थर्मल गॅस मास फ्लो कंट्रोलर (MFC)
दrmalgasmगाढवfकमीmeter(Mएफएम) आहेkindoफॅकुराtemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemपेराtureorpressअरे, गरज नाहीthecompensationoftemperatureandpressure.
| मॉडेल | SQC-100 |
| प्रवाहाच्या श्रेणी (N2) | 0～5,10,20,30,50,100,200,500SCCM |
| 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
| अचूकता | ±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM) |
| वाल्व ड्राइव्ह प्रकार | सामान्य बंद |
| रेखीयता | ±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM) |
| पुनरावृत्तीक्षमता | ±0.2％FS |
| प्रतिसाद वेळ | ≤1से |
| इनपुट/आउटपुट सिग्नल | 0～5V |
| इलेक्ट्रिक जॉइंट | DB15 पिन (सुई) |
| ऑपरेशन टेम. | 5～45℃ |
| विभेदक प्री. | 0.05～0.5MPa（MFC；； 0.03～3.0MPa（MFM） |
| गळती दर | 1×10-8SCCS （तो） |
| कमालदाब | 3MPa |
| मध्यम साहित्य | 316L एसएस आणि सीलिंग सामग्री |
| सीलिंग साहित्य | व्हिटन, सिलिकॉन रबर, एनबीआर, टेफ्लॉन, मेटल सील. |
| संयुक्त आकार | VCR 1/4”；स्वगेलोक 1/8” 、1/4”；φ3、φ6mm |
| वीज पुरवठा | +15V,50mA；-15V,200mA |
| मॉडेल | SQC-200 |
| प्रवाहाच्या श्रेणी (N2) | MFC: 0～20,30,50,100,150, 200SLM |
| MFM：0～20,30,50,100,150,200,250,300SLM | |
| अचूकता | ±2％FS |
| वाल्व ड्राइव्ह प्रकार | सामान्य बंद |
| रेखीयता | ±2％FS |
| पुनरावृत्तीक्षमता | ±0.2％FS |
| प्रतिसाद वेळ | ≤5से |
| इनपुट/आउटपुट सिग्नल | 1～5V；4～20mA |
| इलेक्ट्रिक जॉइंट | DB15 पिन (सुई) |
| ऑपरेशन टेम. | 5～45℃ |
| विभेदक प्री. | 0.1～0.3MPa（MFC；； 0.05～3.0MPa（MFM） |
| गळती दर | 1×10-8SCCS （तो） |
| कमालदाब | 3MPa |
| मध्यम साहित्य | 316L एसएस आणि सीलिंग सामग्री |
| सीलिंग साहित्य | व्हिटन, सिलिकॉन रबर, एनबीआर, ईआरपी, टेफ्लॉन |
| संयुक्त आकार | स्वगेलोक 3/8” 、1/2”； φ8、φ10、φ12mm |
| वीज पुरवठा | 24V,0.5A |
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