Pengawal Aliran Jisim（MFC) menyediakan pengukuran dan kawalan jisim gas yang tepat.
I. Apakah perbezaan antara MFC dan MFM?
Meter aliran jisim (MFM) ialah sejenis instrumen yang mengukur aliran gas dengan tepat, dan nilai pengukurannya tidak tidak tepat disebabkan oleh turun naik suhu atau tekanan, dan tidak memerlukan pampasan suhu dan tekanan. Pengawal aliran jisim(MFC) bukan sahaja mempunyai fungsi meter aliran jisim, tetapi yang lebih penting, ia boleh mengawal aliran gas secara automatik, iaitu, pengguna boleh menetapkan aliran mengikut keperluan mereka, dan MFC secara automatik mengekalkan aliran tetap pada nilai yang ditetapkan, walaupun jika tekanan sistem Turun naik atau perubahan suhu ambien tidak akan menyebabkan ia menyimpang daripada nilai yang ditetapkan.Pengawal aliran jisim ialah peranti aliran mantap, iaitu peranti aliran mantap gas yang boleh ditetapkan secara manual atau dikawal secara automatik melalui sambungan dengan komputer.Meter aliran jisim hanya mengukur tetapi tidak mengawal.Pengawal aliran jisim mempunyai injap kawalan, yang boleh mengukur dan mengawal aliran gas.
II.Apakah struktur danprinsip operasi?
1, Struktur
2, Prinsip Operasi
Apabila aliran memasuki paip pengambilan, kebanyakan aliran melalui saluran pengalih, sebahagian kecil daripadanya memasuki tiub kapilari di dalam sensor.Oleh kerana struktur khas
saluran pengalih, dua bahagian aliran gas boleh berkadar terus.Penderia dipanaskan dan dipanaskan, dan suhu di dalamnya lebih tinggi daripada suhu udara masuk.Pada masa ini, aliran jisim bahagian kecil gas diukur dengan prinsip pemindahan haba oleh tiub kapilari dan prinsip kalorimetri perbezaan suhu.Aliran gas yang diukur dengan cara ini boleh mengabaikan kesan suhu dan tekanan.Isyarat pengukur aliran yang dikesan oleh penderia adalah input ke papan litar dan dikuatkan dan dikeluarkan, dan fungsi MFM selesai.Menambah fungsi kawalan automatik gelung tertutup PID pada papan litar, Bandingkan isyarat pengukuran aliran yang diukur oleh sensor dengan isyarat set yang diberikan oleh pengguna.Berdasarkan ini, injap kawalan dikawal supaya isyarat pengesanan aliran adalah sama dengan isyarat yang ditetapkan, sekali gus merealisasikan fungsi MFC.
III.Aplikasi dan ciri.
MFC，yang digunakan secara meluas dalam bidang seperti: semikonduktor dan fabrikasi IC, sains bahan khas, industri kimia, industri petroli, industri farmaseutikal, perlindungan alam sekitar dan penyelidikan sistem vakum, dan lain-lain. Aplikasi biasa termasuk: peralatan proses mikroelektronik seperti penyebaran , pengoksidaan, epitaksi, CVD, etsa plasma, sputtering, implantasi ion;peralatan pemendapan vakum, pencairan gentian optik, peralatan tindak balas mikro, sistem gas pencampur & pemadanan, sistem kawalan aliran kapilari, kromatografi gas dan instrumen analisis lain.
MFC membawa ketepatan yang tinggi, kebolehulangan yang sangat baik, tindak balas pantas, permulaan lembut, kebolehpercayaan yang lebih baik, pelbagai julat tekanan operasi (operasi yang baik dalam tekanan tinggi dan situasi vakum), operasi mudah yang mudah, pemasangan fleksibel, kemungkinan menyambung dengan PC untuk menjalankan automatik kawalan kepada sistem pengguna.
IV.Bagaimana untuk menentukan dan menangani failures?
Syarikat kami mempunyai jurutera selepas jualan profesional, boleh membantu anda menyelesaikan masalah dalam pemasangan dan penggunaan.
Masa siaran: Jul-29-2022