Beijing Super Q Technology Co., Ltd. има молекуларни пумпи со сложени 600L, 1200L, 1600L, подмачкани со масло од сериите EV и молекуларни пумпи од типот турбина од 3600L;Комбинирани молекуларни пумпи од 300L, 650L, 1300L, 2000L подмачкани со маснотии.Оваа статија се фокусира на објаснување на карактеристиките, инсталацијата, употребата и одржувањето на молекуларните пумпи за подмачкување со маснотии од серијата EV-Z.
Карактеристики на структурата
Молекуларната пумпа за маснотии од серијата EV усвојува увезени прецизни керамички лежишта, роторот на пумпата преку динамична рамнотежа, стабилна и сигурна работа, трифазен мотор со кафез на моторна верверица, подмачкување на лежиштата со подмачкување со маснотии, може да се монтира во која било ориентација.
инсталација и употреба
I. За крајниот притисок
„Крајниот притисок“ на молекуларната пумпа се заснова на меѓународниот ISO стандард „Метод на тестирање за изведба на турбомолекуларни пумпи“, По целосно печење на телото на пумпата и капакот за тестирање (48 часа сушење и дегасирање), најнискиот притисок измерен при наведената положба на капакот за тестирање.вредност на притисокот.Во вистинска употреба, вредноста на „граничниот притисок“ е поврзана со работниот притисок и ефективната брзина на пумпање на конфигурираната потпорна пумпа.Изборот на потпорна пумпа со повисоки перформанси е многу корисен за да се добие поголем вакуум и да се намали времето на издувни гасови.
Покрај тоа, поради особеноста на принципот на издувни гасови на молекуларната пумпа, потребно е влезот на воздухот на пумпата да биде што е можно поширок, а патеката на гасот од вакуумската комора до отворот на молекуларната пумпа треба да избегнува вртење колку што е можно повеќе. можно, за да се постигне најдобрата ефикасност на молекуларната пумпа и загарантиран повисок краен вакуум.
II.Инсталација
2.1 Отворете го Пакетот
Пред инсталацијата, проверете дали молекуларната пумпа е оштетена при транспорт.
Методот е следен: погледнете ги упатствата за напојување на молекуларната пумпа, поврзете ја правилно со молекуларната пумпа, не треба да поминувате вода или вакум, вклучете ја молекуларната пумпа и проверете дали работи и дали има ненормален звук.Ако има некаква абнормалност, притиснете го прекинувачот за стоп навреме за да ја запрете пумпата.Забелешка: Фреквенцијата на напојувањето не треба да биде поголема од 25 Hz за време на пробната работа
2.2 Поврзување на прирабницата со висок вакуум
Поврзувањето на молекуларната пумпа може да се подигне со прирабница со висок вакуум или да се фиксира на основата.Молекуларната пумпа мора да биде фиксирана кога прирабницата со висок вакуум на молекуларната пумпа е поврзана со системот преку метален мев.
(Површината за заптивање на прирабницата нема гребнатини и нема да има ништо на заптивниот прстен)
2.3 Вакуумска врска со предна линија
Помеѓу предната пумпа и молекуларната пумпа треба да се инсталира изолациски и вентил за вентилација за да се спречи механичката пумпа да го враќа маслото по исклучувањето.
2.4 Поврзување на уредот за полнење гас
Со цел да се има чиста вакуумска средина, откако ќе се запре молекуларната пумпа, системот за вакуум може да се наполни со азот или сув воздух.Општо земено, вентилот за вентилација може да се поврзе со цевководот од предната фаза или може да се користи вентил со висок вакуум за да се испушти гасот на крајот со висок вакуум.
III.Поврзување на ладењето
Поради брзото ротирачко триење на лежиштето, загревањето на телото на пумпата и зголемувањето на температурата на моторот, лежиштето и моторот мора да се изладат кога работи молекуларната пумпа.Генерално се користи воздушно ладење, а водено ладење се користи кога температурата на околината е повисока од 38°C.Цевката за мека вода со надворешен дијаметар од 10mm може директно да се поврзе со влезот и излезот на вода од молекуларната пумпа.Се користи циркулирачки систем за вода со чиста вода, а може да се користи и вода од чешма со мали врнежи (температурата на водата мора да биде ≤28°C).
Случајното запирање на водата или високата температура на водата ќе го натераат сензорот за температура на телото на молекуларната пумпа да дејствува, а напојувањето веднаш ќе алармира и ќе го запре излезот.
Има интервал од околу 15 минути (конкретното време зависи од стапката на пораст на температурата) по неочекуваното запирање на водата или температурата на водата е превисока додека молекуларната пумпа не алармира поради прегревање.
IV.Печење
Крајниот притисок зависи од чистотата на внатрешноста на пумпата и патеката за вакуум вклучувајќи ја и вакуумската комора.За да се добие крајниот притисок за најкратко време, мора да се испечат вакуумскиот систем и молекуларната пумпа.Печењето треба да се врши со нормално функционирање на молекуларната пумпа.
Температурата на печење на молекуларната пумпа треба да биде пониска од 80°C, прирабницата со висок вакуум поврзан со портата на пумпата не треба да биде повисока од 120°C, а температурата на печење на вакуумскиот систем е генерално помала од 300°C.на штета.
Времето на печење зависи од степенот на загаденост на системот и молекуларната пумпа и очекуваниот граничен работен притисок, но минималното време не треба да биде помало од 4 часа.
За добивање на вакуум од 10-4Pa, во принцип, не е потребно печење;за добивање на вакуум од 10-5Pa, доволно е само печење на самиот вакуум систем;за да се добие ултра висок вакуум, вакуумскиот систем и молекуларната пумпа обично треба да се испечат истовремено.Мерниот систем треба да биде целосно испечен, во спротивно тоа ќе влијае на точноста на мерните податоци поради неговото испразнување.
V.Операција
Потврдете дека предвакуумот е подобар од 15Pa, притиснете го копчето RON за да ја вклучите молекуларната пумпа и притиснете го копчето STOP за да престане по употребата.Внимание!Копчето за меко стартување мора да се користи за прва употреба или повторно да се употреби по долготрајна употреба во мирување.Операцијата за меко стартување е како што следува: вакуумот во тековната фаза е подобар од 15 Pa и копчето за меко стартување е притиснато.По 110 минути, молекуларната пумпа ја достигнува работната фреквенција од 550 Hz (550 Hz одговара на молекуларната пумпа EV300Z, 400 Hz што одговара на EV650Z, 1300Z, 2000 молекуларна пумпа), потоа притиснете го мекото копче за стартување (клучот е горе) за да го запрете мекото почеток.
(За време на нормална работа на молекуларната пумпа, забрането е носење, движење или полнење со воздух.)
VI.Одржување и поправка
6.1 Чистење на пумпата
Кога истекувањето на воздухот и стапката на десорпција на системот за вакуум не се менуваат, а перформансите на вакуумот не можат да се обноват дури и по долго време на печење или кога задната пумпа сериозно го враќа маслото, пумпата треба да се исчисти.
(Ако пумпата треба да се поправи и исчисти, мора да ја расклопат професионални техничари.Ако се расклопи без обука, последиците ќе бидат на ваш сопствен ризик.)
6.2 Замена на лежиштата
Бидејќи пумпата треба да биде избалансирана, лежиштето не може да го замени корисникот.
6.3 Заштита од удари
Молекуларната пумпа е ротирачка машина со голема брзина.Јазот помеѓу подвижната плоча и статичката плоча е многу мал и не може да издржи прекумерно влијание.Брзината и забрзувањето на подвижниот носач во контакт со него треба да бидат ограничени.Покрај тоа, ненадејното влијание на атмосферскиот волумен и падот на надворешните тврди предмети за време на нормалното функционирање на молекуларната пумпа, исто така, ќе предизвикаат сериозно оштетување на молекуларната пумпа.
6.4 Изолација на вибрации
Обично, молекуларната пумпа е строго тестирана, а вибрациите се многу мали и може директно да се поврзат со системот за пумпање.За примена на инструменти со висока прецизност (како што се електронски микроскопи, итн.), се препорачува да се користат изолатори на вибрации за да се минимизира влијанието на вибрациите врз инструментот.
6.5 Силно заштитно магнетно поле
Ротирачкиот ротор генерира виртуелна струја во магнетното поле, што ќе предизвика загревање на роторот.Бидејќи топлината ќе ја ослаби јачината на алуминиумскиот материјал, примената на молекуларната пумпа во магнетното поле е ограничена до одреден степен.
6.6 електромагнетни пречки
Одредени инструменти со висока фреквенција, како што се молекуларните пумпи и фреквентните конвертори, може да предизвикаат електромагнетни пречки во околината.Но, во случај на исполнување на меѓународните стандарди, примената на молекуларните пумпи нема да биде ограничена.Доколку се исполнети барањата, во исто време треба да се издадат соодветни сертификати.
6.7 Силно ограничување на радиоактивноста
Повеќето материјали ќе ги променат своите својства во силна радиоактивна средина, особено органските материјали (како што се маслото од молекуларна пумпа, запечатувачките прстени) и полупроводничките компоненти.Молекуларната пумпа може да одолее на интензитетот на зрачење од 105 rad.Со избирање на анти-радиоактивни материјали и користење на напојување со мотор, може да се подобри јачината против зрачење.Кога се пумпа тритиум, за да се спречи радиоактивниот елемент тритиум да излезе во атмосферата, сите запечатувачки прстени во молекуларната пумпа мора да бидат направени од метални материјали
6.8 Пумпа за предна линија
На крајот под висок притисок на кривата на перформансите на молекуларната пумпа, влезниот притисок се движи од околу 200 Pa до 10-1 Pa, опфаќајќи три реда на големина.Просечната слободна патека на молекулите на гасот станува помала, а ефектот на пумпање почнува да се влошува.Затоа, во преодната зона, колку е поголема употребата на потпорната пумпа, толку е поголема брзината на пумпање на молекуларната пумпа.Пумпата на предната линија треба да биде најмалку 3 L/S минимум.
Вообичаени грешки и решавање проблеми
Молекуларната пумпа подмачкана со маснотии од серијата EV-Z е механичка вакуумска пумпа која го реализира извлекувањето на воздухот преку релативно голема брзина ротација на повеќестепените динамички и статични сечила на турбината.Турбомолекуларната пумпа има карактеристики на висока брзина на пумпање и висок сооднос на компресија во регионот на молекуларниот проток и е повеќе заштеда на енергија од пумпата за дифузија и нема загадување со масло и пареа.Молекуларната пумпа подмачкана со маснотии од серијата EV е молекуларна пумпа со најголема брзина на пумпање од 100 калибри во Кина.
Оваа молекуларна пумпа нема селективност и нема мемориски ефект врз гасот што треба да се пумпа.Поради високиот однос на компресија на гасот со голема молекуларна тежина, пумпата може да добие чист висок вакуум и ултра-висок вакуум без ладни стапици и прегради за масло..Широко се користи во различни области на електрониката, металургијата, хемиската индустрија, научните истражувања и вакуумската технологија.
Време на објавување: јули-01-2022 година