ZJ serijos Roots vakuuminis siurblys

ZJ serijos Roots vakuuminis siurblys

Šios serijos Roots tipo vakuuminiai siurbliai negali būti naudojami atskirai.Jį reikia naudoti nuosekliai su priešpakopiniu vakuuminiu siurbliu, kad padidėtų priešpakopinio vakuuminio siurblio siurbimo greitis, kai slėgis mažesnis nei 1,3 × 103 ~ 1,3 × 10-1 Pa. Konstrukcija susideda iš dviejų 8 - formos rotoriaus sekcijos ir rotoriaus korpusas, o du rotoriai nesiliečia vienas su kitu ir sukasi priešingomis kryptimis sinchronizuodami vienas su kitu.

ZJ serijos Roots vakuuminiai siurbliai daugiausia naudojami:

PVD danga, magnetroninis purškimas, jonų dengimas, optinė danga ir kt.;

Vieno kristalo krosnis, polikristalinė krosnis, sukepinimo krosnis, atkaitinimo krosnis, gesinimo krosnis ir kt.

Vakuuminis džiovinimas, džiovinimas šalčiu, nuotėkio aptikimo sistema, dujų regeneravimo sistema, skystųjų kristalų įpurškimas ir kt.;

Vakuuminė pramonė, tokia kaip šaldytuvai, buitiniai oro kondicionieriai, centriniai oro kondicionieriai, automatinės evakuacijos linijos foniniams apšvietimams ir išmetimo įranga.