ज्ञान - व्हॅक्यूम वाल्व

I. वाल्वचा परिचय
व्हॅक्यूम व्हॉल्व्ह हा व्हॅक्यूम सिस्टीम घटक आहे जो वायुप्रवाहाची दिशा बदलण्यासाठी, वायूच्या प्रवाहाचा आकार समायोजित करण्यासाठी, व्हॅक्यूम सिस्टममधील पाइपलाइन कापण्यासाठी किंवा जोडण्यासाठी वापरला जातो.व्हॅक्यूम वाल्वचे बंद होणारे भाग रबर सील किंवा मेटल सीलने सील केले जातात.

II.सामान्य व्हॅक्यूम वाल्व अनुप्रयोग.
व्हॅक्यूम वाल्व
उच्च किंवा अति-उच्च व्हॅक्यूम सिस्टम उपकरणांमध्ये वापरले जाते जेव्हा व्हॅक्यूम बंद व्हॅक्यूम हाताळणी प्रणालीमध्ये राखला जाणे आवश्यक आहे.व्हॅक्यूम व्हॉल्व्हचा वापर व्हॅक्यूम चेंबरमध्ये हवेचा प्रवाह नियंत्रित करण्यासाठी, विलग करण्यासाठी, व्हेंट करण्यासाठी, दाब कमी करण्यासाठी किंवा वहन नियंत्रित करण्यासाठी केला जातो.गेट व्हॉल्व्ह, इनलाइन व्हॉल्व्ह आणि अँगल व्हॉल्व्ह हे व्हॅक्यूम व्हॉल्व्हचे सर्वात सामान्य प्रकार आहेत जे हाय किंवा अल्ट्रा-हाय व्हॅक्यूम अॅप्लिकेशन्ससाठी वापरले जातात.अतिरिक्त व्हॉल्व्ह प्रकारांमध्ये बटरफ्लाय व्हॉल्व्ह, ट्रान्सफर व्हॉल्व्ह, बॉल व्हॉल्व्ह, पेंडुलम व्हॉल्व्ह, ऑल-मेटल व्हॉल्व्ह, व्हॅक्यूम व्हॉल्व्ह, अॅल्युमिनियम अँगल व्हॉल्व्ह, टेफ्लॉन-कोटेड व्हॅक्यूम व्हॉल्व्ह आणि स्ट्रेट-थ्रू व्हॉल्व्ह यांचा समावेश आहे.

बटरफ्लाय वाल्व
हे जलद उघडणारे वाल्व्ह असतात ज्यात धातूच्या डिस्क किंवा व्हॅन्स असतात जे पाइपलाइनमधील प्रवाहाच्या दिशेने उजव्या कोनात फिरतात आणि जेव्हा त्यांच्या अक्षावर फिरवले जातात तेव्हा व्हॉल्व्ह व्हॉल्व्ह बॉडीमधील सीट सील करतात.

ट्रान्सफर व्हॉल्व्ह (आयताकृती गेट वाल्व्ह)
लोड-लॉक केलेले व्हॅक्यूम चेंबर्स आणि ट्रान्सफर चेंबर्स आणि सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग उपकरणांमध्ये ट्रान्सफर चेंबर्स आणि प्रोसेसिंग चेंबर्स दरम्यान वापरण्यासाठी योग्य विभक्त व्हॉल्व्ह.

व्हॅक्यूम बॉल वाल्व
एकसमान सीलिंग तणावासाठी वर्तुळाकार आसनांशी जुळणारे वर्तुळाकार क्लोजर असेंबलीसह क्वार्टर टर्न स्ट्रेट फ्लो व्हॉल्व्ह आहेत.

पेंडुलम वाल्व
प्रक्रिया व्हॅक्यूम चेंबर आणि टर्बोमॉलेक्युलर पंप इनलेटमध्ये बसवलेला एक मोठा थ्रॉटल वाल्व आहे.हे व्हॅक्यूम पेंडुलम व्हॉल्व्ह सामान्यत: OLED, FPD आणि PV औद्योगिक उत्पादन प्रणालींसह अनुप्रयोगांसाठी गेट किंवा पेंडुलम व्हॉल्व्ह म्हणून डिझाइन केलेले आहेत.

सर्व-मेटल वाल्व्ह
अति-उच्च व्हॅक्यूम वातावरणात वापरण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे जेथे उच्च तापमान इलास्टोमर्स आणि क्रायोजेनिक गॅस्केट धातू वापरण्याची परवानगी देत ​​​​नाही.बेक करण्यायोग्य ऑल-मेटल व्हॉल्व्ह वातावरणाच्या दाबापासून 10-11 mbar पर्यंत विश्वसनीय उच्च तापमान सीलिंग प्रदान करतात.

व्हॅक्यूम वाल्व
सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रणालींमध्ये आणि रासायनिक आणि कण दूषित असलेल्या अनुप्रयोगांमध्ये विश्वसनीयपणे कार्य करा.ते खडबडीत व्हॅक्यूम, उच्च व्हॅक्यूम किंवा अल्ट्रा-हाय व्हॅक्यूम वातावरणात वापरले जाऊ शकतात.

अॅल्युमिनियम कोन वाल्व्ह
या वाल्व्हचे इनलेट आणि आउटलेट एकमेकांच्या काटकोनात असतात.हे अँगल व्हॉल्व्ह अॅल्युमिनियम A6061-T6 चे बनलेले आहेत आणि ते सेमीकंडक्टर आणि इन्स्ट्रुमेंटेशन मॅन्युफॅक्चरिंग, R&D आणि इंडस्ट्रियल व्हॅक्यूम सिस्टममध्ये रफ ते हाय व्हॅक्यूम ऍप्लिकेशन्ससाठी वापरले जातात.

टेफ्लॉन कोटेड व्हॅक्यूम व्हॉल्व्ह हे एक टिकाऊ आणि उच्च रासायनिक प्रतिरोधक कोटिंगसह पूर्णपणे इंजिनियर केलेले स्टेनलेस स्टील व्हॅक्यूम घटक उपकरण आहे.

III.व्हॅक्यूम वाल्व्हची वैशिष्ट्ये.
दाब वायुमंडलीय दाबापेक्षा कमी आहे आणि वाल्व फ्लॅपवर दबाव ड्रॉप 1 किलो फोर्स/सेमी पेक्षा जास्त असू शकत नाही.माध्यमाचे कार्य तापमान वापरलेल्या उपकरणाच्या प्रक्रियेवर अवलंबून असते.तापमान सामान्यतः -70 ~ 150 डिग्री सेल्सिअसच्या श्रेणीपेक्षा जास्त नसते.अशा वाल्व्हसाठी सर्वात मूलभूत आवश्यकता म्हणजे कनेक्शनची उच्च प्रमाणात घट्टपणा आणि संरचना आणि गॅस्केट सामग्रीची घनता सुनिश्चित करणे.

मध्यम दाबानुसार व्हॅक्यूम व्हॉल्व्ह चार गटांमध्ये विभागले जाऊ शकतात.
1) कमी व्हॅक्यूम वाल्व: मध्यम दाब p=760~1 mmHg.
2）मध्यम व्हॅक्यूम वाल्व: p=1×10-3 mmHg.
3）उच्च व्हॅक्यूम वाल्व्ह: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4）अल्ट्रा-हाय व्हॅक्यूम व्हॉल्व्ह: p≤1×10-8 mmHg.

250 मिमी पेक्षा कमी पॅसेज व्यासासह क्लोज-सर्किट व्हॉल्व्ह म्हणून, मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाणारे स्टेम रेखीय हालचालीसह व्हॅक्यूम बेलोज शट-ऑफ वाल्व आहे.गेट वाल्व्ह, तथापि, अधिक प्रतिबंधित आहेत, परंतु हे प्रामुख्याने मोठ्या व्यासांसाठी आहे.गोलाकार प्लग व्हॉल्व्ह (बॉल व्हॉल्व्ह), प्लंजर व्हॉल्व्ह आणि बटरफ्लाय व्हॉल्व्ह देखील उपलब्ध आहेत.व्हॅक्यूम व्हॉल्व्हसाठी प्लग वाल्व्हचा प्रचार केला गेला नाही कारण त्यांना तेल स्नेहन आवश्यक आहे, ज्यामुळे तेल वाष्प व्हॅक्यूम सिस्टममध्ये प्रवेश करणे शक्य होते, ज्याला परवानगी नाही.व्हॅक्यूम व्हॉल्व्ह शेतात मॅन्युअली आणि रिमोटली नियंत्रित केले जाऊ शकतात, तसेच इलेक्ट्रिकली, इलेक्ट्रोमॅग्नेटिकली (सोलेनॉइड व्हॉल्व्ह), वायवीय आणि हायड्रॉलिकली.