Termiskās gāzes masas plūsmas regulators (MFC)
Thermalgasmassfzemsmeter(MFM) isakindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressure, nevajagthecompensationoftemperatureandpressure.
Modelis | SQC-100 |
Plūsmas diapazoni (N2) | 0, 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 500 SCCM |
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
Precizitāte | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Vārsta piedziņas veids | Normāls Slēgts |
Linearitāte | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Atkārtojamība | ±0,2%FS |
Reakcijas laiks | ≤1 sek |
Ieejas/izejas signāls | 0~5V |
Elektriskais savienojums | DB15 tapa (adata) |
Operācija Temp. | 5~45℃ |
Diferenciālis Pre. | 0,05~0,5MPa (MFC); 0,03~3,0MPa (MFM) |
Noplūdes ātrums | 1×10-8SCCS (Viņš) |
Maks.Spiediens | 3 MPa |
Vidējs materiāls | 316L SS un blīvējuma materiāls |
Blīvējuma materiāls | Vitons, Silikona gumija, NBR, Teflons, Metāla blīve. |
Locītavas izmērs | VCR 1/4”;Swagelok 1/8” 、1/4”;φ3、 φ6mm |
Enerģijas padeve | +15V,50mA;-15V,200mA |
Modelis | SQC-200 |
Plūsmas diapazoni (N2) | MFC: 0, 20, 30, 50, 100, 150, 200 SLM |
MFM: 0–20, 30, 50, 100, 150, 200, 250, 300 SLM | |
Precizitāte | ±2%FS |
Vārsta piedziņas veids | Normāls Slēgts |
Linearitāte | ±2%FS |
Atkārtojamība | ±0,2%FS |
Reakcijas laiks | ≤5 sek |
Ieejas/izejas signāls | 1~5V;4~20mA |
Elektriskais savienojums | DB15 tapa (adata) |
Operācija Temp. | 5~45℃ |
Diferenciālis Pre. | 0,1~0,3MPa (MFC); 0,05-3,0 MPa (MFM) |
Noplūdes ātrums | 1×10-8SCCS (Viņš) |
Maks.Spiediens | 3 MPa |
Vidējs materiāls | 316L SS un blīvējuma materiāls |
Blīvējuma materiāls | Vitons, silikona gumija, NBR, ERP, teflons |
Locītavas izmērs | Swagelok 3/8" 、 1/2"; φ8 、φ10, φ12 mm |
Enerģijas padeve | 24V,0,5A |
Uzrakstiet savu ziņu šeit un nosūtiet to mums