Том шахуургын хурд бат бөх Дуу чимээ багатай DRV эргэдэг сэнстэй агаарын насос вакуум насос
DRV цувралын вакуум насос нь бага ба дунд вакуумд хэрэглэхэд тохиромжтой хоёр шатлалт эргэдэг сэнстэй тос битүүмжилсэн вакуум насос бөгөөд ихэвчлэн агаар болон бусад хуурай хийг зайлуулахад ашиглагддаг.Энэ нь бага, дунд вакуумд зориулагдсан үндсэн тоног төхөөрөмжийн нэг бөгөөд дангаар нь болон урд талынх нь хувьд ашиглаж болно
бусад вакуум насосны насос.
Вакуум насос нь найдвартай ажиллагаатай, эд ангиудын элэгдэл багатай, чичиргээ багатай, дуу чимээ багатай, өндөр үр ашигтай байдаг.
SV цуврал вакуум насосыг гадаадын дэвшилтэт технологиос импортолсон бөгөөд гол бүрэлдэхүүн хэсэг нь импортын эд анги юм.
материал.DRV цувралын вакуум насос нь гадаадын ижил төстэй бүтээгдэхүүнийг бүрэн орлуулах боломжтой.
EVFB цуврал молекул насосны бүтээгдэхүүний танилцуулга
Загвар:
EVFB-100/301 Нийлмэл нэгдсэн молекул насос
EVFB-160/401 Нийлмэл нэгдсэн молекул насос
EVFB-160/450D Чичиргээний эсрэг молекул насос
EVFB-160/701Нийлмэл нэгдсэн молекул насос
EVFB-200/1401 Нийлмэл нэгдсэн молекул насос
EVFB-250/2201 Нийлмэл нэгдсэн молекул насос
EVFB-160/701Нийлмэл молекул насос
EVFB-200/1401 Нийлмэл молекул насос
EVFB-250/2201 Нийлмэл молекул насос
EVFB-400/3600 турбо молекул насос
EVFB-400/4500 Турбо молекул насос
Бүтээгдэхүүний тойм
Молекулын насос нь нэг төрлийн өндөр хурдтай эргэдэг импульс дамжуулах вакуум насос бөгөөд ажлын даралтын хүрээ нь ерөнхийдөө 10 байна.-1Па ~ 10-7Па, өндөр вакуум, хэт өндөр вакуум хүрэх чухал вакуум олж авах тоног төхөөрөмжийн нэг юм.Молекулын шахуурга нь хурдан эхлүүлэх хурд, өргөн хүрээтэй ажиллах, эрчим хүч бага зарцуулдаг, өндөр цэвэрхэн, энгийн засвар үйлчилгээ зэрэг давуу талуудтай.
Энэхүү үлгэрчилсэн номонд тайлбарласан молекулын шахуургын бүтээгдэхүүн нь хоёр дахь үеийн бүтээгдэхүүн юм
Үйлдвэрийн вакуум болон шинжлэх ухааны судалгааны чиглэлээр голчлон бүтээгдсэн, оновчтой болгосон, үүнд нэгдсэн удирдлагатай, уян хатан хэрэглээний хувилбар бүхий үйлдвэрийн вакуум молекул насосны бүтээгдэхүүний анхны цувралыг багтаасан тус компани шинээр эхлүүлсэн.Калибрын дагуу голчлон DN100, DN160, DN200, DN250, DN400 болон бусад бүтээгдэхүүнүүд байдаг.
Тосолгооны интеграл молекулын насосыг тослох
Энэ цуврал бүтээгдэхүүний гол онцлогууд:
（1） Нэгдсэн хянагч: Нэгдсэн хянагч загвар，Системийн интеграцийг хөнгөвчлөх， Түлхүүр эхлэх цэг；
（2） Нарийвчилсан холхивч: Тосолгооны тосолгооны нарийн керамик бөмбөлөг холхивч, Дурын өнцгөөр суурилуулсан；
（3） Өндөр найдвартай байдал: Ерөнхий ротор, BLDC жолоодлогын технологи;
（4） Функциональ олон талт: Дагалдах хэрэгслийн бүрэн хүрээ, Захиалгат шийдлүүд боломжтой；
（5） Тохируулах хурдны функцийг хангах， Төрөл бүрийн шахуургын хурдны шаардлагыг хангах；
Энэхүү цуврал бүтээгдэхүүн нь ихэвчлэн PVD, CVD, шингэн болор хавтан болон бусад үйлдвэрлэлийн бүрхүүлд тохиромжтой;Масс спектрометр, өндөр энергийн физик, вакуум алдагдлыг илрүүлэх, анагаах ухаан, биологийн инженерчлэл болон бусад шинжлэх ухааны судалгааны салбарууд.
Молекулын насосны техникийн үзүүлэлтүүд
| Загвар | EVFB-100/301 | EVFB-160/401 | EVFB-160/450D（захиалгаар хийсэн） | ||||
| ☑The вакуум параметрүүд | |||||||
| Ус шахах хурд (л/с) | N2 | He | N2 | He | N2 | He | |
| 300 | 230 | 460 | 380 | 38 | 310 | ||
| Эцсийн даралт | < 5×10-6 Па (LF) ;< 5×10 -7 Па (CF) | < 8×10 -6 Па (LF) < 8×10 -7 Па (CF) | |||||
| Шахах харьцаа | > | > | > | > | > 1×108 | > 1×10 3 | |
| Хамгийн дээд тал нь тасралтгүйss ure | 10 Па | 2Па | 10 Па | 2 Па | 20 | 5 Па | |
| Хамгийн их тасралтгүй урд шугамын даралт | 300 | 200 | 300 | 200 Па | 20 | 10 Па | |
| Максфорлин даралтыг тэсвэрлэх чадвар | 1000 | 500 | 1000 | 500 Па | 50 | 20 Па | |
| ☑Физик параметр | |||||||
| Оролт фланц | DN100 ISO-K (LF) эсвэл CF | DN160 ISO-K (LF) эсвэл CF | |||||
| Урд шугам фланц | DN25 ISO-KF эсвэл DN40KF（Заавал биш） | ||||||
| Цэвэрлэх фланц | DN16 ISO-KF | ||||||
| Жин | 9.6 кг（ISO-K | 10 кг（ISO-K） | |||||
| 10 кг（CF） | 11 кг（CF） | ||||||
| Чичиргээ | ≤0.05 мкм | ||||||
| Дуу чимээ | ≤55 дБ（Стандарт агаарын хөргөлт） | ||||||
| Холхивч | Керамик бөмбөлөг холхивчийг тослох | ||||||
| Ажиллаж байна байрлал | Ямар ч | ||||||
| Opera.ambient Соронзон талбар | ≤3 мТ（Хамгийн том 10мТ， Өөрчлөх шаардлагатай） | ||||||
| Опер.амби nt | Агаар хөргөлт | 5 ~ 35 ℃ | |||||
| Усан хөргөлт | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
| Хөргөх усны шаардлага | Усны температур: 15-30℃; даралт: 0.15 Мпа; PH6~8, тодорхой, тосгүй; урсгал: ≥1л/мин | ||||||
| Санал болгож байна урд насос | 2~6 л/с | 3~8л/с | |||||
| ☑Хянагч параметрүүд | |||||||
| Хянагч | EVFB-II | ||||||
| Эргэлтийн хурд | 48000 rp | 36000 эрг / мин | |||||
| Бага хурд | 33600 rp | 25200 эрг / мин | |||||
| Эхлэл цаг | ≤5мин | ||||||
| Хүчдэл | 48VAC±2% | ||||||
| Харилцаа холбоо горим | RS-485 | ||||||
| Загвар | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | ||||
| ☑The вакуум параметрүүд | |||||||
| Эцсийн даралт(Па) | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | ||||||
| Ус шахах хурд (л/с) | N2 | He | N | He | N2 | He | |
| 6 | 5 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | ||
| Шахах харьцаа | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | |
| Хамгийн дээд тал нь тасралтгүйss ure(Па) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | |
| Хамгийн их тасралтгүй урд шугамын даралт(Па) | 30 | 2 | 3 | 2 | 2 | 1 | |
| Maxforelinepress шээсэнд тэсвэртэй байдал (Па) | 10 | 5 | 1000 | 5 | 5 | 2 | |
| ☑Физик параметр | |||||||
| Оролт фланц | DN160 ISO-K（LF）эсвэл CF | DN200 ISO-K （LF）或 CF | DN250 ISO-K （LF） эсвэл | ||||
| Урд шугам фланц | DN25 ISO-KF эсвэл KF40 (заавал биш) | DN40 ISO-KF эсвэл KF50 (заавал биш) | |||||
| Цэвэрлэх фланц | DN16 ISO-KF | ||||||
| Санал болгож байна урд насос(л/с) | 4~ | 8~ | 16~2 | ||||
| Жин（kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ||||
| 23 (CF) | 34 | 45 (CF) | |||||
| Чичиргээ | ≤ | ||||||
| Дуу чимээ(дБ) | ≤ | ||||||
| Холхивч | Керамик бөмбөлөг холхивчийг тослох | ||||||
| Ажиллаж байна байрлал | Ямар ч | ||||||
| Соронзон талбар эрчим (мТ) | ≤3（Хамгийн том 10мТ， Өөрчлөх шаардлагатай） | ||||||
| Opera.ambient температур | Агаар хөргөх | 5 ~ 35 ℃ | |||||
| Ус хөргөх | 5~40℃ | ||||||
| Хөргөх ус шаардлага | Усны температур: 15-25 ℃; даралт: 0.15 Мпа; PH6~8, тодорхой, тосгүй ；урсгал: ≥1.5л/мин | ||||||
| ☑Хянагч параметрүүд | |||||||
| Хянагч | EVFB-III-A | ||||||
| Харилцаа холбоо горим | RS-485 | ||||||
| Хүчдэл（V） | 220V хувьсах хүчдэл ±10% | ||||||
| Давтамж（Hz） | 50/60±5% | ||||||
| Хамгийн их оролт Хүч（W） | 100 | ||||||
| Эхлэх/ зогсоох хяналт горим | Хянагчийн товчлуурууд нь эхлүүлэх, зогсоохыг хянадаг /RS485 хянагч эхлүүлэх, зогсоох /DB15 эхлүүлэх, зогсоохыг удирдах | ||||||
| Хамгаалалт | Хянагчийн хэт гүйдэл, хэт хүчдэл, бага хүчдэл, хэт халалтаас хамгаалах, молекулын насосны хэт гүйдэл, хэт ачаалал, хэт халалтаас хамгаалах гэх мэт. | ||||||
| Эргэлтийн хурд (р/мин) | 36000±0.1% | 30000±0.1% | 24000±0.1% | ||||
| Бага хурд (р/мин) | 25200±0.1% | 21000±0.1% | 16800±0.1% | ||||
| Одоогийн（A） | ≤0.6 | ≤1 | ≤1 | ||||
| Хамгаалалт гал хамгаалагч（A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | ||||
| Эхлэх цаг（мин） | ~5 | ~6 | ~7 | ||||
| Сул зогсолт（мин） | ~5 | ~10 | ~12 | ||||
Ерөнхий хэмжээс
| Загвар | DN | d1 | h | h1 | h2 | d2 | n |
| EVFB-100/301 | 100 LF | 130 | 253.5 | 180 | 170 | - | - |
| 100 CF | 152 | 274.5 | 201 | 191 | 130.3 | 16 | |
| EVFB-160/401 | 160 LF | 180 | 239.5 | 169.5 | 159.5 | - | - |
| 160 CF | 202 | 238.5 | 168.5 | 158.5 | 181 | 20 | |
| EVFB-160/450D | 160 LF | 180 | 243 | 169.5 | 159.5 | - | - |
| 160 CF | 202 | 242 | 168.5 | 158.5 | 181 | 20 |
| Загвар | DN | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 | 160 LF | 180 | 218.5 | 241.8 | 336.8 | 201.8 | 124.8 |
| EVFB-160/701 | 160CF | 202 | 218.5 | 268.8 | 359.8 | 224.8 | 124.8 |
| EVFB-200/1400 | 200 LF | 240 | 267 | 257.5 | 352.5 | 231.5 | 155.1 |
| EVFB-200/1401 | 200CF | 253 | 267 | 274.5 | 369.5 | 248.5 | 155.1 |
| EVFB-250/2200 | 250 LF | 290 | 296 | 229.8 | 324.8 | 203.8 | 165.3 |
| EVFB-250/2201 | 250CF | 305 | 296 | 259.8 | 354.8 | 233.8 | 165.3 |
Захиалга өгч байна Мэдээлэл
| Тоо | Бүтээгдэхүүн загвар | Бүтээгдэхүүн код | Дагалдах хэрэгсэл | Захиалгатоо | Тайлбарлах |
|
1 |
EVFB-100/301(LF) |
A3123 | стандарт молекул насос | A3123 | Стандарт насос（Агаар хөргөлт нь анхдагчаар стандарт байдаг） |
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд（жижиг урсгал） | A3123-A | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд (бага урсгал) | |||
| Ус хөргөх бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3123-B | Стандарт насос + Ус хөргөх бүрэлдэхүүн хэсгүүд (Агаар хөргөлттэй бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг солих) | |||
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд （бага урсгал）、Ус хөргөх бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3123-C | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд（бага урсгал）+ Ус хөргөх бүрэлдэхүүн хэсгүүд（Агаар хөргөлттэй бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг солих） | |||
|
2 |
EVFB-100/301(CF) |
A3124 | стандарт молекул насос | A3124 | Стандарт насос（Агаар хөргөлт нь анхдагчаар стандарт байдаг） |
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд（жижиг урсгал） | A3124-A | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд (бага урсгал) | |||
| Ус хөргөх бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3124-B | Стандарт насос + Ус хөргөх бүрэлдэхүүн хэсгүүд (Агаар хөргөлттэй бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг солих) | |||
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд （бага урсгал）、Ус хөргөх бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3124-C | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд（бага урсгал）+ Ус хөргөх бүрэлдэхүүн хэсгүүд（Агаар хөргөлттэй бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг солих） | |||
|
3 |
EVFB-160/401(LF) |
A3127 | стандарт молекул насос | A3127 | Стандарт насос（Агаар хөргөлт нь анхдагчаар стандарт байдаг） |
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд（жижиг урсгал） | A3127-A | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд (бага урсгал) | |||
| Ус хөргөх бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3127-B | Стандарт насос + Ус хөргөх бүрэлдэхүүн хэсгүүд (Агаар хөргөлттэй бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг солих) | |||
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд （бага урсгал）、Ус хөргөх бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3127-C | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд（бага урсгал）+ Ус хөргөх бүрэлдэхүүн хэсгүүд（Агаар хөргөлттэй бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг солих） | |||
|
4 |
EVFB-160/401(CF) |
A3128 | стандарт молекул насос | A3128 | Стандарт насос（Агаар хөргөлт нь анхдагчаар стандарт байдаг） |
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд（жижиг урсгал） | A3128-A | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд (бага урсгал) | |||
| Ус хөргөх бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3128-B | Стандарт насос + Ус хөргөх бүрэлдэхүүн хэсгүүд (Агаар хөргөлттэй бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг солих) | |||
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд | A3128-C | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлага |
| （бага урсгал）、Ус хөргөх бүрэлдэхүүн хэсгүүд | Дагалдах хэрэгсэл（бага урсгал）+ Ус хөргөх бүрэлдэхүүн хэсгүүд(Солихагаар хөргөлттэй бүрэлдэхүүн хэсгүүд) | ||||
|
5 |
EVFB-160/450D(LF) |
A3129 | стандарт молекул насос | A3129 | Стандарт насос（Агаар хөргөлт нь анхдагчаар стандарт байдаг） |
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд（жижиг урсгал） | A3129-A | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд (бага урсгал) | |||
| Ус хөргөх бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3129-B | Стандарт насос + Ус хөргөх бүрэлдэхүүн хэсгүүд (Агаар хөргөлттэй бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг солих) | |||
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд （бага урсгал）、Ус хөргөх бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3129-C | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд（бага урсгал）+ Ус хөргөх бүрэлдэхүүн хэсгүүд（Агаар хөргөлттэй бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг солих） | |||
|
6 |
EVFB-160/450D(CF) |
A3130 | стандарт молекул насос | A3130 | Стандарт насос（Агаар хөргөлт нь анхдагчаар стандарт байдаг） |
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд（жижиг урсгал） | A3130-A | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд (бага урсгал) | |||
| Ус хөргөх бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3130-B | Стандарт насос + Ус хөргөх бүрэлдэхүүн хэсгүүд (Агаар хөргөлттэй бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг солих) | |||
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд （бага урсгал）、Ус хөргөх бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3130-C | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд（бага урсгал）+ Ус хөргөх бүрэлдэхүүн хэсгүүд（Агаар хөргөлттэй бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг солих） | |||
|
7 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139 | стандарт молекул насос | A3139 | Стандарт насос（Усан хөргөлтанхдагчаар стандарт байна) |
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд | A3139-A | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагадагалдах хэрэгсэл | |||
| Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3139-B | Стандарт насос + Сэнс | |||
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд、Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3139-C | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагахэрэгслүүд + Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | |||
|
8 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140 | стандарт молекул насос | A3140 | Стандарт насос（Усан хөргөлтанхдагчаар стандарт байна) |
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд | A3140-A | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагадагалдах хэрэгсэл | |||
| Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3140-B | Стандарт насос + Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | |||
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд、Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3140-C | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагахэрэгслүүд + Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | |||
|
9 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135 | стандарт молекул насос | A3135 | Стандарт насос（Усны хөргөлт нь анхдагчаар стандарт байдаг） |
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд | A3135-A | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагадагалдах хэрэгсэл | |||
| Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3135-B | Стандарт насос + Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | |||
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд、 | A3135-C | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлага |
| Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | хэрэгслүүд + Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | ||||
|
10 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136 | стандарт молекул насос | A3136 | Стандарт насос（Усны хөргөлт нь анхдагчаар стандарт байдаг） |
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд | A3136-A | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагадагалдах хэрэгсэл | |||
| Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3136-B | Стандарт насос + Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | |||
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд、 | A3136-C | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагахэрэгслүүд + Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | |||
|
11 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141 | стандарт молекул насос | A3141 | Стандарт насос（Усны хөргөлт нь анхдагчаар стандарт байдаг） |
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд | A3141-A | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагадагалдах хэрэгсэл | |||
| Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3141-B | Стандарт насос + Сэнс | |||
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд、Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3141-C | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагахэрэгслүүд + Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | |||
|
12 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142 | стандарт молекул насос | A3142 | Стандарт насос（Усны хөргөлт нь анхдагчаар стандарт байдаг） |
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд | A3142-A | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагадагалдах хэрэгсэл | |||
| Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3142-B | Стандарт насос + Сэнс | |||
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд、 | A3142-C | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагахэрэгслүүд + Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | |||
| 13 | EVFB-II | A3261 | - | A3261 | Молекулын насос хянагч（ EVFB- 100/301、EVFB- 160/401、EVFB-100/450D зэрэг молекул насосуудад тохиромжтой） |
| 14 | EVFB-III-A | A3263 | - | A3263 | Молекулын насос хянагч（ EVFB- 160/701, EVFB- 200/1401, EVFB- зэрэг молекулын насосуудад тохиромжтой.250/2201） |
Тусгаарлагдсан Нийлмэл молекулын шахуургууд
Энэ цуврал бүтээгдэхүүний гол онцлогууд:
（1） Тусгаарлагдсан хянагч: AC220V тэжээлийн хангамж, Түлхүүр эхлүүлэх зогсоол；
（2） Өндөр найдвартай байдал: Ерөнхий ротор, BLDC жолоодлогын технологи;
（3） Нарийвчилсан холхивч: Нарийвчлалтай керамик бөмбөлөгтэй холхивч, Дурын өнцгөөр суурилуулсан（Зөвхөн тосоор тосолсон загварууд）；
（4） Функциональ олон талт: Дагалдах хэрэгслийн бүрэн хүрээ, Захиалгат шийдлүүд боломжтой；
（5） Хурдны тохируулгатай функцээр хангах； Төрөл бүрийн шахуургын хурдны шаардлагыг хангах； Энэхүү цуврал бүтээгдэхүүн нь ихэвчлэн PVD, CVD, шингэн болор хавтан болон бусад зүйлд хамаарна.
үйлдвэрийн бүрээс, шинжлэх ухааны судалгаа болон бусад салбарууд.
Молекулын насосны техникийн үзүүлэлтүүд
| Загвар | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | EVFB-400/3600 | EVFB-400/4500 | |||||
| ☑The вакуум параметрүүд | ||||||||||
| Хамгийн дээд даралт(Па) | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | |||||||||
| Ус шахах хурд (л/с) | N2 | He | N2 | He | N2 | H | N2 | He | N2 | He |
| 650 | 550 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | 3600 | 3000 | 4800 | 3500 | |
| Шахалтын харьцаа | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | >1x108 | >6x102 | >1x108 | >8x103 |
| Хамгийн их Үргэлжилсэн оролтдаралт(Па) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | 0.05 | 0.02 | 0.03 | 0.01 |
| Хамгийн ихҮргэлжилсэн Урд шугам | 300 | 200 | 300 | 200 | 200 | 100 | 50 | 35 | 40 | 30 |
| Дээд шугамын даралтыг тэсвэрлэх чадвар(Па) | 1000 | 500 | 1000 | 500 | 500 | 200 | 340 | 160 | 160 | 80 |
| ☑Физик параметр | ||||||||||
| Оролт фланц | DN160 ISO-K（LF）orCF | DN200 ISO-K（LF）эсвэл CF | DN250 ISO-K（LF）эсвэл CF | DN400 ISO-K（LF）эсвэл CF | DN400 ISO-K（LF）эсвэл CF | |||||
| Урд шугам фланц | DN25 ISO-KF,KF40（Заавал биш） | DN40 ISO-KF，KF50（Заавал биш） | DN100 ISO-K（LF） | DN100 ISO-K（LF）orKF50（Заавал биш） | ||||||
| Цэвэрлэх фланц | DN16 ISO-KF | / | DN16 ISO-KF | |||||||
| Санал болгож байна | 4~10 л/с | 8~16 л/с | 16-24 л/с | 30~70 л/с | ||||||
| Жин（kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ≈ 100 ISO-K(LF) | ≈ 83 ISO-K(LF) | |
| 23 (CF) | 34 (CF) | 45 (CF) | ≈ 105 (CF) | ≈ 88 (CF) | ||
| Чичиргээ | ≤ 0.05 | ≤ 0.3 | ||||
| Дуу чимээ (дБ) | ≤ 50 | ≤ 60 | ||||
| Холхивч | Керамик бөмбөлөг холхивчийг тослох | Керамик бөмбөг холхивч | ||||
| Ажиллаж байна байрлал | Ямар ч | Босоо ±5° | ||||
| Opera.Ambient Соронзон орон | ≤ 3мТ（Хамгийн том 10мТ， Өөрчлөх шаардлагатай） | ≤ 3мТ | ||||
| Опер.орчин температур | Агаар хөргөх | 5~35oC | / | / | ||
| Усан хөргөлт | 5~40oC | |||||
| Хөргөх ус шаардлага | Усны температур: 15-25 ℃; баталгаатай: 0.15 Мпа; урсгал: ≥1.5 л/мин | урсгал: ≥ 3л/мин | ||||
| ☑Хянагч параметрүүд | ||||||
| Тусгаарлагдсан хянагч | EVFB-III-B（2U） | EVFB-VI（4U） | ||||
| Алсын удирдлага хяналт | Хэт зайн удирдлага (манай инженерүүдээс лавлана уу) | |||||
| Харилцаа холбоо горим | RS-485 | |||||
| Хүчдэл（V） | 100-аас 240VAC хүртэл（± | 220VAC（±10%） | ||||
| Давтамж（Hz） | 50/60Гц±5% | |||||
| Хамгийн их оролтын хүч（W） | 1000 | 1500 | ||||
| Эхлэх/ зогсоох хяналт горим | Хянагчийн товчлуурууд нь эхлүүлэх, зогсоохыг хянадаг /RS485 хянагч эхлүүлэх, зогсоох /DB15 эхлүүлэх, зогсоохыг удирдах | |||||
| Хамгаалалт | Хянагчийн хэт гүйдэл, хэт хүчдэл, бага хүчдэл, хэт халалтаас хамгаалах, молекулын насосны хэт гүйдэл,хэт ачаалал, хэт халалтаас хамгаалах гэх мэт | |||||
| Эргэлтийн хурд (р/мин) | 36000±0.1% | 30000±0.1% | 24000±0.1% | 13500±0.1% | 16200±0.1% | |
| Бага хурд (р/мин) | 25200±0.1% | 21000±0.1% | 16800±0.1% | / | ||
| Одоогийн（A） | ≤ 0.6 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 5 | ||
| Хамгаалалт гал хамгаалагч（A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | 12 | ||
| Эхлэл цаг（мин） | ~5 | ~6 | ~7 | ~20 | ||
| Сул зогсолт（мин） | ~5 | ~10 | ~12 | ~30 | ||
| Опер. орчин нөхцөл | Идэмхий хий, тоосны тоосонцор байхгүй; орчны температур: -10℃~50℃; орчинчийгшил: ≤ 90%, чичиргээний эрчим: ≤ 0.5г | |||||
0 ерөнхий хэмжээс
| Загвар | D N | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 EVFB-160/701 | 160 LF | 180 | 218.5 | 241.8 | 336.8 | 201.8 | 124.8 |
| 160CF | 202 | 218.5 | 268.8 | 359.8 | 224.8 | 124.8 | |
| EVFB-200/1400 EVFB-200/1401 | 200 LF | 240 | 267 | 257.5 | 352.5 | 231.5 | 155.1 |
| 200CF | 253 | 267 | 274.5 | 369.5 | 248.5 | 155.1 | |
| EVFB-250/2200 EVFB-250/2201 | 250 LF | 290 | 296 | 229.8 | 324.8 | 203.8 | 165.3 |
| 250CF | 305 | 296 | 259.8 | 354.8 | 233.8 | 165.3 |
EVFB-400/3600 Турбомолекул насосны хэмжээс
EVFB-400/4500 Турбомолекулын насосны хэмжээ
Тусгаарлагдсан хянагчийн харагдах байдал
EVFB-III-B（2U） тусгаарлагдсан хянагч
EVFB-VI（4U）тусгаарлагдсан хянагч
Захиалга Мэдээлэл
| тоо | Бүтээгдэхүүн загвар | бүтээгдэхүүн код | Дагалдах хэрэгсэл | Захиалга тоо | Тайлбарлах |
|
1 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139-F | Стандарт молекулын насос | A3139-F | Стандарт насос（Усны хөргөлт нь анхдагчаар стандарт байдаг） |
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд | A3139-FA | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд | |||
| Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3139-FB | Стандарт насос + Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | |||
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд、Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3139-FC | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд + Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | |||
|
2 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140-F | стандарт молекул насос | A3140-F | Стандарт насос（Усны хөргөлт нь анхдагчаар стандарт байдаг） |
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд | A3140-FA | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд | |||
| Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3140-FB | Стандарт насос + Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | |||
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд、Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3140-FC | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд + Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | |||
|
3 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135-F | стандарт молекул насос | A3135-F | Стандарт насос（Усан хөргөлттэй анхдагчаар стандарт） |
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд | A3135-FA | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд | |||
| Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3135-FB | Стандарт насос + Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | |||
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд、Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3135-FC | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд + Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | |||
|
4 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136-F | стандарт молекул насос | A3136-F | Стандарт насос（Усны хөргөлт нь анхдагчаар стандарт байдаг） |
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд | A3136-FA | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд | |||
| Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3136-FB | Стандарт насос + Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | |||
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд、Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3136-FC | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд + Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | |||
|
5 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141-F | стандарт молекул насос | A3141-F | Стандарт насос（Усны хөргөлт нь анхдагчаар стандарт байдаг） |
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд | A3141-FA | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд | |||
| Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3141-FB | Стандарт насос + Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | |||
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд、Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3141-FC | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд + Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | |||
|
6 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142-F | стандарт молекул насос | A3142-F | Стандарт насос（Усны хөргөлт нь анхдагчаар стандарт байдаг） |
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд | A3142-FA | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд | |||
| Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | A3142-FB | Стандарт насос + Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | |||
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд | A3142-FC | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлага |
| Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | хэрэгслүүд + Сэнсний бүрэлдэхүүн хэсгүүд | ||||
| 7 | EVFB-400/3600(LF) | A3187 | стандарт молекул насос | A3187 | Стандарт насос（Усан хөргөлт анхдагчаар стандарт байна) |
| 8 | EVFB-400/3600(CF) | A3188 | стандарт молекул насос | A3188 | Стандарт насос（Усан хөргөлт анхдагчаар стандарт байна) |
|
9 |
EVFB-400/4500(LF) |
A3185 | стандарт молекул насос | A3185 | Стандарт насос（Усны хөргөлт нь анхдагчаар стандарт байдаг） |
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд | A3185-A | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд | |||
|
10 |
EVFB-400/4500(CF) |
A3186 | стандарт молекул насос | A3186 | Стандарт насос（Усны хөргөлт нь анхдагчаар стандарт байдаг） |
| Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд | A3186-A | Стандарт насос + Цэвэрлэх хавхлагын хэрэгслүүд | |||
|
11 |
EVFB-III-HMI |
A3261-1 |
Гараар ажилладаг самбар |
A3261-1 | Хэрэглэгчийн сонголтоор ，EVFB- 160/701 、 EVFB-200/1401 、 EVFB-250/2201 зэрэг молекул насосуудад тохиромжтой |
| 12 | EVFB-VI | A3270 | Тусгаарлагдсан хянагч （4U） | A3270 | EVFB-400/3600、EVFB-400/450 зэрэг турбо молекул насосуудад тохиромжтой. |
| 13 | EVFB-III-B | A3264 | Тусгаарлагдсан хянагч （2U） | A3264 | EVFB-160/701 、 EVFB- 200/1401 、 EVFB-250/2201 зэрэг молекулын насосуудад тохиромжтой (тусгаарлагдсан төрөл) |
