Zināšanas – Vakuuma vārsti

I. Vārsta ieviešana
Vakuuma vārsts ir vakuuma sistēmas sastāvdaļa, ko izmanto, lai mainītu gaisa plūsmas virzienu, pielāgotu gāzes plūsmas lielumu, nogrieztu vai pievienotu cauruļvadu vakuuma sistēmā.Vakuuma vārsta noslēdzošās daļas ir noslēgtas ar gumijas vai metāla blīvējumu.

II.Parastie vakuuma vārstu pielietojumi.
Vakuuma vārsti
Izmanto augsta vai īpaši augsta vakuuma sistēmas iekārtās, kad vakuums jāuztur slēgtā vakuuma apstrādes sistēmā.Vakuuma vārstus izmanto, lai kontrolētu gaisa plūsmu vakuuma kamerā, izolētu, ventilētu, nodrošinātu spiediena samazināšanu vai vadītspēju.Aizvaru vārsti, Inline vārsti un leņķa vārsti ir visizplatītākie vakuuma vārstu veidi, ko izmanto augsta vai īpaši augsta vakuuma vajadzībām.Papildu vārstu veidi ir droseļvārsti, pārvadvārsti, lodveida vārsti, svārsta vārsti, pilnībā metāla vārsti, vakuuma vārsti, alumīnija leņķa vārsti, vakuuma vārsti ar teflona pārklājumu un taisnie vārsti.

Tauriņvārsti
ir ātri atverami vārsti, kas sastāv no metāla diskiem vai lāpstiņām, kas pagriežas taisnā leņķī pret plūsmas virzienu cauruļvadā, un, pagriežot ap savu asi, vārsts noblīvē ligzdu vārsta korpusā.

Pārvades vārsti (taisnstūrveida aizbīdņi)
Atdalīšanas vārsti, kas piemēroti izmantošanai starp noslogotām vakuuma kamerām un pārneses kamerām, kā arī starp pārvades kamerām un apstrādes kamerām pusvadītāju ražošanas iekārtās.

Vakuuma lodveida vārsti
ir ceturtdaļas pagrieziena taisnas plūsmas vārsti ar apļveida aizvēršanas bloku ar atbilstošiem apļveida ligzdām, lai nodrošinātu vienmērīgu blīvējuma spriegumu.

Svārsta vārsti
ir liels droseļvārsts, kas uzstādīts starp procesa vakuuma kameru un turbomolekulārā sūkņa ieplūdi.Šie vakuuma svārsta vārsti parasti ir paredzēti kā aizbīdņu vai svārsta vārsti lietojumiem, tostarp OLED, FPD un PV rūpnieciskās ražošanas sistēmām.

Pilnmetāla vārsti
Paredzēts lietošanai īpaši augsta vakuuma vidēs, kur augsta temperatūra neļauj izmantot elastomērus un kriogēnos blīvju metālus.Cepamie pilnībā metāla vārsti nodrošina drošu augstas temperatūras blīvējumu no atmosfēras spiediena līdz zem 10-11 mbar.

Vakuuma vārsti
Uzticami darboties pusvadītāju ražošanas sistēmās un lietojumos ar ķīmisku un daļiņu piesārņojumu.Tos var izmantot neapstrādātā vakuuma, augsta vakuuma vai īpaši augsta vakuuma vidēs.

Alumīnija leņķa vārsti
Šo vārstu ieplūde un izplūde atrodas taisnā leņķī viens pret otru.Šie leņķa vārsti ir izgatavoti no alumīnija A6061-T6 un tiek izmantoti pusvadītāju un instrumentu ražošanā, pētniecībā un attīstībā un rūpnieciskās vakuuma sistēmās, kas paredzētas rupjiem vai augsta vakuuma lietojumiem.

Vakuuma vārsts ar teflona pārklājumu ir pilnībā konstruēta nerūsējošā tērauda vakuuma komponentu ierīce ar izturīgu un ļoti ķīmiski izturīgu pārklājumu.

III.Vakuuma vārstu raksturojums.
Spiediens ir zemāks par atmosfēras spiedienu, un spiediena kritums pāri vārsta atlokam nedrīkst pārsniegt 1 kg spēku/cm.Vides darba temperatūra ir atkarīga no izmantotās ierīces procesa.Temperatūra parasti nepārsniedz diapazonu no -70 ~ 150°C.Pamatprasība šādiem vārstiem ir nodrošināt augstu savienojuma hermētiskumu un konstrukcijas un blīves materiāla blīvumu.

Saskaņā ar vidēja spiediena vakuuma vārstus var iedalīt četrās grupās.
1) Zema vakuuma vārsti: vidējais spiediens p=760~1 mmHg.
2) Vidēja vakuuma vārsti: p=1×10-3 mmHg.
3) Augsta vakuuma vārsti: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4) īpaši augsta vakuuma vārsts: p≤1 × 10-8 mmHg.

Kā slēgtas ķēdes vārsts, kura ejas diametrs ir mazāks par 250 mm, plaši izmantotais kāts ir vakuuma silfona slēgvārsts ar lineāru kustību.Tomēr aizbīdņu vārsti ir ierobežotāki, taču tas galvenokārt attiecas uz lieliem diametriem.Pieejami arī sfēriskie aizbāžņa vārsti (lodveida vārsti), virzuļvārsti un droseļvārsti.Vakuuma vārstu spraudvārsti nav reklamēti, jo tiem nepieciešama eļļas eļļošana, kas ļauj eļļas tvaikiem iekļūt vakuuma sistēmā, kas nav atļauts.Vakuuma vārstus var vadīt manuāli un attālināti uz lauka, kā arī elektriski, elektromagnētiski (solenoīda vārsti), pneimatiski un hidrauliski.