Žinios – Vakuuminiai vožtuvai

I. Vožtuvo įvedimas
Vakuuminis vožtuvas yra vakuuminės sistemos komponentas, naudojamas oro srauto krypčiai pakeisti, dujų srauto dydžiui reguliuoti, vamzdynui nupjauti arba prijungti vakuuminėje sistemoje.Vakuuminio vožtuvo uždarymo dalys yra užsandarintos guminiu arba metaliniu sandarikliu.

II.Įprasti vakuuminių vožtuvų pritaikymai.
Vakuuminiai vožtuvai
Naudojamas didelio arba itin aukšto vakuumo sistemose, kai vakuumas turi būti palaikomas uždaroje vakuuminio apdorojimo sistemoje.Vakuuminiai vožtuvai naudojami oro srautui į vakuumo kamerą reguliuoti, izoliuoti, ventiliuoti, sumažinti slėgį arba kontroliuoti laidumą.Sklendės, inline vožtuvai ir kampiniai vožtuvai yra labiausiai paplitę vakuuminių vožtuvų tipai, naudojami didelio arba itin didelio vakuumo reikmėms.Papildomi vožtuvų tipai yra peteliški vožtuvai, perdavimo vožtuvai, rutuliniai vožtuvai, švytuokliniai vožtuvai, visiškai metaliniai vožtuvai, vakuuminiai vožtuvai, aliuminio kampiniai vožtuvai, teflonu dengti vakuuminiai vožtuvai ir tiesioginiai vožtuvai.

Drugeliniai vožtuvai
yra greitai atsidarantys vožtuvai, susidedantys iš metalinių diskų arba mentelių, kurios sukasi stačiu kampu srauto vamzdyne krypčiai, o kai sukasi apie savo ašį, vožtuvas užsandarina lizdą vožtuvo korpuse.

Perdavimo vožtuvai (stačiakampiai sklendės)
Atskyrimo vožtuvai, tinkami naudoti tarp apkrovos užrakinamų vakuuminių kamerų ir perdavimo kamerų bei tarp perdavimo kamerų ir apdorojimo kamerų puslaidininkių gamybos įrangoje.

Vakuuminiai rutuliniai vožtuvai
yra ketvirčio apsisukimo tiesaus srauto vožtuvai su apvaliu uždarymo mazgu su atitinkamomis apskritomis lizdais, užtikrinančiais vienodą sandarinimo įtempį.

Švytuokliniai vožtuvai
yra didelis droselio vožtuvas, sumontuotas tarp proceso vakuuminės kameros ir turbomolekulinio siurblio įleidimo angos.Šie vakuuminiai švytuokliniai vožtuvai paprastai yra suprojektuoti kaip užtvarai arba švytuokliniai vožtuvai, skirti naudoti, įskaitant OLED, FPD ir PV pramonines gamybos sistemas.

Visiškai metaliniai vožtuvai
Sukurta naudoti itin didelio vakuumo aplinkoje, kur aukšta temperatūra neleidžia naudoti elastomerų ir kriogeninių tarpiklių metalų.Kepami metaliniai vožtuvai užtikrina patikimą aukštos temperatūros sandarumą nuo atmosferos slėgio iki žemiau 10-11 mbar.

Vakuuminiai vožtuvai
Patikimai veikia puslaidininkių gamybos sistemose ir srityse, kuriose yra cheminių ir kietųjų dalelių užteršimo.Jie gali būti naudojami grubaus vakuumo, didelio vakuumo arba itin didelio vakuumo aplinkoje.

Aliuminio kampiniai vožtuvai
Šių vožtuvų įleidimo ir išleidimo angos yra stačiu kampu vienas kito atžvilgiu.Šie kampiniai vožtuvai yra pagaminti iš aliuminio A6061-T6 ir naudojami puslaidininkių ir prietaisų gamyboje, MTTP ir pramoninėse vakuuminėse sistemose, skirtose šiurkščiam ir dideliam vakuumui.

Teflonu padengtas vakuuminis vožtuvas yra visiškai sukonstruotas nerūdijančio plieno vakuuminis komponentas su patvaria ir labai chemikalams atsparia danga.

III.Vakuuminių vožtuvų charakteristikos.
Slėgis yra mažesnis už atmosferos slėgį, o slėgio kritimas vožtuvo sklendėje negali viršyti 1 kg jėgos/cm.Terpės darbinė temperatūra priklauso nuo naudojamo įrenginio proceso.Temperatūra paprastai neviršija -70 ~ 150°C diapazono.Pagrindinis reikalavimas tokiems vožtuvams – užtikrinti aukštą jungties sandarumą ir konstrukcijos bei tarpiklių medžiagos tankumą.

Pagal vidutinio slėgio vakuuminius vožtuvus galima suskirstyti į keturias grupes.
1) Žemo vakuumo vožtuvai: vidutinio slėgio p=760~1 mmHg.
2) Vidutinio vakuumo vožtuvai: p=1×10-3 mmHg.
3) Aukšto vakuumo vožtuvai: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4) Itin didelio vakuumo vožtuvas: p≤1 × 10-8 mmHg.

Kaip uždaros grandinės vožtuvas, kurio praėjimo skersmuo mažesnis nei 250 mm, plačiai naudojamas kotas yra vakuuminis silfoninis uždarymo vožtuvas su linijiniu judėjimu.Tačiau sklendės yra labiau apribotos, tačiau tai daugiausia skirta dideliems skersmenims.Taip pat yra sferinių uždorių vožtuvų (rutulinių vožtuvų), stūmoklinių vožtuvų ir drugelių vožtuvų.Vakuuminių vožtuvų vožtuvai nebuvo reklamuojami, nes juos reikia tepti alyva, todėl alyvos garai gali patekti į vakuuminę sistemą, o tai neleidžiama.Vakuuminiai vožtuvai gali būti valdomi rankiniu būdu ir nuotoliniu būdu lauke, taip pat elektriškai, elektromagnetiškai (solenoidiniai vožtuvai), pneumatiškai ir hidrauliškai.