Тохируулсан турбо насосны нэгж
Үйл ажиллагааны зарчим
Дээрх зурагт үзүүлсэн шиг молекулын насосны хийн хэлхээний схемийг ерөнхийдөө молекулын насосны гүйцэтгэл эсвэл шинжлэх ухааны янз бүрийн илрүүлэх төхөөрөмжийг туршихад ашигладаг бөгөөд вакуум камерын төхөөрөмж, материал нь харьцангуй тогтворгүй, Вакуум камерыг дотоод орчинд ажиллуулахын тулд байнга онгойлгох шаардлагагүй.Урд шатанд тосон зөөвөрлөгчийн эргэдэг хутганы механик шахуургыг ашигладаг бол агаар гаргах хавхлагыг суурилуулна.Механик шахуургыг унтраасны дараа газрын тосны уур, тэр ч байтугай тосыг молекулын шахуурга руу татахгүй байхын тулд хуваах агааржуулалтын хавхлагыг урд насостой холбосон байх ёстой.Зарим эргэлтэт иртэй механик шахуургууд нь удаан хугацаагаар ашиглахаас зайлсхийхийн тулд бие даасан агаар гаргах хавхлагатай байдаг бөгөөд урд талын шугам хоолой нь газрын тосны бүх хэсэгт байрладаг бөгөөд бохирдол нь ноцтой байдаг.
Техникийн үзүүлэлтүүд
1. Уг нэгж нь өөр өөр байрлал дахь яндангийн хэрэгцээг хангах боломжтой хөдлөх тэргэнцэр юм.
2.Молекулын шахуургыг 400 Гц хүртэл ажиллуулсны дараа төхөөрөмжийн вакуум зэрэг нь 8 × 10-4 па-аас илүү, 30 минутын дотор 5 × 10-5 па-аас илүү, эцсийн вакуум нь 8 × 10-7 па байна.
3.The нэгж нь яндангийн хугацааг богиносгож, үр дүнтэй ажлын үр ашгийг сайжруулдаг молекулын насос зогсоохгүйгээр солих, урьдчилан вакуум болон өндөр вакуум яндангийн урсгалыг хэрэгжүүлэх боломжтой урьдчилан яндангийн системээр тоноглогдсон байна.
