Šiluminių dujų masės srauto valdiklis (MFC)
Thermalgosmasilasfžemasmeter(MFM) isakindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressure, nereikiathecompensationoftemperatureandpressure.
Modelis | SQC-100 |
Srauto diapazonai (N2) | 0, 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 500 SCCM |
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
Tikslumas | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Vožtuvo pavaros tipas | Normalus Uždarytas |
Tiesiškumas | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Pakartojamumas | ±0,2%FS |
Atsakymo laikas | ≤1 sek |
Įvesties/išvesties signalas | 0-5V |
Elektrinė jungtis | DB15 kaištis (adata) |
Operacija Tem. | 5–45 ℃ |
Diferencialas Pre. | 0,05~0,5 MPa (MFC); 0,03~3,0 MPa (MFM) |
Nutekėjimo greitis | 1×10-8SCCS (jis) |
Maks.Spaudimas | 3 MPa |
Vidutinė medžiaga | 316L SS ir sandarinimo medžiaga |
Sandarinimo medžiaga | Vitonas, Silikono guma, NBR, Teflonas, Metalinis sandariklis. |
Sąnario dydis | VCR 1/4";Swagelok 1/8" 、1/4";φ3、 φ6mm |
Maitinimo šaltinis | +15V,50mA;-15V,200mA |
Modelis | SQC-200 |
Srauto diapazonai (N2) | MFC: 0, 20, 30, 50, 100, 150, 200 SLM |
MFM: 0–20, 30, 50, 100, 150, 200, 250, 300 SLM | |
Tikslumas | ±2%FS |
Vožtuvo pavaros tipas | Normalus Uždarytas |
Tiesiškumas | ±2%FS |
Pakartojamumas | ±0,2%FS |
Atsakymo laikas | ≤5 sek |
Įvesties/išvesties signalas | 1~5V;4~20mA |
Elektrinė jungtis | DB15 kaištis (adata) |
Operacija Tem. | 5–45 ℃ |
Diferencialas Pre. | 0,1~0,3 MPa (MFC); 0,05-3,0 MPa (MFM) |
Nutekėjimo greitis | 1×10-8SCCS (jis) |
Maks.Spaudimas | 3 MPa |
Vidutinė medžiaga | 316L SS ir sandarinimo medžiaga |
Sandarinimo medžiaga | Vitonas, silikoninė guma, NBR, ERP, teflonas |
Sąnario dydis | Swagelok 3/8", 1/2"; φ8、φ10、φ12mm |
Maitinimo šaltinis | 24V,0,5A |
Parašykite savo žinutę čia ir atsiųskite mums