Masas plūsmas regulatori (MFC) nodrošina precīzu gāzu masas plūsmas mērīšanu un kontroli.
I. Kāda ir atšķirība starp MFC un MFM?
Masas plūsmas mērītājs (MFM) ir sava veida instruments, kas precīzi mēra gāzes plūsmu, un tā mērījumu vērtība nav neprecīza temperatūras vai spiediena svārstību dēļ, un tai nav nepieciešama temperatūras un spiediena kompensācija. Masas plūsmas regulators (MFC) ne tikai ir masas plūsmas mērītāja funkcija, bet vēl svarīgāk ir tas, ka tas var automātiski kontrolēt gāzes plūsmu, tas ir, lietotājs var iestatīt plūsmu atbilstoši savām vajadzībām, un MFC automātiski uztur plūsmu nemainīgā iestatītajā vērtībā, pat ja sistēmas spiediens Apkārtējās temperatūras svārstības vai izmaiņas neizraisīs tās novirzes no iestatītās vērtības.Masas plūsmas regulators ir vienmērīgas plūsmas ierīce, kas ir vienmērīgas gāzes plūsmas ierīce, ko var manuāli iestatīt vai automātiski vadīt, savienojot ar datoru.Masas plūsmas mērītāji tikai mēra, bet nekontrolē.Masas plūsmas regulatoram ir vadības vārsts, kas var gan mērīt, gan kontrolēt gāzes plūsmu.
II.Kāda ir struktūra undarbības princips?
1. Struktūra
2. Darbības princips
Kad plūsma nonāk ieplūdes caurulē, lielākā daļa plūsmas iet caur novirzīšanas kanālu, no kura neliela daļa nonāk kapilārā caurulē sensora iekšpusē.Īpašās struktūras dēļ
novirzītāja kanāls, abas gāzes plūsmas daļas var būt tieši proporcionālas.Sensors ir iepriekš uzsildīts un uzsildīts, un temperatūra iekšpusē ir augstāka par ieplūdes gaisa temperatūru.Šajā laikā nelielas gāzes daļas masas plūsmu mēra pēc siltuma pārneses principa ar kapilāro cauruli un temperatūras starpības kalorimetrijas principu.Šādā veidā izmērītā gāzes plūsma var ignorēt temperatūras un spiediena ietekmi.Sensora noteiktais plūsmas mērīšanas signāls tiek ievadīts shēmas platē un tiek pastiprināts un izvadīts, un MFM funkcija ir pabeigta.Pievienojot shēmas platei PID slēgtā cikla automātiskās vadības funkciju, salīdziniet sensora izmērīto plūsmas mērīšanas signālu ar lietotāja norādīto iestatīto signālu.Pamatojoties uz to, vadības vārsts tiek vadīts tā, lai plūsmas noteikšanas signāls būtu vienāds ar iestatīto signālu, tādējādi realizējot MFC funkciju.
III.Lietojumprogrammas un funkcijas.
MFC, ko plaši izmanto tādās jomās kā: pusvadītāju un IC ražošana, speciālā materiālu zinātne, ķīmiskā rūpniecība, naftas rūpniecība, farmācijas rūpniecība, vides aizsardzības un vakuuma sistēmu izpēte utt. Tipiski pielietojumi ietver: mikroelektronisko procesu iekārtas, piemēram, difūziju. , oksidēšana, epitaksija, CVD, plazmas kodināšana, izsmidzināšana, jonu implantācija;vakuuma pārklāšanas iekārtas, optisko šķiedru kausēšana, mikroreakcijas iekārtas, sajaukšanas un saskaņošanas gāzes sistēma, kapilārās plūsmas kontroles sistēma, gāzu hromatogrāfs un citi analītiskie instrumenti.
MFC nodrošina augstu precizitāti, izcilu atkārtojamību, ātru reakciju, mīksto palaišanu, labāku uzticamību, plašu darbības spiediena diapazonu (laba darbība augsta spiediena un vakuuma situācijās), vienkāršu, ērtu darbību, elastīgu uzstādīšanu, iespējamu savienojumu ar datoru, lai veiktu automātisku darbību. kontrolēt lietotāju sistēmu.
IV.Kā noteikt un rīkoties ar fslimības?
Mūsu uzņēmumam ir profesionāls pēcpārdošanas inženieris, kas var palīdzēt atrisināt uzstādīšanas un lietošanas problēmas.
Publicēšanas laiks: 29. jūlijs 2022