Pengetahuan – Injap Vakum

I. Pengenalan injap
Injap vakum ialah komponen sistem vakum yang digunakan untuk menukar arah aliran udara, melaraskan saiz aliran gas, memotong atau menyambung saluran paip dalam sistem vakum.Bahagian penutup injap vakum dimeterai oleh meterai getah atau meterai logam.

II.Aplikasi injap vakum biasa.
Injap vakum
Digunakan dalam peralatan sistem vakum tinggi atau ultra tinggi apabila vakum mesti dikekalkan dalam sistem pengendalian vakum tertutup.Injap vakum digunakan untuk mengawal aliran udara ke dalam kebuk vakum, mengasingkan, bolong, memberikan pengurangan tekanan atau mengawal pengaliran.Injap pintu, injap sebaris dan injap sudut ialah jenis injap vakum yang paling biasa digunakan untuk aplikasi vakum tinggi atau ultra tinggi.Jenis injap tambahan termasuk injap rama-rama, injap pemindahan, injap bebola, injap pendulum, injap semua logam, injap vakum, injap sudut aluminium, injap vakum bersalut Teflon dan injap lurus.

Injap rama-rama
ialah injap buka pantas yang terdiri daripada cakera logam atau ram yang berputar pada sudut tepat ke arah aliran dalam saluran paip dan apabila diputar pada paksinya, injap mengelak tempat duduk dalam badan injap.

Injap pemindahan (injap pintu segi empat tepat)
Injap pemisah sesuai untuk digunakan antara ruang vakum berkunci beban dan ruang pemindahan, dan antara ruang pemindahan dan ruang pemprosesan dalam peralatan pembuatan semikonduktor.

Injap Bebola Vakum
adalah injap aliran lurus suku pusingan dengan pemasangan penutup bulat dengan tempat duduk bulat yang sepadan untuk tegasan pengedap seragam.

Injap pendulum
ialah injap pendikit besar yang dipasang di antara ruang vakum proses dan salur masuk pam turbomolekul.Injap bandul vakum ini biasanya direka sebagai injap pintu atau bandul untuk aplikasi termasuk sistem pembuatan industri OLED, FPD dan PV.

Injap semua logam
Direka untuk digunakan dalam persekitaran vakum ultra tinggi di mana suhu tinggi tidak membenarkan penggunaan elastomer dan logam gasket kriogenik.Injap semua logam yang boleh dibakar menyediakan pengedap suhu tinggi yang boleh dipercayai daripada tekanan atmosfera hingga di bawah 10-11 mbar.

Injap vakum
Beroperasi dengan pasti dalam sistem pengeluaran semikonduktor dan dalam aplikasi dengan pencemaran kimia dan zarah.Ia boleh digunakan dalam vakum kasar, vakum tinggi atau persekitaran vakum ultra-tinggi.

Injap sudut aluminium
Salur masuk dan keluar injap ini berada pada sudut tepat antara satu sama lain.Injap sudut ini diperbuat daripada aluminium A6061-T6 dan digunakan dalam pembuatan semikonduktor dan instrumentasi, R&D dan sistem vakum industri untuk aplikasi vakum kasar hingga tinggi.

Injap vakum bersalut Teflon ialah peranti komponen vakum keluli tahan karat yang direka bentuk sepenuhnya dengan salutan tahan lasak dan sangat tahan kimia.

III.Ciri-ciri injap vakum.
Tekanan berada di bawah tekanan atmosfera dan penurunan tekanan merentasi kepak injap tidak boleh melebihi 1 kg daya/cm.Suhu kerja medium bergantung kepada proses peranti yang digunakan.Suhu umumnya tidak melebihi julat -70 ~ 150°C.Keperluan paling asas untuk injap tersebut adalah untuk memastikan tahap ketat sambungan dan ketumpatan struktur dan bahan gasket yang tinggi.

Menurut injap vakum tekanan sederhana boleh dibahagikan kepada empat kumpulan.
1) Injap vakum rendah: tekanan sederhana p=760~1 mmHg.
2）Injap vakum sederhana: p=1×10-3 mmHg.
3）Injap vakum tinggi: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4）Injap vakum sangat tinggi: p≤1×10-8 mmHg.

Sebagai injap litar tertutup dengan diameter laluan kurang daripada 250 mm, batang yang digunakan secara meluas ialah injap tutup belos vakum dengan pergerakan linear.Injap pintu, bagaimanapun, lebih terhad, tetapi ini terutamanya untuk diameter besar.Juga terdapat injap palam sfera (injap bola), injap pelocok dan injap rama-rama.Injap palam untuk injap vakum belum dinaikkan kerana ia memerlukan pelinciran minyak, yang membolehkan wap minyak memasuki sistem vakum, yang tidak dibenarkan.Injap vakum boleh dikawal secara manual dan jauh di lapangan, serta secara elektrik, elektromagnet (injap solenoid), secara pneumatik dan hidraulik.