EV цуврал нийлмэл молекул насос
EV-цуврал Техникийн мэдээлэл
Загвар | EV-600 EV-600F | EV-1200 EV-1200F | EV-1600 EV-1600F | ||||
Оролтын фланц (мм) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
Гаралтын фланц(мм) | 40 KF | 40 KF | 50 KF | ||||
Ус шахах хурд (L/S) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
Шахалтын харьцаа | N2 | >109 | >109 | >109 | |||
H2 | >8X103 | >1X104 | >1X104 | ||||
Хамгийн дээд вакуум(Па) | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | |
Эргэлтийн хурд(rpm) | 24000 | 24000 | 24000 | ||||
Чичиргээ | ≤0.1 мкм | ≤0.1 мкм | ≤0.15 мкм | ||||
Ажиллах хугацаа (мин) | <4.5 | <5 | <6 | ||||
Арын насос | 4-8 л/с | 8-15 л/с | 15 л/с | ||||
Хөргөх арга | Ус (агаар) хөргөх | Ус (агаар) хөргөх | Ус (агаар) хөргөх | ||||
Хөргөх усны температур (℃) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
Орчны температур(℃) | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
Хөргөх усны урсгалын хэмжээ | 1-2 л/мин | 1-2 л/мин | 1-2 л/мин | ||||
Жигнэсэн температур (℃) | <120 | <120 | <120 | ||||
Халаагчийн хүч (w) | <250 | <300 | <300 | ||||
Халаагчийн оролтын хүчдэл(v) | AC220 | AC220 | AC220 | ||||
Суурилуулалт | Босоо ±5° | Босоо ±5° | Босоо ±5° | ||||
Жин (кг) | ≈25 | ≈29 | ≈31 |
Агаар мандлын нэгдлийн шахуургын муруй
Молекулын насос
Азот ба устөрөгчийн шахалтын харьцааны муруй
нийлмэл молекулын насосоор
Нийлмэл молекулын насосны EV цувралын суурилуулалтын хэмжээсийн хүснэгт
Загвар | EV-600 | EV-1200 | EV-1600 | ||||
Оролтын фланц (мм) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 | |
D2 | Φ212 | Φ212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
D4 | ¨145.7 | ¨145.7 | ¨167.6 | ¨167.6 | ¨183.9 | ¨183.9 | |
H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
Шахуургын хөлний шураг нүх | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | |
Гаралтын фланц(мм) | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 |
EV цувралын агаар хөргөх нийлмэл молекул насос
EV-цуврал агаарын хөргөлттэй нийлмэл молекул насос нь турбомолекул насос болон дискний зүтгүүрийн насосоос бүрдэнэ.Энэ нь турбомолекулын шахуургын молекулын урсгалын шахуургын өндөр хурд, шахалтын харьцаа, зүтгүүрийн насосны өндөр даралтын хувьд шахах өндөр хурд, шахалтын харьцаа зэрэг шинж чанартай бөгөөд молекул насосны хэрэглээний хүрээг өргөжүүлдэг.
Нийлмэл молекулын шахуурга нь шахаж буй хий дээр сонгох чадвар, санах ойд нөлөөлдөггүй.Том молекул жинтэй хийтэй шахалтын өндөр харьцаатай тул насос нь хүйтэн, газрын тосны хаалтгүйгээр цэвэр өндөр, хэт өндөр вакуум авах боломжтой.Энэ нь электроник, металлурги, химийн үйлдвэр, шинжлэх ухааны судалгаа, вакуум технологийн янз бүрийн салбарт өргөн хэрэглэгддэг.
Загвар | EV-600F | EV-1200F | EV-1600F | |||
Оролтын фланц (мм) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 |
D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
D3 | ¨145.7 | ¨145.7 | ¨167.6 | ¨167.6 | ¨183.8 | ¨183.8 |
H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
H2 | 217.5 | 217.5 | 210 | 210 | 214.5 | 214.5 |
H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
Шахуургын хөлний шураг нүх | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 |