Paompy matetika ampiasaina amin'ny rafitra banga avo indrindra

I. Paompy mekanika
Ny tena asan'ny paompy mekanika dia ny manome ny banga alohan'ny dingana ilaina amin'ny fanombohana ny paompy turbomolecular.Ny paompy mekanika ampiasaina matetika dia ahitana paompy maina vortex, paompy diaphragm ary paompy mekanika voaisy tombo-kase.
Ny paompy diaphragm dia manana hafainganam-pandeha ambany ary matetika ampiasaina amin'ny paompy molekiola kely noho ny habe kely.
Ny paompy mekanika voaisy tombo-kase amin'ny menaka no paompy mekanika be mpampiasa indrindra taloha, miavaka amin'ny hafainganam-pandehan'ny paompy lehibe sy ny banga farany tsara, ny tsy fahampiana dia ny fisian'ny fiverenan'ny solika amin'ny ankapobeny, amin'ny rafitra banga avo lenta amin'ny ankapobeny dia mila fitaovana amin'ny valva solenoid. (ho fisorohana ny tsy fahombiazan'ny herinaratra vokatry ny fiverenan'ny solika) sy ny sivana molekiola (vokatry ny adsorption).
Tao anatin'ny taona vitsivitsy, ny bebe kokoa ampiasaina dia ny horonan-taratasy maina paompy.Ny tombony dia tsotra ny fampiasana ary tsy miverina amin'ny menaka, fotsiny ny pumping hafainganam-pandeha sy ny banga farany dia somary ratsy kokoa noho ny menaka-voaisy tombo-kase mekanika paompy.
Ny paompy mekanika dia loharanon'ny tabataba sy fihovitrovitra ao amin'ny laboratoara ary tsara kokoa ny misafidy paompy misy feo ambany ary mametraka izany eo anelanelan'ny fitaovana raha azo atao, fa ny farany dia matetika tsy mora tratrarina noho ny famerana ny elanelana miasa.
II.Paompy turbomolecular
Ny paompy molekiola turbo dia miantehitra amin'ny vane mihodinkodina haingana (matetika manodidina ny 1000 revolisiona isa-minitra) mba hahatratrarana ny fikorianan'ny entona.Ny tahan'ny fanerena entin'ny paompy amin'ny fanerena miditra dia antsoina hoe ratio de compression.Ny tahan'ny compression dia mifandraika amin'ny isan'ny dingana amin'ny paompy, ny hafainganam-pandeha sy ny karazana entona, ny lanjan'ny molekiola ankapobeny amin'ny famatrarana entona dia somary avo.Ny banga farany amin'ny paompy turbomolecular dia heverina ho 10-9-10-10 mbar amin'ny ankapobeny, ary tato anatin'ny taona vitsivitsy, miaraka amin'ny fandrosoana mitohy amin'ny teknolojia paompy molekiola, dia nohatsaraina bebe kokoa ny banga farany.
Satria ny tombony azo avy amin'ny paompy turbomolecular dia tsy hita afa-tsy amin'ny toe-javatra mikoriana molekiola (fanjakana mikoriana izay ny salan'isa maimaim-poana amin'ny molekiola entona dia lehibe lavitra noho ny habeny ambony indrindra amin'ny fizaràna fantsona), ny paompy banga mialoha ny dingana. miaraka amin'ny fanerena miasa 1 ka hatramin'ny 10-2 Pa dia ilaina.Noho ny hafainganam-pandehan'ny fihodinana avo lenta, ny paompy molekiola dia mety ho simba na simba noho ny zavatra vahiny, jitter, fiantraikany, resonance na fahatafintohinana entona.Ho an'ireo vao manomboka, ny antony mahazatra indrindra amin'ny fahasimbana dia ny fahatafintohinana entona vokatry ny fahadisoana amin'ny fiasana.Ny fahasimban'ny paompy molekiola dia mety ho vokatry ny resonance ateraky ny paompy mekanika.Tsy fahita firy io toe-javatra io saingy mila fitandremana manokana satria mamitaka kokoa ary tsy mora tsikaritra.

III.Paompy ion sputtering
Ny fitsipiky ny fiasan'ny paompy ion sputtering dia ny fampiasana ny ion vokarin'ny fivoahan'ny Penning mba handrara ny takelaka titane amin'ny cathode mba hamoronana sarimihetsika titane vaovao, noho izany dia misoroka ny entona mavitrika ary misy fiantraikany amin'ny fandevenana ny gazy tsy misy dikany. .Ny tombony amin'ny paompy ion sputtering dia banga farany tsara, tsy misy vibration, tsy misy tabataba, tsy misy loto, dingana matotra sy maharitra, tsy misy fikojakojana ary mitovy amin'ny hafainganam-pandehan'ny paompy (afa-tsy ny gazy inert), ny vidiny dia ambany kokoa noho ny paompy molekiola, izay mahatonga azy ireo ho be mpampiasa indrindra amin'ny rafitra banga avo lenta.Matetika ny tsingerin'ny fiasan'ny sputtering ion paompy dia mihoatra ny 10 taona.
Amin'ny ankapobeny dia mila mihoatra ny 10-7 mbar ny paompy ion mba hiasa araka ny tokony ho izy (mihena be ny androm-piainany raha miasa amin'ny banga ratsy kokoa) ary noho izany dia mitaky paompy molekiola mba hanomezana banga mialoha ny dingana.Fanao mahazatra ny mampiasa paompy ion + TSP ao amin'ny efitrano lehibe ary paompy molekiola kely napetraka ao amin'ny efitrano fidirana.Rehefa manamboatra, sokafy ny valva fampidirana mifandray ary avelao ny paompy molekiola kely napetraka hanome ny banga eo anoloana.
Marihina fa ny paompy ion dia tsy mahavita mi-adsorption amin'ny gazy inert ary ny hafainganam-pandehan'ny paompy ambony indrindra dia tsy mitovy amin'ny an'ny paompy molekiola, hany ka ho an'ny fatran'ny entona mivoaka be na ny entona inert be dia ilaina ny fametrahana paompy molekiola.Ankoatr'izay, ny paompy ion dia miteraka saha elektromagnetika mandritra ny fandidiana, izay mety hanelingelina ny rafitra saro-pady indrindra.
IV.Titanium sublimation paompy
Ny paompy sublimation titanium dia miasa amin'ny alàlan'ny fiankinan-doha amin'ny etona ny titane metaly mba hamorona sarimihetsika titane eo amin'ny rindrin'ny efitrano ho an'ny chemisorption.Ny tombony amin'ny titane sublimation paompy dia tsotra fanorenana, vidiny ambany, mora fikojakojana, tsy misy taratra sy tsy misy vibration tabataba.
Ny paompy sublimation titanium dia matetika misy filamenta titane 3 (mba hisorohana ny fandoroana) ary ampiasaina miaraka amin'ny paompy molekiola na ion mba hanomezana fanalana hidrôzenina tsara.Izy ireo no paompy banga manan-danja indrindra ao amin'ny faritra 10-9-10-11 mbar ary apetraka amin'ny ankamaroan'ny efitrano banga avo indrindra izay ilana ny haavon'ny banga.
Ny tsy fahampian'ny titane sublimation paompy dia ny filàna tsy tapaka sputtering ny titane, ny banga miharatsy amin'ny tokony ho 1-2 baiko ny habeny mandritra ny sputtering (ao anatin'ny minitra vitsy), noho izany ny efitra sasany amin'ny filana manokana mitaky ny fampiasana NEG.koa, ho an'ny santionany / fitaovana saro-pady titane, dia tokony hotandremana mba hisorohana ny toerana misy ny paompy sublimation titane.
V. Cryogenic paompy
Ny paompy cryogenic dia miantehitra indrindra amin'ny adsorption ara-batana amin'ny hafanana ambany mba hahazoana vacuum, miaraka amin'ny tombony amin'ny hafainganam-pandehan'ny pumping, tsy misy loto ary banga farany ambony.Ny antony lehibe misy fiantraikany amin'ny hafainganam-pandehan'ny paompy cryogenic dia ny mari-pana sy ny velaran'ny paompy.Amin'ny rafitra epitaxy beam molekiola lehibe, ny paompy cryogenic dia ampiasaina betsaka noho ny fitakiana banga farany ambony.
Ny tsy fahampian'ny paompy cryogenic dia ny fanjifana avo lenta amin'ny azota ranon-javatra sy ny fandaniana avo lenta.Ny rafitra misy chiller miverimberina dia azo ampiasaina nefa tsy mandany azota ranon-javatra, fa izany dia mitondra olana mifandraika amin'ny fanjifana angovo, vibration ary tabataba.Noho izany antony izany, ny paompy cryogenic dia tsy dia ampiasaina matetika amin'ny fitaovana laboratoara mahazatra.
VI.Paompy aspirator (NEG)
Suction agent paompy dia iray amin'ireo be mpampiasa kokoa vacuum paompy tato anatin'ny taona vitsivitsy, ny tombony dia ny fampiasana tanteraka ny simika adsorption, tsy misy etona plating sy electromagnetic loto, matetika ampiasaina miaraka amin'ny molekiola paompy haka ny titane sublimation paompy sy sputtering ion. paompy, ny fatiantoka dia ny lafo vidy sy voafetra ny isan'ny regenerations, matetika ampiasaina amin'ny rafitra manana fepetra avo ho an'ny banga fahamarinan-toerana na tena saro-pady amin'ny electromagnetic saha.
Ankoatr'izay, satria ny paompy aspirator dia tsy mitaky fifandraisana famatsiana herinaratra fanampiny ankoatra ny fampahavitrihana voalohany, dia matetika izy io no ampiasaina amin'ny rafitra lehibe ho toy ny paompy fanampiny mba hampitombo ny hafainganam-pandehan'ny pumping sy hanatsara ny haavon'ny vacuum, izay afaka manamora ny rafitra.

Figure: Fanerena miasa ho an'ny karazana paompy samihafa.Ny zana-tsipìka volontsôkôlà dia mampiseho ny haavon'ny fanerena miasa ambony indrindra azo atao ary ny ampahany maitso matevina dia mampiseho ny fanerena miasa mahazatra.