Kontrollur tal-Fluss tal-Massa Miter tal-Fluss tal-Massa CS200
Karatteristiċi
1. Preċiżjoni Għolja u Rispons Mgħaġġel
L-eżattezza tas-CS200 MFC ġiet imtejba għal ± 1.0% ta 'SP, u l-aktar mudelli avvanzati għandhom ħin ta' rispons imnaqqas ta 'inqas minn 0.8 sek.
2. Baxx Zero Drift u Koeffiċjent tat-Temperatura
L-invenzjoni ta 'teknoloġija ġdida tas-sensuri tippermetti lis-CS200 MFC iżomm l-istabbiltà u jiflaħ il-varjazzjonijiet fit-temperatura.Mingħajr amplifikatur awto-żero, id-drift żero mistenni huwa inqas minn 0.6% FS/sena, u l-koeffiċjent tat-temperatura huwa inqas minn 0.02% FS/℃ (żero), 0.05% FS/ ℃ (span).
3. Mudelli Ssiġillati bil-metall u Karatteristika ta 'Purità Għolja
Il-mogħdija tal-fluss imxarrba tal-linja CS200 MFC hija mibnija minn azzar li ma jissaddadx passivat bil-wiċċ.L-MFCs CS200 kollha huma mmuntati fil-cleanrooms ultraclean tal-klassi 100 ta 'Sevenstar skont l-istandards kemm SEMI kif ukoll ISO 9001.
4. Interfaces Kompatibbli
Is-CS200 MFC huwa kompatibbli ma 'l-interfaces li ġejjin, li jistgħu jintgħażlu mill-klijent: ± 8V-± 16V provvista ta' enerġija b'tarf doppju u + 14V-+28V provvista ta 'enerġija b'tarf wieħed;input u output ta' sinjal diġitali jew analoġiku;Dimensjonijiet mekkaniċi SEMI standard;u modulu ta' komunikazzjoni RS-485 jew DeviceNet.
5. Funzjonijiet Mixxellanji
Softwer tal-klijent b'saħħtu jiġi standard ma 'kull mudell, filwaqt li funzjonijiet addizzjonali bħal multi-gass, multi-range, awto-żero, allarmi, bidu artab, u dewmien huma disponibbli bħala selezzjonijiet tal-klijenti.
Speċifikazzjoni
| CS200 | |||||||
| Tip | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Firxa fuq skala sħiħa (N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Eżattezza | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS? (＜35% FS) | ||||||
| Linearità | ± 0.5% FS | ||||||
| Ripetibbiltà | ± 0.2% FS | ||||||
| Ħin ta' Rispons | ≤1sec | ≤0.8 sek (SEMI E17-0600) | |||||
| Pożizzjoni ta' Mistrieħ tal-Valv | Normalment Magħluq jew | Ebda Valv | Normalment Magħluq jew | Ebda Valv | Normalment Magħluq jew | Ebda Valv | |
| Normalment Miftuħ (100 sccm≤FS≤5 slm) | Normalment Miftuħ (100 sccm≤FS≤5 slm) | Normalment Miftuħ (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| Pressjoni Differenzjali | 0.05~0.35MPa (Flow≤10slm) | ＜0.02MPa | (0.05~0.35) MPa（≤10slm） | ＜0.02MPa | (0.05~0.35) MPa（≤10slm） | ＜0.02MPa | |
| 0.1~0.35MPa (10slm＜Flow≤30slm) | (0.1~0.35) MPa (＞10slm) | (0.1~0.35) MPa (＞10slm) | |||||
| 0.2~0.45MPa (Fluss>30slm) | |||||||
| Pressjoni Operattiva Massima | 0.45MPa | |||||
| Temperatura | Żero:≤±0.05% FS/℃; | Żero:≤±0.02% FS/℃;Span: ≤±0.05% FS/℃ | ||||
| Koeffiċjent | Span: ≤±0.1% FS/℃（Flow≤30slm） | |||||
| Span: ≤±0.2% FS/℃ (Fluss> 30slm) | ||||||
| Pressjoni tal-Prova | 3MPa (435pisg) | |||||
| Żero Drift | ＜0.6% FS kull sena mingħajr awtożero | |||||
| Integrità tat-tnixxija | 1×10-9 atm·cc / sec He | 1×10-10atm·cc / sec He | ||||
| Materjali mxarrbin | Viton; | Metall? (Stainless Steel V/V, 5Ra) | Metall | |||
| Kimika tal-wiċċ | —— | Proporzjon Cr/Fe ＞2.0;Ħxuna CrO > 20 Angstroms | ||||
| Finish tal-wiċċ | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Temperatura ta' Operazzjoni | （5～45）℃ | （0~50）℃ | ||||
| Sinjal tal-Input | Diġitali: RS485 jew ProfiBus | N/A | Diġitali: RS485 jew ProfiBus jew DeviceNetTM | N/A | Diġitali: RS485 jew ProfiBus jew DeviceNetTM | N/A |
| jew DeviceNetTM | Analogu: (0~5)VDC jew (4~20)mA jew (0~20)mA | Analogu: (0~5)VDC jew (4~20)mA? jew (0~20)mA | |||||
| Analogu: (0~5)VDC jew (4~20)mA jew (0~20)mA | |||||||
| Sinjal tal-Ħruġ | Diġitali: RS485 jew DeviceNetTM jew ProfiBus Analog:(0~5)VDC jew (4~20)mA jew (0~20)mA | ||||||
| Provvista tal-Enerġija | ±8 ~ ±16 VDC jew +14 ~ +28 VDC(400mA) | ||||||
| Konnettur Elettroniku | 9 pin maskili sub-D ，15 pin maskili sub-D ，DeviceNetTM,ProfiBus ，Analogu | ||||||
| Fittings | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| Fitting tal-KompressjoniΦ10;Fitting tal-KompressjoniΦ6; | Fitting tal-kompressjoniΦ6, | ||||||
| Fitting tal-Kompressjoni 3/8”;Fitting tal-Kompressjoni 1/4”； | Fitting tal-kompressjoniΦ3, | ||||||
| Fitting tal-Kompressjoni1/8”;Fitting tal-kompressjoniΦ3; | Fitting tal-Kompressjoni 1/4”, | ||||||
| Ф6(inner)×1hose;ф5(inner)×1.5hose;ф4(inner)×1hose; | W-siġill, | ||||||
| A-sael ; | Ċ-siġill | ||||||
| Piż | 1kg | 0.8kg | 1.2kg | 1kg | 1.2kg | 1kg | |
