DUK, susipažinkite su mūsų MFC

Masės srauto valdikliai (MFC) užtikrina tikslų dujų masės srauto matavimą ir valdymą.

I. Kuo skiriasi MFC ir MFM?

Masės srauto matuoklis (MFM) yra tam tikras prietaisas, kuris tiksliai matuoja dujų srautą, o jo matavimo vertė nėra netiksli dėl temperatūros ar slėgio svyravimų ir nereikalauja temperatūros ir slėgio kompensavimo. Masės srauto reguliatorius (MFC) ne tik turi masės srauto matuoklio funkciją, bet dar svarbiau, kad jis gali automatiškai valdyti dujų srautą, tai yra, vartotojas gali nustatyti srautą pagal savo poreikius, o MFC automatiškai palaiko pastovų srautą nustatyta verte, net jei sistemos slėgis Dėl aplinkos temperatūros svyravimų ar pokyčių ji nenukryps nuo nustatytos vertės.Masės srauto reguliatorius yra pastovaus srauto įtaisas, kuris yra pastovaus dujų srauto įtaisas, kurį galima nustatyti rankiniu būdu arba automatiškai valdyti prijungus prie kompiuterio.Masės srauto matuokliai tik matuoja, bet nekontroliuoja.Masės srauto reguliatorius turi valdymo vožtuvą, kuris gali matuoti ir valdyti dujų srautą.

II.Kokia yra struktūra irveikimo principas?

1, Struktūra

2, veikimo principas

Kai srautas patenka į įsiurbimo vamzdį, didžioji srauto dalis praeina per nukreipimo kanalą, kurio nedidelė dalis patenka į daviklio viduje esantį kapiliarinį vamzdelį.Dėl ypatingos struktūros

nukreipimo kanalą, dvi dujų srauto dalys gali būti tiesiogiai proporcingos.Jutiklis yra iš anksto pašildytas ir šildomas, o temperatūra viduje yra aukštesnė nei įeinančio oro temperatūra.Šiuo metu mažos dujų dalies masės srautas matuojamas šilumos perdavimo kapiliariniu vamzdeliu principu ir temperatūrų skirtumo kalorimetrijos principu.Tokiu būdu išmatuotas dujų srautas gali nepaisyti temperatūros ir slėgio poveikio.Jutiklio aptiktas srauto matavimo signalas įvedamas į plokštę ir sustiprinamas bei išvedamas, o MFM funkcija baigta.Pridėjus PID uždarojo ciklo automatinio valdymo funkciją prie grandinės plokštės, palyginkite jutiklio išmatuotą srauto matavimo signalą su vartotojo duotu nustatytu signalu.Remiantis tuo, valdymo vožtuvas yra valdomas taip, kad srauto aptikimo signalas būtų lygus nustatytam signalui, taip įgyvendinant MFC funkciją.

III.Programos ir funkcijos.

MFC, plačiai taikomas tokiose srityse kaip: puslaidininkių ir IC gamyba, specialiųjų medžiagų mokslas, chemijos pramonė, naftos pramonė, farmacijos pramonė, aplinkos apsauga ir vakuuminių sistemų tyrimai ir kt. , oksidacija, epitaksija, CVD, ėsdinimas plazmoje, purškimas, jonų implantacija;vakuuminio nusodinimo įranga, optinio pluošto lydymas, mikroreakcijos įranga, maišymo ir suderinimo dujų sistema, kapiliarų srauto valdymo sistema, dujų chromatografas ir kiti analizės prietaisai.

MFC užtikrina aukštą tikslumą, puikų pakartojamumą, greitą reagavimą, minkštą paleidimą, didesnį patikimumą, platų veikimo slėgio diapazoną (geras veikimas aukšto slėgio ir vakuumo situacijose), paprastą ir patogų valdymą, lankstų montavimą, galimą prijungimą prie kompiuterio, kad būtų galima atlikti automatinį darbą. valdyti vartotojų sistemą.

IV.Kaip nustatyti ir elgtis su fnegalavimai?

Mūsų įmonė turi profesionalų inžinierių po pardavimo, gali padėti išspręsti montavimo ir naudojimo problemas.