Мэдлэг - Вакуум хавхлага

I. Хавхлагын танилцуулга
Вакуум хавхлага нь агаарын урсгалын чиглэлийг өөрчлөх, хийн урсгалын хэмжээг тохируулах, вакуум систем дэх дамжуулах хоолойг таслах, холбоход ашигладаг вакуум системийн бүрэлдэхүүн хэсэг юм.Вакуум хавхлагын хаалтын хэсгүүд нь резинэн тамга эсвэл металл лацаар битүүмжилнэ.

II.Вакуум хавхлагын нийтлэг хэрэглээ.
Вакуум хавхлагууд
Битүү вакуумтай харьцах системд вакуумыг хадгалах шаардлагатай үед өндөр эсвэл хэт өндөр вакуум системийн төхөөрөмжид ашигладаг.Вакуум хавхлагууд нь вакуум камерт орох агаарын урсгалыг хянах, тусгаарлах, агааржуулах, даралтыг бууруулах эсвэл дамжуулалтыг хянахад ашиглагддаг.Хаалга хавхлага, Inline хавхлага ба өнцөг хавхлага нь өндөр эсвэл хэт өндөр вакуум хэрэглээнд ашиглагддаг вакуум хавхлагуудын хамгийн түгээмэл төрөл юм.Нэмэлт хавхлагын төрөлд эрвээхэй хавхлага, дамжуулах хавхлага, бөмбөг хавхлага, дүүжин хавхлага, бүх металл хавхлага, вакуум хавхлага, хөнгөн цагаан өнцгийн хавхлага, Teflon бүрсэн вакуум хавхлага, шулуун дамжуулагч хавхлагууд орно.

Эрвээхэй хавхлагууд
дамжуулах хоолойн урсгалын чиглэлд зөв өнцгөөр эргэлддэг металл диск эсвэл сэнсээс бүрдэх хурдан нээгддэг хавхлагууд бөгөөд тэдгээрийн тэнхлэг дээр эргэх үед хавхлага нь хавхлагын бие дэх суудлыг битүүмжилдэг.

Дамжуулах хавхлагууд (тэгш өнцөгт хаалганы хавхлагууд)
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмж дэх ачааллын түгжээтэй вакуум камер ба дамжуулах камерын хооронд, дамжуулах камер ба боловсруулах камерын хооронд ашиглахад тохиромжтой тусгаарлах хавхлагууд.

Вакуум бөмбөг хавхлага
жигд битүүмжлэх ачаалалтай тохирох дугуй суудал бүхий дугуй хаалттай угсралт бүхий улирлын эргэлттэй шулуун урсгалтай хавхлагууд юм.

Савлуур хавхлагууд
Энэ нь процессын вакуум камер ба турбомолекулын насосны оролтын хооронд суурилуулсан том тохируулагч хавхлага юм.Эдгээр вакуум дүүжин хавхлагууд нь ихэвчлэн OLED, FPD, PV үйлдвэрийн үйлдвэрлэлийн систем зэрэг хэрэглээнд зориулагдсан хаалга эсвэл дүүжин хавхлага хэлбэрээр бүтээгдсэн байдаг.

Бүх металл хавхлагууд
Өндөр температур нь эластомер болон криоген жийргэвчний металлыг ашиглахыг зөвшөөрдөггүй хэт өндөр вакуум орчинд ашиглах зориулалттай.Жигнэсэн бүх металл хавхлагууд нь атмосферийн даралтаас 10-11 мбар хүртэл өндөр температурт найдвартай битүүмжлэлийг хангадаг.

Вакуум хавхлагууд
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн систем болон химийн болон тоосонцортой бохирдолтой хэрэглээнд найдвартай ажиллана.Тэдгээрийг барзгар вакуум, өндөр вакуум эсвэл хэт өндөр вакуум орчинд ашиглаж болно.

Хөнгөн цагаан өнцгийн хавхлагууд
Эдгээр хавхлагуудын оролт ба гаралт нь хоорондоо зөв өнцгөөр байрладаг.Эдгээр өнцгийн хавхлагууд нь хөнгөн цагаан A6061-T6 материалаар хийгдсэн бөгөөд хагас дамжуулагч, багаж хэрэгслийн үйлдвэрлэл, R&D болон үйлдвэрлэлийн вакуум системд барзгар болон өндөр вакуум хэрэглээнд ашиглагддаг.

Teflon бүрсэн вакуум хавхлага нь удаан эдэлгээтэй, химийн өндөр тэсвэртэй бүрээстэй, зэвэрдэггүй гангаар хийгдсэн вакуум бүрэлдэхүүн хэсэг төхөөрөмж юм.

III.Вакуум хавхлагын шинж чанар.
Даралт нь атмосферийн даралтаас доогуур байгаа бөгөөд хавхлагын хавхлагын даралтын уналт 1 кг хүч / см-ээс хэтрэхгүй.Орчны ажлын температур нь ашигласан төхөөрөмжийн процессоос хамаарна.Температур нь ерөнхийдөө -70 ~ 150 ° C-аас хэтрэхгүй байна.Ийм хавхлагад тавигдах хамгийн үндсэн шаардлага бол холболтын өндөр нягтрал, бүтэц, жийргэвчний материалын нягтыг хангах явдал юм.

Дунд зэргийн даралтын дагуу вакуум хавхлагыг дөрвөн бүлэгт хувааж болно.
1) Бага вакуум хавхлагууд: дунд даралт p=760~1 ммМУБ.
2）Дунд вакуум хавхлаг: p=1×10-3 ммМУБ.
3）Өндөр вакуум хавхлагууд: p=1×10-4 ~1×10-7 ммМУБ.
4）Хэт өндөр вакуум хавхлага: p≤1×10-8 ммМУБ.

250 мм-ээс бага диаметртэй хаалттай хэлхээний хавхлагын хувьд өргөн хэрэглэгддэг иш нь шугаман хөдөлгөөнтэй вакуум хөөрөгтэй хаалттай хавхлага юм.Гэхдээ хаалганы хавхлагууд нь илүү хязгаарлагдмал байдаг боловч энэ нь голчлон том диаметртэй байдаг.Мөн бөмбөрцөг залгуур хавхлага (бөмбөг хавхлага), поршений хавхлага, эрвээхэй хавхлагууд байдаг.Вакуум хавхлагын залгуур хавхлагуудыг дэмжээгүй тул тос тосолгооны материал шаардлагатай тул газрын тосны уурыг вакуум системд оруулахыг зөвшөөрдөггүй.Вакуум хавхлагыг хээрийн нөхцөлд гараар болон алсаас удирдахаас гадна цахилгаан, цахилгаан соронзон (соленоид хавхлага), пневматик болон гидравлик аргаар удирдах боломжтой.