Pengawal Aliran Jisim Meter Aliran Jisim CS200
ciri-ciri
1. Ketepatan Tinggi dan Respons Pantas
Ketepatan MFC CS200 telah dipertingkatkan kepada ±1.0% daripada SP, dan model paling maju mempunyai masa tindak balas yang dikurangkan kurang daripada 0.8 saat.
2. Hanyut Sifar Rendah dan Pekali Suhu
Ciptaan teknologi sensor baharu membolehkan CS200 MFC mengekalkan kestabilan dan menahan turun naik suhu.Tanpa penguat auto-sifar, hanyut sifar yang dijangkakan adalah kurang daripada 0.6%FS/tahun, dan pekali suhu kurang daripada 0.02%FS/℃(sifar),0.05%FS/ ℃ (span).
3. Model Bermeterai Logam dan Ciri Ketulenan Tinggi
Laluan aliran basah bagi-the-line CS200 MFC dibina daripada keluli tahan karat pasif permukaan.Semua MFC CS200 dipasang di bilik bersih Kelas 100 kelas ultrabersih Sevenstar mengikut piawaian SEMI dan ISO 9001.
4. Antara Muka Serasi
CS200 MFC serasi dengan antara muka berikut, yang boleh dipilih oleh pelanggan:±8V-±16V bekalan kuasa dua hujung dan +14V-+28V bekalan kuasa satu hujung;input dan output isyarat digital atau analog;Dimensi mekanikal standard SEMI;dan modul komunikasi RS-485 atau DeviceNet.
5. Pelbagai Fungsi
Perisian pelanggan yang berkuasa didatangkan sebagai standard dengan setiap model, manakala fungsi tambahan seperti berbilang gas，berbilang julat，auto-sifar, penggera, mula lembut dan kelewatan tersedia sebagai pilihan pelanggan.
Spesifikasi
| CS200 | |||||||
| taip | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Julat skala penuh (N2) | ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Ketepatan | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| Kelinearan | ±0.5% FS | ||||||
| Kebolehulangan | ±0.2% FS | ||||||
| Masa tindak balas | ≤1saat | ≤0.8 saat (SEMI E17-0600) | |||||
| Kedudukan Rehat Injap | Biasanya Ditutup atau | Tiada Injap | Biasanya Ditutup atau | Tiada Injap | Biasanya Ditutup atau | Tiada Injap | |
| Biasanya Terbuka（100 sccm≤FS≤5 slm） | Biasanya Terbuka（100 sccm≤FS≤5 slm） | Biasanya Terbuka（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| Tekanan Berbeza | 0.05～0.35MPa （Aliran≤10slm） | ＜0.02MPa | (0.05～0.35) MPa（≤10slm） | ＜0.02MPa | (0.05～0.35) MPa（≤10slm） | ＜0.02MPa | |
| 0.1～0.35MPa（10slm＜Aliran≤30slm） | (0.1～0.35) MPa（＞10slm） | (0.1～0.35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0.2～0.45MPa （Aliran＞30slm） | |||||||
| Tekanan Operasi Maksimum | 0.45MPa | |||||
| Suhu | Sifar:≤±0.05% FS/℃; | Sifar:≤±0.02% FS/℃;Span: ≤±0.05% FS/℃ | ||||
| Pekali | Span: ≤±0.1% FS/℃（Aliran≤30slm） | |||||
| Span: ≤±0.2% FS/℃（Aliran>30slm） | ||||||
| Tekanan Bukti | 3MPa (435pisg) | |||||
| Sifar Drift | ＜0.6%FS setahun tanpa autozero | |||||
| Kebocoran integriti | 1×10-9 atm·cc / saat Dia | 1×10-10atm·cc / saat Dia | ||||
| Bahan Dibasahi | Viton; | Logam?(Keluli Tahan Karat V/V, 5Ra) | logam | |||
| Kimia Permukaan | —— | Nisbah Cr/Fe ＞2.0;Ketebalan CrO ＞20 Angstrom | ||||
| Kemasan Permukaan | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Suhu Operasi | （5～45） ℃ | （0～50） ℃ | ||||
| Isyarat Input | Digital: RS485 atau ProfiBus | T/A | Digital: RS485 atau ProfiBus atau DeviceNetTM | T/A | Digital:RS485 atau ProfiBus atau DeviceNetTM | T/A |
| atau DeviceNetTM | Analog:(0～5)VDC atau (4～20)mA atau (0～20)mA | Analog:(0～5)VDC atau (4～20)mA?atau (0～20)mA | |||||
| Analog:(0～5)VDC atau (4～20)mA atau(0～20)mA | |||||||
| Isyarat Output | Digital: RS485 atau DeviceNetTM atau Analog ProfiBus:(0～5)VDC atau (4～20)mA atau (0～20)mA | ||||||
| Bekalan Kuasa | ±8 ~ ±16 VDC atau +14 ~ +28 VDC(400mA) | ||||||
| Penyambung Elektronik | 9 pin lelaki sub-D ，15 pin lelaki sub-D ，DeviceNetTM，ProfiBus ，Analog | ||||||
| Kelengkapan | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| Pemasangan MampatanΦ10;Pemasangan MampatanΦ6； | Pemasangan MampatanΦ6, | ||||||
| Pemasangan Mampatan 3/8”;Pemasangan Mampatan1/4”； | Pemasangan MampatanΦ3, | ||||||
| Pemasangan Mampatan1/8”;Pemasangan MampatanΦ3； | Pemasangan Mampatan1/4”， | ||||||
| Ф6(dalaman)×1hos;ф5(dalaman)×1.5hos;ф4(dalaman)×1hos; | W-meterai， | ||||||
| A-sael ; | C-meterai | ||||||
| Berat badan | 1kg | 0.8kg | 1.2kg | 1kg | 1.2kg | 1kg | |
