Знаење – Вакуумски вентили

I. Воведување на вентил
Вакуумскиот вентил е компонента на вакуумскиот систем што се користи за промена на насоката на протокот на воздух, прилагодување на големината на протокот на гас, прекинување или поврзување на цевководот во вакуумскиот систем.Деловите за затворање на вакуумскиот вентил се запечатени со гумена заптивка или метална заптивка.

II.Вообичаени апликации за вакуумски вентили.
Вакуумски вентили
Се користи во системска опрема со висок или ултра висок вакуум кога вакуумот мора да се одржува во затворен систем за ракување со вакуум.Вакуумските вентили се користат за контрола на протокот на воздух во вакуумската комора, изолација, вентилација, обезбедување намалување на притисокот или контрола на спроводливоста.Вратите вентили, внатрешните вентили и аголните вентили се најчестите типови на вакуумски вентили што се користат за апликации со висок или ултра-висок вакуум.Дополнителни типови вентили вклучуваат вентили со пеперутка, преносни вентили, топчести вентили, вентили со нишало, целосно метални вентили, вакуумски вентили, алуминиумски аголни вентили, тефлон-обложени вакуумски вентили и вентили директно.

Вентили за пеперутка
се вентили за брзо отворање кои се состојат од метални дискови или лопатки кои се вртат под прав агол во однос на насоката на проток во цевководот и кога се ротираат на нивната оска, вентилот го запечатува седиштето во телото на вентилот.

Вентили за пренос (правоаголни вентили)
Вентили за раздвојување погодни за употреба помеѓу вакуумските комори со оптоварување и преносните комори, и помеѓу комори за пренос и комори за обработка во опремата за производство на полупроводници.

Вакуум топчести вентили
се вентили со праволиниски проток од четвртина вртење со кружен склоп за затворање со соодветни кружни седишта за рамномерно напрегање на запечатувањето.

Вентили со нишало
е голем вентил за гас поставен помеѓу процесната вакуумска комора и влезот на турбомолекуларната пумпа.Овие вакуумски нишални вентили обично се дизајнирани како вентили за порти или нишало за апликации вклучувајќи OLED, FPD и PV индустриски системи за производство.

Целосно метални вентили
Дизајниран за употреба во средини со ултра висок вакуум каде што високите температури не дозволуваат употреба на еластомери и криогени заптивки метали.Целосно металните вентили за печење обезбедуваат сигурно запечатување на висока температура од атмосферски притисок до под 10-11 mbar.

Вакуумски вентили
Работете сигурно во системи за производство на полупроводници и во апликации со хемиска и контаминација со честички.Тие можат да се користат во груб вакуум, висок вакуум или ултра-висок вакуум средини.

Алуминиумски аголни вентили
Влезот и излезот на овие вентили се под прав агол еден на друг.Овие аголни вентили се направени од алуминиум A6061-T6 и се користат во производството на полупроводници и инструменти, R&D и индустриски вакуумски системи за груби до високи вакуумски апликации.

Вакуумскиот вентил обложен со тефлон е целосно дизајниран уред за вакуумска компонента од нерѓосувачки челик со издржлив и високо хемиски отпорен слој.

III.Карактеристики на вакуумски вентили.
Притисокот е под атмосферскиот притисок и падот на притисокот преку вратичката на вентилот не може да надмине 1 kg сила/cm.Работната температура на медиумот зависи од процесот на употребениот уред.Температурата генерално не го надминува опсегот од -70 ~ 150°C.Најосновниот услов за такви вентили е да се обезбеди висок степен на затегнатост на врската и густина на структурата и материјалот на заптивките.

Според среден притисок вакуум вентили може да се подели во четири групи.
1) Вентили со низок вакуум: среден притисок p=760~1 mmHg.
2）Средни вакуумски вентили: p=1×10-3 mmHg.
3）Вентили со висок вакуум: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4) Ултра-висок вакуумски вентил: p≤1×10-8 mmHg.

Како затворен вентил со дијаметар на премин помал од 250 mm, широко користеното стебло е вентил за затворање со вакуумски мев со линеарно движење.Сепак, вентилите на портата се поограничени, но ова е главно за големи дијаметри.Достапни се и сферични приклучни вентили (топчести вентили), вентили со клип и вентили со пеперутка.Приклучните вентили за вакуумски вентили не се промовирани бидејќи бараат подмачкување на маслото, што овозможува пареата од маслото да влезе во вакуумскиот систем, што не е дозволено.Вакуумските вентили може да се контролираат рачно и далечински на терен, како и електрично, електромагнетно (магнетни вентили), пневматски и хидраулични.