Контролерите за проток на маса (MFC) обезбедуваат прецизно мерење и контрола на протокот на маса на гасови.
I. Која е разликата помеѓу MFC и MFM?
Мерач на масен проток (MFM) е еден вид инструмент кој точно го мери протокот на гас, а неговата мерна вредност не е неточна поради флуктуации на температурата или притисокот и не бара компензација на температурата и притисокот. Контролорот за проток на маса (MFC) не само има функција на мерач на проток на маса, но уште поважно, може автоматски да го контролира протокот на гас, односно корисникот може да го постави протокот според неговите потреби, а MFC автоматски го одржува протокот константен на поставената вредност, дури и ако притисокот на системот Флуктуациите или промените на температурата на околината нема да предизвикаат отстапување од поставената вредност.Контролорот за масовен проток е уред за постојан проток, кој е уред за постојан проток на гас што може рачно да се постави или автоматски да се контролира со поврзување со компјутер.Мерачите на масовниот проток само мерат, но не контролираат.Контролорот за масовен проток има контролен вентил, кој може и да го мери и контролира протокот на гас.
II.Каква е структурата ипринцип на работа?
1, Структура
2, Принцип на работа
Кога протокот влегува во доводната цевка, поголемиот дел од протокот поминува низ каналот за пренасочување, од кој мал дел влегува во капиларната цевка во внатрешноста на сензорот.Поради посебната структура на
каналот за пренасочување, двата дела на протокот на гас може да бидат директно пропорционални.Сензорот е претходно загреан и загреан, а температурата внатре е повисока од температурата на влезниот воздух.Во тоа време, протокот на маса на малиот дел од гасот се мери со принципот на пренос на топлина преку капиларната цевка и принципот на калориметрија на температурна разлика.Протокот на гас измерен на овој начин може да ги игнорира ефектите на температурата и притисокот.Сигналот за мерење на протокот што го детектира сензорот се внесува во таблата на колото и се засилува и излегува, а функцијата на MFM е завршена.Додавање на функцијата за автоматска контрола со затворена јамка PID на плочката на колото, споредете го сигналот за мерење на протокот измерен од сензорот со поставениот сигнал даден од корисникот.Врз основа на ова, контролниот вентил се контролира така што сигналот за откривање проток е еднаков на поставениот сигнал, со што се реализира функцијата на MFC.
III.Апликации и карактеристики.
MFC, кој е широко применет во областите како што се: производство на полупроводници и ИЦ, наука за специјални материјали, хемиска индустрија, нафтена индустрија, фармацевтска индустрија, заштита на животната средина и истражување на вакуумски системи, итн. Типичните апликации вклучуваат: микроелектронска процесна опрема како што е дифузија , оксидација, епитаксија, CVD, плазма офорт, распрскување, имплантација на јони;опрема за вакуум таложење, топење на оптички влакна, опрема за микрореакција, систем за мешање и усогласување на гас, систем за контрола на капиларен проток, гасен хроматограф и други аналитички инструменти.
MFC носи висока точност, одлична повторливост, брз одговор, мек старт, подобра доверливост, широк опсег на работен притисок (добра работа во ситуации со висок притисок и вакуум), едноставно практично ракување, флексибилна инсталација, можно поврзување со компјутер за автоматско извршување контрола на системот на корисниците.
IV.Како да се утврди и да се справи со fневолји?
Нашата компанија има професионален инженер по продажба, може да ви помогне да ги решите проблемите при инсталација и употреба.
Време на објавување: 29 јули 2022 година