Масс урсгалын хянагч Масс урсгал хэмжигч CS200
Онцлогууд
1. Өндөр нарийвчлал, хурдан хариу үйлдэл
CS200 MFC-ийн нарийвчлалыг SP-ийн ±1.0% хүртэл сайжруулсан бөгөөд хамгийн дэвшилтэт загваруудад хариу өгөх хугацаа 0.8 секундээс бага байна.
2. Бага тэг зөрөх ба температурын коэффициент
Мэдрэгчийн шинэ технологийн нээлт нь CS200 MFC-д тогтвортой байдлыг хадгалах, температурын хэлбэлзлийг тэсвэрлэх боломжийг олгодог.Автомат тэг өсгөгчгүй бол хүлээгдэж буй тэгийн зөрүү нь жилд 0.6% FS-ээс бага, температурын коэффициент нь 0.02% FS/℃(тэг), 0.05%FS/ ℃ (span)-аас бага байна.
3. Металл битүүмжилсэн загвар, өндөр цэвэршилттэй
CS200 MFC-ийн нойтон урсгалын зам нь гадаргууг идэвхгүйжүүлсэн зэвэрдэггүй гангаар хийсэн.Бүх CS200 MFC-үүдийг SEMI болон ISO 9001 стандартын дагуу Sevenstar-ын 100-р ангиллын ultraclean цэвэр өрөөнд угсардаг.
4. Тохиромжтой интерфэйсүүд
CS200 MFC нь хэрэглэгчийн сонгож болох дараах интерфэйсүүдтэй нийцдэг:±8V-±16V хоёр талын тэжээлийн хангамж ба +14V-+28V нэг төгсгөлийн тэжээлийн хангамж;тоон эсвэл аналог дохионы оролт, гаралт;SEMI стандарт механик хэмжээсүүд;болон RS-485 эсвэл DeviceNet холбооны модуль.
5. Төрөл бүрийн функцууд
Хэрэглэгчийн хүчирхэг программ хангамж нь загвар бүрт стандартаар ирдэг бөгөөд олон хий, олон муж, автомат тэг, дохиолол, зөөлөн асаалт, саатал зэрэг нэмэлт функцуудыг хэрэглэгчийн сонголтоор ашиглах боломжтой.
Тодорхойлолт
| CS200 | |||||||
| Төрөл | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Бүрэн хэмжээний хүрээ (N2) | ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Нарийвчлал | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| Шугаман чанар | ±0.5% FS | ||||||
| Дахин давтагдах чадвар | ±0.2% FS | ||||||
| Хариу цаг | ≤1сек | ≤0.8 сек (SEMI E17-0600) | |||||
| Хавхлагын амрах байрлал | Ер нь хаалттай эсвэл | Хавхлага байхгүй | Ер нь хаалттай эсвэл | Хавхлага байхгүй | Ер нь хаалттай эсвэл | Хавхлага байхгүй | |
| Ер нь нээлттэй（100 sccm≤FS≤5 slm） | Ер нь нээлттэй（100 sccm≤FS≤5 slm） | Ер нь нээлттэй（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| Дифференциал даралт | 0.05～0.35МПа （Урсгал≤10slm） | ＜0.02 МПа | (0.05～0.35) МПа（≤10slm） | ＜0.02 МПа | (0.05～0.35) МПа（≤10slm） | ＜0.02 МПа | |
| 0.1～0.35МПа（10slm＜Flow≤30slm） | (0.1～0.35) МПа（＞10slm） | (0.1～0.35) МПа（＞10slm） | |||||
| 0.2～0.45МПа （Урсгал＞30slm） | |||||||
| Ашиглалтын хамгийн их даралт | 0.45 МПа | |||||
| Температур | Тэг: ≤±0.05% FS/℃; | Тэг: ≤±0.02% FS/℃;Хүрээ: ≤±0.05% FS/℃ | ||||
| Коэффицент | Хүрээ: ≤±0.1% FS/℃（Урсгал≤30slm） | |||||
| Хүрээ: ≤±0.2% FS/℃（Урсгал>30slm） | ||||||
| Баталгаажуулах даралт | 3МПа (435pisg) | |||||
| Zero Drift | ＜Автомат тэггүйгээр жилд 0.6% FS | |||||
| Бүрэн бүтэн байдал алдагдсан | 1×10-9 atm·cc / сек Тэр | 1×10-10atm·cc / сек Тэр | ||||
| Нойтон материал | Витон; | Металл? (Зэвэрдэггүй ган V/V, 5Ra) | Металл | |||
| Гадаргуугийн хими | —— | Cr/Fe харьцаа ＞2.0;CrO зузаан ＞20 Angstroms | ||||
| Гадаргуугийн өнгөлгөө | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Ашиглалтын температур | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||
| Оролтын дохио | Дижитал: RS485 эсвэл ProfiBus | Үгүй | Дижитал: RS485 эсвэл ProfiBus эсвэл DeviceNetTM | Үгүй | Дижитал: RS485 эсвэл ProfiBus эсвэл DeviceNetTM | Үгүй |
| эсвэл DeviceNetTM | Аналог:(0～5)VDC эсвэл (4～20)мА эсвэл (0～20)мА | Аналог:(0～5)VDC эсвэл (4～20)мА эсвэл (0～20)мА | |||||
| Аналог:(0～5)VDC эсвэл (4～20)мА эсвэл (0～20)мА | |||||||
| Гаралтын дохио | Дижитал: RS485 эсвэл DeviceNetTM эсвэл ProfiBus Аналог:(0～5)VDC эсвэл (4～20)мА эсвэл (0～20)мА | ||||||
| Цахилгаан хангамж | ±8 ~ ±16 VDC эсвэл +14 ~ +28 VDC (400мА) | ||||||
| Цахим холбогч | 9 зүү эрэгтэй дэд D ， 15 зүү эрэгтэй дэд D ， DeviceNetTM,ProfiBus ， Аналог | ||||||
| Холбох хэрэгсэл | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4" M; | |||||
| Шахах холбох хэрэгсэлΦ10;Шарах холбох хэрэгсэлΦ6; | Шахалтын тохируулгаΦ6, | ||||||
| Шахалтын тохируулга 3/8";Шахалтын тохируулга1/4”； | Шахалтын тохируулгаΦ3, | ||||||
| Шахалтын тохируулга1/8";Шахалтын тохируулгаΦ3； | Шахалтын тохируулга1/4", | ||||||
| Ф6(дотоод)×1хос;ф5(дотоод)×1.5хос;ф4(дотоод)×1хос; | W-тамга, | ||||||
| А-саел; | С тамга | ||||||
| Жин | 1кг | 0.8 кг | 1.2 кг | 1кг | 1.2 кг | 1кг | |
