Te Matauranga – Vacuum Valves

I. Introduction of valve
Ko te waahana korehau he waahanga o te punaha ka whakamahia hei whakarereke i te ahunga o te rere o te hau, te whakatika i te rahi o te rere hau, te tapahi, te hono ranei i te paipa i roto i te punaha korehau.Ko nga waahanga kati o te waahi korehau ka hirihia e te hiri hiri, te hiri whakarewa ranei.

II.Nga tono takirere korehau noa.
Marere korehau
Ka whakamahia i roto i nga taputapu punaha hiko teitei, ultra-tiketike ranei i te wa me mau tonu te korehau i roto i te punaha whakahaere kati.Ka whakamahia nga maru maru hei whakahaere i te rere o te hau ki roto i te ruma korehau, te wehe, te hau, te whakaiti i te pehanga, te whakahaere whakahaere ranei.Ko nga marere o te keeti, nga reera raina me nga koki koki nga momo maru korehau e whakamahia ana mo nga tono korehau teitei, ultra-tiketike ranei.Ko etahi atu momo takirere he rererererere, marere whakawhiti, maera poi, maera tira, maera whakarewa-katoa, maera marua, maera koki konumohe, maera marua kua pania ki a Teflon me nga maera tika-tika.

Rererenga marere
he marere tuwhera tere kei roto i nga kopae whakarewa, i nga whaera ranei e pivoting ana i nga koki matau ki te ahunga o te rere i roto i te paipa, a ka huri ki runga i o raatau tuaka, ka hiritia e te takirere te nohoanga i roto i te tinana takirere.

Marere whakawhiti (rereke kuaha tapawhā)
Ko nga waahi wehewehe e tika ana mo te whakamahi i waenga i nga ruma korehau kua maukati me nga ruma whakawhiti, i waenga i nga ruma whakawhiti me nga ruma tukatuka i roto i nga taputapu hangahanga semiconductor.

Pourere Poi Korehau
he hauwhā huri totika marere rere me te hui katinga porohita me nga nohoanga porohita rite mo te ahotea hiri rite.

Takirua takirere
he reera kateretere nui e whakauruhia ana i waenga i te ruuma korehau o te tukanga me te kokoru papu turbomolecular.Ko enei reera pendulum korehau he mea hangaia hei kuaha, pendulum ranei mo nga tono tae atu ki te OLED, FPD me nga punaha hangahanga ahumahi PV.

Takiwa whakarewa-katoa
I hoahoatia mo te whakamahi i roto i nga taiao korehau ultra-tiketike kaore e taea e te pāmahana teitei te whakamahi i nga elastomers me nga konganuku tangihanga cryogenic.Ka taea e nga maera whakarewa-katoa te tunu i te hiri o te pāmahana teitei mai i te pehanga hau ki raro i te 10-11 mbar.

Marere korehau
He pai te whakahaere i roto i nga punaha whakaputa semiconductor me nga tono ki te matū me te parapara matūriki.Ka taea te whakamahi i roto i te korehau taratara, te marua teitei me nga taiao korehau ultra-tiketike.

Marere koki konumohe
Ko te kuhu me te putanga o enei maru he koki tika tetahi ki tetahi.Ko enei koki koki he mea hanga mai i te konumohe A6061-T6 ka whakamahia i roto i te hangahanga semiconductor me te hanga taputapu, R&D me nga punaha miihini ahumahi mo nga tono maamaa ki te teitei.

Ko Teflon kua whakakikoruatia he taputapu mokowai kowiri tira i hangaia me te paninga roa me te tino matū.

III.Nga ahuatanga o nga marere korehau.
Ko te pehanga kei raro iho i te pehanga hau me te heke o te pehanga puta noa i te papa takirere e kore e neke ake i te 1 kg te kaha/cm.Ko te pāmahana mahi o te reo ka whakawhirinaki ki te tukanga o te taputapu i whakamahia.Ko te pāmahana te tikanga e kore e nui ake i te awhe o -70 ~ 150°C.Ko te mea tino nui mo enei riipene ko te whakarite kia kaha te piri o te hononga me te mato o te hanganga me nga taonga gasket.

E ai ki te reo pehanga korehau vaolo e taea te wehea ki wha nga roopu.
1) He iti nga maru maru: te pehanga reo p=760~1 mmHg.
2）Waenga maru maru: p=1×10-3 mmHg.
3）Marewha teitei: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4）Waea korehau tino teitei: p≤1×10-8 mmHg.

I te mea he takirere katia he iti iho i te 250 mm te diameter o te waahanga, ko te kakau e whakamahia nuitia ana ko te kopa korehau kati-atu me te nekehanga raina.Heoi, he iti ake te here o nga mapuni kuaha, engari ko te nuinga tenei mo nga diameter nui.Kei te watea ano he marere mono porowhita (waea paoro), marere pupuhi me nga marere rerehua.Kare ano i whakatairangahia nga maataki mo nga reera korehau na te mea e hiahia ana kia whakahinuhinu hinu, kia uru atu ai te kohu hinu ki roto i te punaha korehau, kaore e whakaaetia.Ka taea te whakahaere ma te ringa me te mamao i roto i te mara, me te hiko, te hiko (solenoid valves), te pneumatically me te hydraulically.