສຸດທ້າຍໄດ້ຖືກປັບປຸງຕື່ມອີກ.
ເນື່ອງຈາກຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງປັ໊ມ turbomolecular ໄດ້ຖືກຮັບຮູ້ພຽງແຕ່ຢູ່ໃນສະພາບຂອງການໄຫຼໂມເລກຸນ (ສະພາບການໄຫຼທີ່ລະດັບເສລີ່ຍຂອງໂມເລກຸນອາຍແກັສແມ່ນຫຼາຍກ່ວາຂະຫນາດສູງສຸດຂອງທໍ່ຕັດຜ່ານທໍ່), ປັ໊ມສູນຍາກາດກ່ອນຂັ້ນຕອນ. ມີຄວາມກົດດັນປະຕິບັດງານຂອງ 1 ຫາ 10-2 Pa ແມ່ນຕ້ອງການ.ເນື່ອງຈາກຄວາມໄວຫມຸນສູງຂອງ vanes, ປັ໊ມໂມເລກຸນສາມາດເສຍຫາຍຫຼືທໍາລາຍໂດຍວັດຖຸຕ່າງປະເທດ, jitter, ຜົນກະທົບ, resonance ຫຼືອາຍແກັສຊ໊ອກ.ສໍາລັບຜູ້ເລີ່ມຕົ້ນ, ສາເຫດທົ່ວໄປທີ່ສຸດຂອງຄວາມເສຍຫາຍແມ່ນການຊ໊ອກອາຍແກັສທີ່ເກີດຈາກຄວາມຜິດພາດຂອງການດໍາເນີນງານ.ຄວາມເສຍຫາຍຂອງປັ໊ມໂມເລກຸນຍັງສາມາດເກີດຈາກສຽງສະທ້ອນທີ່ກະຕຸ້ນໂດຍປັ໊ມກົນຈັກ.ສະພາບນີ້ແມ່ນຂ້ອນຂ້າງຫາຍາກ, ແຕ່ຕ້ອງການຄວາມສົນໃຈເປັນພິເສດເນື່ອງຈາກວ່າມັນເປັນ insidious ຫຼາຍແລະບໍ່ກວດພົບໄດ້ງ່າຍ.

III.ປັ໊ມ ion sputtering
ຫຼັກການການເຮັດວຽກຂອງປັ໊ມ ion sputtering ແມ່ນການໃຊ້ ions ທີ່ຜະລິດໂດຍການປ່ອຍ Penning ເພື່ອລະເບີດແຜ່ນ titanium ຂອງ cathode ເພື່ອສ້າງເປັນຮູບເງົາ titanium ສົດ, ດັ່ງນັ້ນການດູດຊຶມຂອງທາດອາຍຜິດທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວແລະມີຜົນກະທົບທີ່ແນ່ນອນກ່ຽວກັບທາດອາຍຜິດ inert ເຊັ່ນດຽວກັນ. .ຂໍ້ດີຂອງປັ໊ມ ion sputtering ແມ່ນສູນຍາກາດສຸດທ້າຍທີ່ດີ, ບໍ່ສັ່ນສະເທືອນ, ບໍ່ມີສຽງ, ບໍ່ມີມົນລະພິດ, ຂະບວນການທີ່ແກ່ແລະຫມັ້ນຄົງ, ບໍ່ມີການບໍາລຸງຮັກສາແລະຄວາມໄວການສູບນ້ໍາດຽວກັນ (ຍົກເວັ້ນທາດອາຍຜິດ inert), ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຂອງມັນແມ່ນຕ່ໍາກວ່າປັ໊ມໂມເລກຸນ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ພວກມັນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນລະບົບສູນຍາກາດສູງສຸດ.ປົກກະຕິແລ້ວວົງຈອນການເຮັດວຽກປົກກະຕິຂອງປັ໊ມ ion sputtering ແມ່ນຫຼາຍກ່ວາ 10 ປີ.
ປັ໊ມ ion ໂດຍທົ່ວໄປຈໍາເປັນຕ້ອງຢູ່ຂ້າງເທິງ 10-7 mbar ເພື່ອເຮັດວຽກຢ່າງຖືກຕ້ອງ (ການເຮັດວຽກຢູ່ໃນສູນຍາກາດທີ່ຮ້າຍແຮງກວ່າເກົ່າຈະຫຼຸດລົງຊີວິດຂອງພວກເຂົາຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ) ແລະດັ່ງນັ້ນຈິ່ງຕ້ອງການຊຸດປັ໊ມໂມເລກຸນເພື່ອໃຫ້ສູນຍາກາດກ່ອນຂັ້ນຕອນທີ່ດີ.ມັນເປັນການປະຕິບັດທົ່ວໄປທີ່ຈະໃຊ້ປັ໊ມ ion + TSP ຢູ່ໃນຫ້ອງຕົ້ນຕໍແລະປັ໊ມໂມເລກຸນຂະຫນາດນ້ອຍທີ່ຕັ້ງຢູ່ໃນຫ້ອງຂາເຂົ້າ.ໃນເວລາອົບ, ເປີດປ່ຽງສຽບທີ່ເຊື່ອມຕໍ່ແລະປ່ອຍໃຫ້ຊຸດປັ໊ມໂມເລກຸນຂະຫນາດນ້ອຍສະຫນອງສູນຍາກາດທາງຫນ້າ.
ມັນຄວນຈະສັງເກດວ່າປັ໊ມ ion ມີຄວາມສາມາດໃນການດູດຊຶມຂອງອາຍແກັສ inert ຫນ້ອຍແລະຄວາມໄວການສູບນ້ໍາສູງສຸດຂອງພວກມັນແຕກຕ່າງກັນບາງຢ່າງຈາກປັ໊ມໂມເລກຸນ, ດັ່ງນັ້ນສໍາລັບປະລິມານອອກຂະຫນາດໃຫຍ່ຫຼືອາຍແກັສ inert ຈໍານວນຫລາຍ, ຈໍາເປັນຕ້ອງມີຊຸດປັ໊ມໂມເລກຸນ.ນອກຈາກນັ້ນ, ປັ໊ມ ion ສ້າງສະຫນາມແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານ, ເຊິ່ງອາດຈະແຊກແຊງລະບົບທີ່ລະອຽດອ່ອນໂດຍສະເພາະ.
IV.ສູບ sublimation Titanium
ຈັກສູບ sublimation Titanium ເຮັດວຽກໂດຍການອີງໃສ່ການລະເຫີຍຂອງ titanium ໂລຫະເພື່ອສ້າງເປັນຮູບເງົາ titanium ຢູ່ຝາຫ້ອງສໍາລັບການ chemisorption.ຂໍ້ດີຂອງປັ໊ມ sublimation titanium ແມ່ນການກໍ່ສ້າງງ່າຍດາຍ, ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຕ່ໍາ, ບໍາລຸງຮັກສາງ່າຍ, ບໍ່ມີລັງສີແລະບໍ່ມີສຽງສັ່ນສະເທືອນ.
ປັ໊ມ Titanium sublimation ປົກກະຕິແລ້ວປະກອບດ້ວຍ 3 filaments titanium (ເພື່ອປ້ອງກັນການເຜົາໄຫມ້ອອກ) ແລະຖືກນໍາໃຊ້ໃນການປະສົມປະສານກັບປັ໊ມໂມເລກຸນຫຼື ion ເພື່ອສະຫນອງການກໍາຈັດໄຮໂດເຈນທີ່ດີເລີດ.ພວກມັນແມ່ນເຄື່ອງສູບສູນຍາກາດທີ່ສໍາຄັນທີ່ສຸດໃນລະດັບ 10-9-10-11 mbar ແລະຖືກຕິດຕັ້ງຢູ່ໃນຫ້ອງສູນຍາກາດສູງທີ່ສຸດທີ່ຕ້ອງການລະດັບສູນຍາກາດສູງ.
ຂໍ້ເສຍຂອງປັ໊ມ sublimation titanium ແມ່ນຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບການ sputtering ປົກກະຕິຂອງ titanium, ສູນຍາກາດ deteriorates ປະມານ 1-2 ຄໍາສັ່ງຂອງ magnitude ໃນລະຫວ່າງການ sputtering (ພາຍໃນສອງສາມນາທີ), ດັ່ງນັ້ນຫ້ອງທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການສະເພາະໃດຫນຶ່ງຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການນໍາໃຊ້ NEG.ນອກຈາກນັ້ນ, ສໍາລັບຕົວຢ່າງ / ອຸປະກອນທີ່ລະອຽດອ່ອນ titanium, ຄວນລະມັດລະວັງເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການສະຖານທີ່ຂອງປັ໊ມ sublimation titanium.
V. ສູບ Cryogenic
ປັ໊ມ Cryogenic ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນອີງໃສ່ການດູດຊຶມທາງດ້ານຮ່າງກາຍຂອງອຸນຫະພູມຕ່ໍາເພື່ອໃຫ້ໄດ້ສູນຍາກາດ, ມີຂໍ້ດີຂອງຄວາມໄວການສູບນ້ໍາສູງ, ບໍ່ມີມົນລະພິດແລະສູນຍາກາດສູງສຸດ.ປັດໃຈຕົ້ນຕໍທີ່ມີຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມໄວຂອງປັ໊ມ cryogenic ແມ່ນອຸນຫະພູມແລະພື້ນທີ່ຂອງປັ໊ມ.ໃນລະບົບ epitaxy beam ໂມເລກຸນຂະຫນາດໃຫຍ່, ປັ໊ມ cryogenic ໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງເນື່ອງຈາກຄວາມຕ້ອງການສູນຍາກາດສູງສຸດ.
ຂໍ້ເສຍຂອງປັ໊ມ cryogenic ແມ່ນການບໍລິໂພກສູງຂອງໄນໂຕຣເຈນຂອງແຫຼວແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການດໍາເນີນງານສູງ.ລະບົບທີ່ມີເຄື່ອງເຢັນ recirculating ສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ໂດຍບໍ່ມີການບໍລິໂພກໄນໂຕຣເຈນຂອງແຫຼວ, ແຕ່ນີ້ນໍາເອົາບັນຫາທີ່ສອດຄ້ອງກັນຂອງການບໍລິໂພກພະລັງງານ, ການສັ່ນສະເທືອນແລະສິ່ງລົບກວນ.ສໍາລັບເຫດຜົນນີ້, ປັ໊ມ cryogenic ຖືກນໍາໃຊ້ຫນ້ອຍລົງໃນອຸປະກອນຫ້ອງທົດລອງແບບດັ້ງເດີມ.
VI.ເຄື່ອງສູບຫາຍໃຈ (NEG)
ປັ໊ມຕົວແທນດູດເປັນຫນຶ່ງໃນປັ໊ມສູນຍາກາດທີ່ໃຊ້ຫຼາຍໃນຊຸມປີມໍ່ໆມານີ້, ປະໂຫຍດຂອງມັນແມ່ນການນໍາໃຊ້ການດູດຊຶມສານເຄມີຢ່າງສົມບູນ, ບໍ່ມີແຜ່ນ vapor ແລະມົນລະພິດທາງແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າ, ມັກຈະໃຊ້ຮ່ວມກັນກັບປັ໊ມໂມເລກຸນເພື່ອເອົາສະຖານທີ່ຂອງປັ໊ມ sublimation titanium ແລະ sputtering ion. ປັ໊ມ, ຂໍ້ເສຍແມ່ນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍສູງແລະຈໍານວນຈໍາກັດຂອງການຟື້ນຟູ, ປົກກະຕິແລ້ວໃຊ້ໃນລະບົບທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການສູງສໍາລັບຄວາມຫມັ້ນຄົງສູນຍາກາດຫຼືມີຄວາມອ່ອນໄຫວສູງກັບພາກສະຫນາມແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າ.
ນອກຈາກນັ້ນ, ເນື່ອງຈາກປັ໊ມ aspirator ຕ້ອງການບໍ່ມີການເຊື່ອມຕໍ່ການສະຫນອງພະລັງງານເພີ່ມເຕີມນອກເຫນືອຈາກການເປີດໃຊ້ເບື້ອງຕົ້ນ, ມັນຍັງຖືກນໍາໃຊ້ໃນລະບົບຂະຫນາດໃຫຍ່ເປັນປັ໊ມເສີມເພື່ອເພີ່ມຄວາມໄວການສູບແລະປັບປຸງລະດັບສູນຍາກາດ, ເຊິ່ງສາມາດເຮັດໃຫ້ລະບົບງ່າຍດາຍ.

ຮູບ : ແຮງດັນໃນການເຮັດວຽກຂອງປໍ້າປະເພດຕ່າງໆ.ລູກສອນສີນ້ໍາຕານສະແດງໃຫ້ເຫັນລະດັບຄວາມກົດດັນປະຕິບັດງານສູງສຸດທີ່ອະນຸຍາດແລະພາກສ່ວນສີຂຽວທີ່ກ້າຫານສະແດງໃຫ້ເຫັນຂອບເຂດຄວາມກົດດັນການເຮັດວຽກທົ່ວໄປ.