മാസ് ഫ്ലോ കൺട്രോളർ മാസ് ഫ്ലോ മീറ്റർ CS200
ഫീച്ചറുകൾ
1. ഉയർന്ന കൃത്യതയും വേഗത്തിലുള്ള പ്രതികരണവും
CS200 MFC-യുടെ കൃത്യത SP-യുടെ ±1.0% ആയി മെച്ചപ്പെടുത്തി, ഏറ്റവും നൂതന മോഡലുകൾക്ക് 0.8 സെക്കൻഡിൽ താഴെ പ്രതികരണ സമയം ഉണ്ട്.
2. ലോ സീറോ ഡ്രിഫ്റ്റ് ആൻഡ് ടെമ്പറേച്ചർ കോഫിഫിഷ്യന്റ്
പുതിയ സെൻസർ സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ കണ്ടുപിടിത്തം CS200 MFC-യെ സ്ഥിരത നിലനിർത്താനും താപനിലയിലെ ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകളെ ചെറുക്കാനും പ്രാപ്തമാക്കുന്നു.ഒരു ഓട്ടോ-സീറോ ആംപ്ലിഫയർ ഇല്ലെങ്കിൽ, പ്രതീക്ഷിക്കുന്ന സീറോ ഡ്രിഫ്റ്റ് പ്രതിവർഷം 0.6% FS-ൽ കുറവാണ്, കൂടാതെ താപനില ഗുണകം 0.02%FS/℃(പൂജ്യം), 0.05%FS/ ℃ (span)-ൽ കുറവാണ്.
3. മെറ്റൽ സീൽ ചെയ്ത മോഡലുകളും ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി ഫീച്ചറും
CS200 MFC-യുടെ നനഞ്ഞ ഒഴുക്ക് പാത ഉപരിതല-പാസിവേറ്റഡ് സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീലിൽ നിന്നാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്.എല്ലാ CS200 MFC-കളും SEMI, ISO 9001 മാനദണ്ഡങ്ങൾക്കനുസൃതമായി സെവൻസ്റ്റാറിന്റെ അൾട്രാക്ലീൻ ക്ലാസ് 100-ക്ലാസ് ക്ലീൻറൂമുകളിൽ കൂട്ടിച്ചേർക്കപ്പെടുന്നു.
4. അനുയോജ്യമായ ഇന്റർഫേസുകൾ
CS200 MFC ഇനിപ്പറയുന്ന ഇന്റർഫേസുകളുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്നു, അത് ഉപഭോക്താവിന് തിരഞ്ഞെടുക്കാം: ±8V-±16V ഇരട്ട-എൻഡ് പവർ സപ്ലൈയും +14V-+28V സിംഗിൾ-എൻഡ് പവർ സപ്ലൈയും;ഡിജിറ്റൽ അല്ലെങ്കിൽ അനലോഗ് സിഗ്നൽ ഇൻപുട്ടും ഔട്ട്പുട്ടും;SEMI സ്റ്റാൻഡേർഡ് മെക്കാനിക്കൽ അളവുകൾ;കൂടാതെ RS-485 അല്ലെങ്കിൽ DeviceNet കമ്മ്യൂണിക്കേഷൻസ് മൊഡ്യൂൾ.
5. വിവിധ പ്രവർത്തനങ്ങൾ
ശക്തമായ ഉപഭോക്തൃ സോഫ്‌റ്റ്‌വെയർ ഓരോ മോഡലിലും സ്റ്റാൻഡേർഡ് ആയി വരുന്നു, അതേസമയം മൾട്ടി-ഗ്യാസ്, മൾട്ടി-റേഞ്ച്, ഓട്ടോ-സീറോ, അലാറങ്ങൾ, സോഫ്റ്റ് സ്റ്റാർട്ട്, കാലതാമസം തുടങ്ങിയ അധിക ഫംഗ്‌ഷനുകൾ ഉപഭോക്തൃ തിരഞ്ഞെടുപ്പുകളായി ലഭ്യമാണ്.
സ്പെസിഫിക്കേഷൻ
| CS200 | |||||||
| ടൈപ്പ് ചെയ്യുക | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| പൂർണ്ണ തോതിലുള്ള ശ്രേണി (N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0～1,2,3,5,10,20,30)എസ്.എൽ.എം | ||||||
| കൃത്യത | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| രേഖീയത | ± 0.5% FS | ||||||
| ആവർത്തനക്ഷമത | ± 0.2% FS | ||||||
| പ്രതികരണ സമയം | ≤1സെക്കൻഡ് | ≤0.8 സെക്കന്റ് (SEMI E17-0600) | |||||
| വാൽവ് വിശ്രമ സ്ഥാനം | സാധാരണയായി അടച്ചിരിക്കുന്നു അല്ലെങ്കിൽ | വാൽവ് ഇല്ല | സാധാരണയായി അടച്ചിരിക്കുന്നു അല്ലെങ്കിൽ | വാൽവ് ഇല്ല | സാധാരണയായി അടച്ചിരിക്കുന്നു അല്ലെങ്കിൽ | വാൽവ് ഇല്ല | |
| സാധാരണയായി തുറക്കുക (100 sccm≤FS≤5 slm) | സാധാരണയായി തുറക്കുക (100 sccm≤FS≤5 slm) | സാധാരണയായി തുറക്കുക (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| ഡിഫറൻഷ്യൽ പ്രഷർ | 0.05～0.35MPa (ഫ്ലോ≤10slm) | ജ0.02MPa | (0.05～0.35) MPa (≤10slm) | ജ0.02MPa | (0.05～0.35) MPa (≤10slm) | ജ0.02MPa | |
| 0.1～0.35MPa (10slmFlow≤30slm) | (0.1～0.35) MPa (＞10slm) | (0.1～0.35) MPa (＞10slm) | |||||
| 0.2～0.45MPa (ഫ്ലോ＞30slm) | |||||||
| പരമാവധി പ്രവർത്തന സമ്മർദ്ദം | 0.45MPa | |||||
| താപനില | പൂജ്യം:≤±0.05% FS/℃; | പൂജ്യം:≤±0.02% FS/℃;സ്പാൻ:≤±0.05% FS/℃ | ||||
| ഗുണകം | സ്പാൻ: ≤±0.1% FS/℃(ഫ്ലോ≤30slm) | |||||
| സ്പാൻ: ≤±0.2% FS/℃(ഫ്ലോ>30slm) | ||||||
| പ്രൂഫ് പ്രഷർ | 3MPa (435pisg) | |||||
| സീറോ ഡ്രിഫ്റ്റ് | ജഓട്ടോസെറോ ഇല്ലാതെ പ്രതിവർഷം 0.6% FS | |||||
| ലീക്ക് സമഗ്രത | 1×10-9 atm·cc / സെക്കന്റ് He | 1×10-10atm·cc / സെക്കന്റ് He | ||||
| നനഞ്ഞ വസ്തുക്കൾ | വിറ്റോൺ; | ലോഹമോ?(സ്റ്റെയിൻലെസ്സ് സ്റ്റീൽ V/V, 5Ra) | ലോഹം | |||
| ഉപരിതല രസതന്ത്രം | —— | Cr/Fe അനുപാതം ＞2.0;CrO കനം 20 Angstroms | ||||
| ഉപരിതല ഫിനിഷ് | 25രാ | 10രാ | 25രാ | |||
| പ്രവർത്തന താപനില | (5℃ 45℃ | (0～50℃ | ||||
| ഇൻപുട്ട് സിഗ്നൽ | ഡിജിറ്റൽ: RS485 അല്ലെങ്കിൽ ProfiBus | N/A | ഡിജിറ്റൽ: RS485 അല്ലെങ്കിൽ ProfiBus അല്ലെങ്കിൽ DeviceNetTM | N/A | ഡിജിറ്റൽ:RS485 അല്ലെങ്കിൽ ProfiBus അല്ലെങ്കിൽ DeviceNetTM | N/A |
| അല്ലെങ്കിൽ DeviceNetTM | അനലോഗ്:(0～5)VDC അല്ലെങ്കിൽ (4～20)mA അല്ലെങ്കിൽ (0～20)mA | അനലോഗ്:(0～5)VDC അല്ലെങ്കിൽ (4～20)mA?or (0～20)mA | |||||
| അനലോഗ്:(0～5)VDC അല്ലെങ്കിൽ (4～20)mA അല്ലെങ്കിൽ(0～20)mA | |||||||
| ഔട്ട്പുട്ട് സിഗ്നൽ | ഡിജിറ്റൽ: RS485 അല്ലെങ്കിൽ DeviceNetTM അല്ലെങ്കിൽ ProfiBus അനലോഗ്:(0～5)VDC അല്ലെങ്കിൽ (4～20)mA അല്ലെങ്കിൽ (0～20)mA | ||||||
| വൈദ്യുതി വിതരണം | ±8 ~ ±16 VDC അല്ലെങ്കിൽ +14 ~ +28 VDC(400mA) | ||||||
| ഇലക്ട്രോണിക് കണക്റ്റർ | 9 പിൻ പുരുഷ ഉപ-D ，15 പിൻ പുരുഷ ഉപ-D ，DeviceNetTM,പ്രൊഫൈബസ്, അനലോഗ് | ||||||
| ഫിറ്റിംഗ്സ് | VCR1/4" M; VCO1/4" M; | VCR1/4" എം; | |||||
| കംപ്രഷൻ ഫിറ്റിംഗ്Φ10;കംപ്രഷൻ ഫിറ്റിംഗ്Φ6 | കംപ്രഷൻ ഫിറ്റിംഗ്Φ6, | ||||||
| കംപ്രഷൻ ഫിറ്റിംഗ് 3/8";കംപ്രഷൻ ഫിറ്റിംഗ് 1/4"; | കംപ്രഷൻ ഫിറ്റിംഗ്Φ3, | ||||||
| കംപ്രഷൻ ഫിറ്റിംഗ്1/8";കംപ്രഷൻ ഫിറ്റിംഗ്Φ3; | കംപ്രഷൻ ഫിറ്റിംഗ് 1/4", | ||||||
| Ф6(ആന്തരികം)×1ഹോസ്;ф5(ആന്തരികം)×1.5ഹോസ്;ф4(ആന്തരികം)×1ഹോസ്; | W-മുദ്ര, | ||||||
| A-sael ; | സി-മുദ്ര | ||||||
| ഭാരം | 1 കിലോ | 0.8 കിലോ | 1.2 കിലോ | 1 കിലോ | 1.2 കിലോ | 1 കിലോ | |
